Устройство для распознавания дефектов изображений объектов

 

УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПОЗНАРА НИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТОВ по авт. св. W 1023356, of ли ч а ющ е е с я тем, что, с целью повышения надежности распознавания, оно содержит последовательно соединентеге второй селектор, вход которого подклкг чей к соответствующему формирователю сигналов, детектор, элементы ИЛИ четвертой группы, другие входы которых подключены к рагспределитепю импульсов , второй блок памяти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен с входами триггера и блока регистрации.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

ИМ й.

РЕСПУБЛИК

4(5f) G 06 K 9/36

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ/" К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

00 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 1023356 (21) 3518858/18-24 (22) 03. 12.82 (46) 23.01.85. Бюл. И 3 (72) .В.И. Дубицкий (71) Московский институт электронной техники (53) 681.327. 12(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 1023356, кл. G 06 K 9/36, 1982 (прототип). (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ РАСПОЗНА ЗА;

НИЯ ДЕФЕКТОВ ИЗОБРАЖЕНИЙ ОБЪЕКТОВ по авт. св. Ф 1023356, о т л и ч а ю.,SU.„1136191 А щ е е с я тем, что, с целью повыиения надежности распознавания, оно содержит последовательно соединенные второй селектор, вход которого подключен к соответствующему Формирователю сигналов, детектор, элементы ИДИ четвертой группы, другие входы которых подключены к распределителю импульсов, второй блок памяти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, другой вход которого подключен к распределителю импульсов, а выход соединен с входами триггера и блока регистрации.

1 1136

Изобретение относится к автоматике и вычислительной технике и может быть использовано у системах автоматического визуального контроля, иэделий микроэлектроники, в частности для контроля топологии фотошаблонов, кристаллов

ИС, печатных плат.

Известно устройство для распоннавания дефектов

По основному авт.св. Р 1023356 ® известно устройство для распознавания дефектов изображений объектов, содержащее телевизионные датчики, входы которых соединены с распределителем импульсов, а выходы подключены к соответствующим формирователям сигналов, группу детекторов, соединенных с соответствующими .формирователями сигналов, первый селектор, подключенный к одному формирователю сигнала и к первому блоку памяти, первую группу элементов ИЛИ, входы которых соединены с распределителем импульсов, и с одним детектором груп.пы, а выхцды подключены к первому блоку памяти, триггер, один вход которого соединен с распределителем импульсов, подключенным к блоку регистрации, первый счетчик, соединенный с первым блоком памяти, с распределителем импульсов, с блоком регистрации и с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к другому детектору и к распределителю импульсов, с блоком регистрации и с другим входом триггера, вторую группу элементов ИЛИ, входы которых под» ключены к другому детектору и к распределителю импульсов, а выходы соединены с первым блоком памяти, первую группу элементов И, входы которых подключены к триггеру и к распределителю импульсов, элемент

НЕ,, соединенный с распределителем импульсов, вторую группу элементов

И, входы которых соединены с триггером, с элементом НЕ и с распределителем импульсов, и третью группу элементов ИЛИ, входы которых подключены к выходам элементов И первой 50 и второй группы, а выходы соединены с блоком регистрации (1) .

Недостаток известного устройства заключается в его невысокой надежности распознавания таких дефектов изображений как "сужение" и "сближение", под которыми понимают участ" ки проводников, минимальная ширина

191 2 которых меньше минимально допустимой, и участки топологии иэображеl ний, в которых минимальное расстояние между проводниками меньше минимально допустимого.

Цель изобретения — повышение надежности распознавания.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для распознавания дефектов изображений объектов содержит последовательно соединенные вч орой селектор, вход которого подключен к соответствующему формирова lt åëþ сигналов, детектор, элементы

ИЛИ четвертой группы, другие входы которых подключены к распределителю импульсов, второй блок памяти, другие входы которого подключены к выходам первого селектора и элементов ИЛИ первой группы, и второй счетчик, дру. гой вход которого подключен к распре. делителю импульсов, а выход соединен с входами триггера и блока регистрации °

На фиг. 1 представлена блок-схема предлагаемого устройства; на фиг.2конструктивное выполнение селектора; на фиг. 3 - конструктивное выполнение формирователей последовательности сигналов; на фиг. 4 - расположение точек в электронном окне.

Устройство содержит телевизионные датчики 1 и 2, формирователи 3 и 4 видеосигналов, детектор 5, группу детекторов б и 7, селекторы 8 и 9, блок 10 памяти, группы 11 и 12 эле- . ментов ИЛИ, блок 13 памяти, счетчики

14 и 15„ группу 16 элементов ИЛИ, григгер 17, элемент НЕ 18, группы

19 и 20 элементов И, группу 21 элементов ИЛИ, распределитель 22 имнульсов и блок 23 регистрации.

Селектор 9 (фиг. 2) состоит из четырех формирователей 24 — 27 последовательности видеосигналов, элементов

ИЛИ 28 и 29 и элементов И 30 и 31. При этом каждый из формирователей 24-27 состоит из группы 32 элементов задержки начторону и на элемент 33 разложения в строке и предназначен для формирования электронного окна в форме круга.

Устройство работает следующим образом.

Дефекты чипа "разрыв" и "закоротка" в изображении контролируемой топологии обнаруживаются известным устройством. Рассмотрйм работу устз 1136 ройства при распознавании дефектов чипа "сужение" и "сближение".

Видеосигнал развертки изображения контролируемой топологии с выхода те. левизионного датчика 1 поступает на вход первого формирователя 3, который квантует его по уровням логических

"1" и "0". Уровень логической "1" квантованного видеосигнала соответствует объектам изображения, а "0"— их отсутствию (фону) . Сигнал с выхода формирователя 3 поступает на вход селектора 9, который преобразует его ,в видеосигнал, соответствующий изображению после последовательного применения операций растяжение — сжатие и сжатие - растяжение окнамн различного диаметра.

Сигнал с выхода селектора 9 поступает на вход детектора 5, который преобразует его в последовательность кодов, так что коды отображают нринадл4жность отдельных точек изображения к соответствующии объектам (связным областям). На выходе детектора 6 появляются сигналы, соответствуют!ие исходному изображению после операции кодирования. Ходы связных областей преобразованного и контролируемого изображений через соответствующие группы элементов ИЛИ 1! и 21 поступают иа первый и второй адресные входы блока 13.

Блок !3 представпяет собой матрицу оперативно запоминающих устройств (ИОЗУ) ° Первый н второй адресный входы блока 13 памяти служат для выборки соответственно столбцов и строк МОЗУ. До начала развертки изображения контролируемой топологии

ace ячейки бг. эка 13 обнулены. Во время развертки этого изображения на информационньй вход блока 13 памяти подается постоянный сигнал с уров н ем л огичес кой " 1", а в момент сканирования контактной площадки

45 проводника с выхода селектора 8 на его вход "Запись - считывание" подается сигнал записи. Поэтому если в этот момент на первый адресный вход. блока 13 памяти приходит сигнал коДа со значением, равным номеру строки, а на второй — со значением, равным номеру столбца, то в соответствующую ячейку ИОЗУ будет записана " 1".

191 4

В момент окончания развертки изображения контролируемой топологии с выхода селектора 8 на вход "записьсчитывание" блока 13 памяти подается сигнал считывания. Считывание из блока 13 памяти происходит аналогично, как и считывание информации с блока !0 памяти и осуществляется за два цикла по сигналам с раснределителя 22.

Число единиц в каждом столбце и строке блока 13 памяти подсчитывается счетчиком !5, который в первом цикле считывания определяет число единиц в каждой строке, а во втором — в каждои столбце ИОЭУ. Ксли число больюе или равно двум, то на выходе счетчика !5 появится сигнал дефектора, ко торйй устанавливает триггера 17 в единичное состояние. Злементы И !9 и

20 открываются и на вход блока 23 ревистрацни поступает номер проводника, имеющего дефект. После окончани считывания информации с каждого столбца (строкн) блока 1Э памяти с четвертого выхода распределителя 22 выдаются импульсы на установку счетчика 15 в исходное состояние "1", а триггера 17 - в нулево . Номер цикла считывания определяется уровнем сигнала (логических "0" или "1") с пятого выхода распределителя 22, причем уровень логической "!" соответствует первому циклу считывания (определение "сужений" ), а уровень логического "0" соответствует второму циклу считывания (определение "сближений").

T&K как при распознавании дефектов типа "сужение" и "сближение" используется информация о связности контактных площадок, а их связность определяется только лаличием pacaos» наваемых дефектов в топологии и не зависит от формы, размеров, ориентации и местоположения данных типов дефектов, то результаты распознавании . дефектов типа "сужение" и "сближение" с помощью предлагаемого устройства не зависит от их фориы, размеров ориентации и местоположения.

Введение новых узлов и элементов позволяет существенно повысить надеж" кость распознавания дефектов иэображений объектов.

1136191

Составитель Т. Ничипорович

Редактор А. Козориз Техред Т.Фанта Корректор И. Эрдейи

Заказ 10287/38 Тираж 710 Подписное

ВНИИПИ ГосударсФвенного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раутская наб,, д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Икгород, ул. Йроектная, 4