Устройство для селекции дефектов фотошаблонов

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ, содержащее первьш компаратор, один вход которого соединен с блоком сканирования, а другой является первым входом устройства , первый формирователь сигналов , выходы одной группы которого подключены к второму формирователю сигналов, а выходы другой группы соединены с входами первого элемента И и входами первого элемента И-НЕ, выход которого подключен к одному входу второго элемента И, другой вход которого соединен с вторым формирователем сигналов, а выход является первым выходом устройства, и третий элемент И, отличающееся тем, что, с цельюповышения надежности устройства, оно содержит второй элемент И-НЕ, входы которого соединены с первым формирователем сигналов, подключенным к входам третьего элемента И, сумматор, один вход которого соединен с первым компаратором, а выход подключен к входу первого формирователя сигналов, группу элементов И, одни входы которых соединены i с выходом первого элемента И, другие подключены к выходам второго элемен (Л та И-НЕ и третьего элемента И соответственно , а выходы являются другими выходами устройства, и второй компаратор, один вход которого является другим входом устройства, другой подключен к выходу блока сканирования , а выход соединен с другим вхоto дом сумматора. eg а

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК,.SU„„1120376

3(Я) С 06 К 9/36

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТБУ (21) 3623661/24-24 (22) 13.0?.83 (46) 23.10.84. Бюл. №- 39 (72) А.Ф.Гнидченко и E.Â.Ïoääóáíûé (71) Московский институт электронной техники (53) 681.327. 12(088.8) (56) 1. Патент США № 4170003, кл. 340-146.3, опублик . 1981.

2. Патент Франции № 2131086, кл. G 06 К 9/00, опублик. 1972 (прототип) ° (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ СЕЛЕКЦИИ

ДЕФЕКТОВ ФОТОШАБЛОНОВ, содержащее первый компаратор, один вход которого соединен с блоком сканирования, а другой является первым входом устройства, первый формирователь сигналов, выходы одной группы которого подключены к второму формирователю сигналов, а выходы другой группы соединены с входами первого элемента И и входами первого элемента И-HE выход которого подключен к одному входу второго элемента И, другой вход которого соединен с вторым формирователем сигналов, а выход является первым выходом устройства, и третий элемент И, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения надежности устройства, оно содержит второй элемент И-НЕ, входы которого соединены с первым формирователем сигналов, подключенным к входам третьего элемента И, сумматор, один вход которого соединен с первым компаратором, а выход подключен к входу первого формирователя сигналов, группу элементов И, одни входы которых соединены с выходом первого элемента И, другие Ф подключены к выходам второго элемен- та И-НЕ и третьего элемента И соответственно, а выходы являются другими выходами устройства, и второй компаратор, один вход которого является другим входом устройства, другойподключен к выходу блока сканирования, а выход соединен с другим входом сумматора. К) 1 11203

Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано в системах автоматического анализа изображений в биологии, металлографии и микроэлектронике, в частности для контроля фото— шаблонов.

Известно устройство для селекции дефектов фоташаблонов, содержащее блок сканирования, компаратар, формирователь последовательности сигналов и блок контроля расстояний (1) .

Недостаток устройства заключается в том, что не используется информация об оптической плотности ucf5 следования, а также оно не позволяет выделить дефекты в виде изолированных областей (дефекты типа "вкрапления"), т.е. устройство. имеет невысокую достоверность селекции дефектов

20 фотошаблонов.

Наиболее близким к изобретению явля тся устройство, содержащее кампаратор, соединенный с блоком сканирования, блоком управления и первым формирователем сигналов, выходы которого соединены с вторым формирователем сигналов, элементом ИЛИ-HE и первым элементом И, второй элемент И, входы которого подключены к выходам элемента ИЛИ-НЕ и второго формираваЗО теля сигналов, логический блок, соединенный с блоками управления, памяти и третьим элементом И 2 .

Однако надежность селекции в известном устройстве недостаточно высо- 55 ка.

Цель изобретения — повышение на дежности устройства.

Поставленная цель достигается тем, что в устройство, содержащее первый компаратор, один вход которого соединен с блоком сканирования, а

Другой является первым входом устройства, первый формирователь сигна,пов, выходы одной группы которого подключены к второму формирователю сигналов, а выходы другой группы сое" динены с входами первого элемента И и входами первого элемента И-НЕ,выход которого подключен к одному вхо-50 ду второго элемента И, другой вход которого соединен с вторым формирователем сигналов, а выход является первым выходом устройства, и третий элемент И, введены второи элемент,55

И-НЕ, входы которого соединены с первым формирователем сигналов, подключенным к входам третьего элемента И, 76 2 сумматор, один вход которого соединен с первым компаратором, а выход подключен к входу первого формироватегя сигналов, группу элементов И, адни входы котарых соединены с выходом первого элемента И, другие подключены к выхоцам второго элемента И-НЕ и третьего элемента И соответственно, а выходы являются другими выходами устройства„ и второй кампаратар, один вход которого является другим входом устройства, другой подключен к выходу блока сканирования, а выход соединен с другим входом сумматора.

На фиг.1 представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг.2g,— исслецуемый объект; на фиг,26 — диаграммы, поясняющие работу устройства, на фиг.3-6 — дефекты фоташаблонов.

Устройство содержит блок сканирования, первый 2 и второй 3 компараторы, сумматор 4, первый э и второй

6 формирователи сигналов, первый 7 и второй 8 элементы И-НЕ, первый 9, второй 10 и третий 11 элементы И,и группы 12 и 13 элементов И, входы !4 и 15 кампаратарав. При этом также обозначены заштрихованная зона 16 изображения объекта, дефектная зона

17 изображения, дефектная ширина 18 перехода из темного участка в светлый.

Устройство работает следующим образом.

Видеосигнал, постугающий с выхода блока 1, подается на. первые входы компараторов 2 и 3, с помощью которых квантуется по амплитуде на два уровня (уровни соответствуют логическому "0" и "1") путем сравнения с пороговыми уровнями напряжений, соответствующими эталонному уровню белого по входу 14 (фиг,26,6 ) и эталонному уровню черного по входу 15. (фиг.26, 62), которые подаются на вторые входы кампараторов 2 и 3. Таким образом, на выходе первого компаратора 2 формируется первый опорный сигнал, а на выходе второго компаратора 3 — второй опорный сигнал (9,{ i;j ); Ф (1,j) На Фиг. 26).

С вьй одов компаратора 2 и 3 опорные сигналы поступают на входы сумма- тора 4, который производит сложение этих сигналов по модулю два. В результате сложения на выходе сумматора 4 формируется сигнал суммы з 11203 фиг.2а, заштрихо(фиг.2b,Q (1,jg и ванная зона 16) .

Такая информация является весьма существенной при анализе таких объектов исследования, как, например, фотошаблоны, так как одним иэ признаков наличия дефектов на фотошаблоне является превышение ширины перехода белых участков в черные (участков серого) определенной величины и отсутствие„участков серого на полях фигур и изоляции.

С выхода сумматора 4 сигнал суммы подается на формирователь 5 сигналов (блок электронного окна), с которого снимаются сигналы, соответствующие функциям яркости данного элемента окна. Первая группа сигналов, соответствующая элементам Х1-Х 4 (фиг.3) подается на формирователь 6, на выхо- о де которого появляется сигнал, если расстояние между объектами или размер самого объекта меньше минимально допустимого. Вторая группа сигналов, соответствующая элементам окна У -У (фиг.3), подается на входы первого элемента И 9, на выходе которого появляется сигнал, если все точки ординаты принадлежат участку серого, и на входы первого элемента И-НЕ 7, на выходе которого появляется сигнал, если эти точки не принадлежат участку серого. Сигнал с выхода формирователя 6 подается на один вход элемента И 10, на другой вход кото76 4 рого подается сигнал с выхода элемен-. та И-НЕ 7. На выходе элемента И 10 появляется сигнал в том случае, если расстояние между участками серого меньше минимально допустимого (фиг.4).

Первая группа сигналов, соответствующая элементам абсциссы (фиг.3), подается также на элемент И 11 и элемент И-НЕ 8. На выходе элемента И 11 сигнал появляется в том "лучае, если все точки абсциссы принадлежат участку серого, а на выходе элемента И-НЕ 8, если эти точки не принадлежат участку серого. Сигнал с выхода элемента И-НЕ 8 подается на первый вход элемента И группы 12, на второй вход которого подается сигнал с выхода элемента И 9. На выходе эле.мента И группы 12 сигнал появляется в случае дефекта типа "вкраплеиие". (фиг.5). Сигнал с выхода элемента И 11 подается на первый вход другого элемента И группы 13, на второй вход которого подается сигнал с выхода элемента И 9. На выходе элемента И группы 13 сигнал появляется в случае наличия дефекта оптической плотности фотошаблона (фиг.б), т.е. когда ширина участка серого больше допустимой величины.

Введение предлагаемых узлов и элементов, а также предлагаемые конструктивные связи позволяют существен1 но повысить надежность устройства.

11203 7б

1120376

Составитель Т.Ничипорович

Редактор О.Юрковецкая Техред Т.Фанта Корректор О.Луговая

Заказ 7746/39 Тираж 698 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по.делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.Ужгород, ул.Проектная, 4