Устройство для автоматического контроля фотошаблонов

 

СОЮЗ СООЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

4(5ц С 01 В 11 02

:!

QflHGAHHE ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВ АЗОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТЮ

l(89) 146500 ГДР . (21) 7771388/18-28 (22) 22,09.80 (31) W P С 01 N/216238 (32) 16.10.79 .(33) ГДР (46) 28.02.85. Бша. Ф 8 (72) Эберхард Дегенколбе, Манфред . Хейнце, Карл Рамлов и Йерг Шмидт

i(71) ФКБ Карл-Цейсс Йена (ГДР) (53) 531.715.27(088.8) ,:(54)(7) УСТРОЙСТВО ДЛЯ АВТОИАТИ ЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ФОТОВАБПОНОВ, со;,держащее не менее чем один источник света, две линейки фотодатчиков для распознавания дефектов фотошаблона, два независимых друг от друга объектива одинаковых оптических !

„„SU„„ 1142733: A

I свойств для проекции изображения фотошаблона на соответствующую линейку фотодатчика и приспособление для передвижения фотошаблона s двух направлениях, параллельных фотошаблону, отличающееся тем, что оно снабжено двумя дополнительными линейками фотодатчиков, каждая из которых расположена перед каждой основной линейкой фотодатчиков,двумя светопропусквющими плоскопараллельными пластинами, установленными между одним из объективов и соответствуницнми линейками фотодатчиков, каждая пластинка выполнена .с возможностью поворота вокруг оси, располо -., женной перпендикулярно оптической оси устройства, и своей оси поворота.

1142733

В данном устройстве объективы и линейки фотодатчиков устанавливаются на стандартное расстояние между сопоставляемыми отдельными кадрами (за исключением остаточной ошибки). Остаточная ошибка, представ-45 ляющая собой механическую ошибку, и неправильное положение отдельных кадров каждого фотошаблона вызывают при контроле фотошаблонов сигнал ошибки — псевдоошибку,что приводит к снижению точности контроля.

Целью изобретения является повышение точности контроля путем устранения псевдоошибок, возникающих 55 при техническом контроле фотошаблонов из-эа неправильного положения отдельных кадров фотошаблона

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь1 зовано при контроле фотошаблонов.

Применяемые фотошаблоны подвергаются износу, что приводит к выпуску дефектных элементов. Поэтому для технического контроля фотошаблонов важно иметь устройство, позволяющее быстро и безотказно обнаруживать явления износа и дефекты.

С помощью метода контрольного осмотра фотошаблонов под микроскоФ пом о состоянии фотошаблонов могут быть получены лишь статистические сведения.

Известны различные методы фотоэлектронного технического контроля образцов фотошаблонов, основанные на применении голографии или согласованных фильтров.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности является устройство для автоматического контроля фстошаблонов, содержащее не менее чем один источник света, две линейки фотодатчиков для распознавания дефектов фотошаблона, два независимых друг от друга объектива . одинаковых оптических свойств для проекции изображения фотошаблона на соответствующую линейку фотодатчика и приспособление для передвижения фотошаблона в двух направляющих, параллельных фотошаблону (см. npu6op DKG 160 народного предприятия

ФЕБ Карл Цейсс Иена, который опиcaH n "Jenaer Rundschau" 27, Janrgang, Heft 2/1982, S. 83-86) .

I5

35 и механической ошибки контрольного прибора.

Поставленная цель достигается тем, что устройство для автоматического контроля фотошаблонов, содержащее не менее, чем один источник света, две линейки фотодатчиков для распознавания дефектов фотошаблона, два независимых друг от друга объектива одинаковых оптических свойств для проекции изображения фотошаблона на соответствующую линейку фотодатчика и приспособление для передвижения фотошаблона в двух направлениях, параллельных фотошаблону, снабжено двумя дополнительными линейками фотодат чиков, каждая из которых расположена перед каждой основной линейкой фотодатчиков, двумя светопропускающими плоскопараллельными пластинками, установленными между одним из объективов и соответствующими линейками фотодатчиков, каждая пластинка выполнена с возможностью поворота вокруг оси, расположенной перпендикулярно оптической оси устройства, и всей оси поворота.

На фиг ° 1 изображена принципиальная схема устройства для автоматического контроля фотошаблонов; на фиг. 2 — две светопропускающие плоскопараллельные пластинки.

Устройство состоит .из источника

1 света, оптических элементов 1

t для расщепления светового луча и находящегося над ними исследуемого объекта фотошаблона 2. Над фотошаблоном 2 находятся объективы 3 и 4.

За объективами 3 и 4 следуют оптические элементы — призмы 5 и 6, а также зеркала 7 и 8 для наведения ходов лучей 17 и 18 в тубусные системы 9 и 10. В ходе лучей 17 за тубусной системой 10 перед линейками 14 и 16 фотодатчиков располо-. жены две светопропускающие плоскопараллельные пластинки 11 и 12.

В ходе лучей 18 за тубусной системой 9 следуют линейки 13 и 14 фотодатчиков °

С помощью источника 1 света и оптических элементов 1 для..расщепления светового луча происходит проекция определенной части двух отдельных кадров фотошаблона 2 в объективах 3 и 4.

3 1142

Выходящий из объектива 3 луч 18 проецируется призмой 5 и зеркалом

7 на тубусную систему 9, освещающую линейку 13 фотодатчиков для распознавания неправильных: положений и 5 линейку 15 фотодатчиков для распознавания дефектов фотошаблона 2.

Выходящий из объектива 4 луч 17 проецируется призмой 6 и зеркалом и на тубусную систему 10. За тубусной системой 10 в ходе лучей 17 следуют две плоскопараллельные пластинки 11 и 12, причем плоскопараллельная пластинка 11 может поворачиваться относительно оси Х, а 15 плоскопараллельная пластинка 12— относительно оси У плоскости Х, У, Таким образом, обеспечивается воэможность поправки части отдельного кадра фотошаблона 2 с помощью инфор-. 20 мации о .неправильном положении этой части отдельного кадра фотошаблона 2, 733 получаемой при помощи линейки 14 фотодатчиков. Откорректированные лу" чи 17 попадают на линейку 16 фотодатчиков для распознавания дефектов фотошаблона 2.

Компенсация неправильного положения отдельных кадров фотошаблона 2 достигается на основании информации о неправильном положении отдельных кадров относительно координат Х и У, получаемой в зависимости от структуры отдельных изображений с помощью строк двух дополнительных линеек фотодатчиков, а также системы плос копараллельных пластинок, которая действует в качестве коррегирующего звена в пределах координат Х и У плоскости изображения.

Признано изобретением по результатам экспертизы, осуществленной

Ведомством по изобретательству Германской Демократической республики.

1142733

17 1г

Составитель Л. Лобзова

Редактор Л.Веселовская Техред С.Мигунова Корректор Н. Король

Заказ 706/37 Тираж 651 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент",,г. Ужгород, ул. Проектная, 4