Способ обнаружения дефектов в диэлектрических пленках

 

СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ, заключаю1ЦИЙСЯ в том, что контролируемую пленку размещают между двумя электродами , подают на электроды напряжение и регистрируют дефект пленки, отличаю.щийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей способа за счет обеспечения последовательного контроля качества склеивания пленки с электропроводящей поверхностью, перед размещением пленки между электродами на одном из них размещают слой гигроскопичного материала, смоченного диэлектрической жидкостью, подают на них напряжение в виде однополярных импульсов звуковой частоты с амплитудой, выбираемой о S из условия сохранения диэлектрических свойств пленки, и регистрируют (Л дефект по звуковым колебаниям, генерируемым пленкой.

СООЗ СОВЕТСНИХ

В

РЕСПУ ЬЛИК

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ГЮ ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3649845/25-28 (22) 10. 10. 83 (46) 30.03.85. Бюл, В 12 (72) С.А.Дроздов и С.Д.Соломонов (71) Всесоюзный ордена Трудового

Красного Знамени научно-исследовательский проектно-конструкторский и технологический институт источников тока (53) 620.165.29:620. 179.16(088.8) (56) 1. Патент США Ф 3967196, кл. 324-54, 1976.

2. Е6-16 Иегометр. Техническое описание и инструкция по эксплуатации 2..722.011.TO (прототип). (54)(57) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ДЕФЕКТОВ

В ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНКАХ, заключающийся в том, что контролируемую пленку размещают между двумя элект„.Я0„„1147936 А

«(1) Gr 01 M 3/24 // Я 01 М 29/04 родами, подают на электроды напряжение и регистрируют дефект пленки, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических . возможностей способа за счет обеспечения последовательного контроля качества склеивания пленки с электропроводящей поверхностью, перед размещением пленки между электродами на одном из них размещают слой гигроскопичного материала, смоченного диэлектрической жидкостью, подают на них напряжение в виде однополярных импульсов звуковой частоты с амплитудой, выбираемой из условия сохранения диэлектрических свойств пленки, и регистрируют дефект по звуковым колебаниям, генерируемым пленкой.

3347

Ф

Изобретение относится к неразрушающему контролю и может быть использовано для контроля целостности диэлектрических пленок и качества их склеивания с электропрово5 дящей поверхностью.

Известен способ обнаружения дефектов в диэлектрических пленках, заключающийся в том, что на контроли-.руемую пленку предварительно наносят слой метаялизации, размещают пленку между электродами и на последние подают напряжение, а о дефекте судят по характеру и величине электрического тока Г1). I5

Недостатком данного способа является ненадежность контакта электродпленка из-за возможных дефектов слоя металлизации. Кроме того, нанесение слоя металлизации на контролируемую пленку делает данный cnocob контроля разрушающим, так как плеНка, B дальнейшем выбывает из технологического процесса.

Наиболее близким к изобретению

5 является способ обнаружения дефектов в диэлектрических пленках, заключающийся в том, что контролируемую пленку размещают между двумя электродами, подают на электроды напряжение и регистрируют дефект пленки 2 .

В данном способе регистрация дефектов осуществляется с помощью стрелочного индикатора.

Известный способ не позволяет проводить последовательный контроль З5 диэлектрических пленок: определения целостности пленки и качества ее склеивания с электропроводящей поверхностью, что ограничивает технологические возможности способа. 40

Цель изобретения — расширение технологических возможностей способа за счет обеспечения последовательного контроля качества склеивания пленки с электропроводящей поверхностью

Цель достигается тем, что согласно способу обнаружения дефектов в диэлектрических пленках, заключающе-, муся в том, что контролируемую плен- 5б ку размещают между двумя электродами, подают на электроды напряжение и регистрируют дефект пленки, перед размещением пленки между электрода- . ми на одном из них размещают слой, 55 гигроскопичного материала, смоченного диэлектрической жидкостью, подают на них напряжени в виде однопо936 2 лярных импульсов звуковой частоты с амплитудой, выбираемой из условия сохранения диэлектрических свойств пленки, и регистрируют дефект.по звуковым колебаниям, генерируемым пленкой.

Способ осуществляется следующим образом, Контролируемую диэлектрическую пленку размещают между двумя электродами, в качестве одного нз которых используется плоский металлический лист. На втором перемещаемом электроде размещают слой гигроскопичного материалы (ваты),.смоченный диэлектрической жидкостью (спиртом или бидистиллятом). Электроды. располагают с разных сторон контролируемой пленки. Подают на электроды напряжение в виде однополярных импульсов звуковой.частоты (1,0-5,0 кГц) с амплитудой, выбираемой из условия сохранения диэлектрических свойств пленки.

Амплитуда напряжения выбирается в зависимости от толцины пленки из со отношения 307 U„p «с 0 507 Одр где Одр — напряжение пробоя пленки, ее разрушения.

После подачи на электроды напряжения проводят контроль целостности (отсутствия дефектов) диэлектрической пленки и по звуковым колебаниям, генерируемым пленкой, для чего электрод, на котором размещен слой гигроскопичного материала, перемещают по поверхности контролируемой пленки.

Напряжение, приложенное к электродам, заставляет бездефектную диэлектрическую пленку аоляризоваться и колебаться со звуковой частотой в поле, создаваемом между электродамн, т.е. беэдефектная пленка генерирует звуковые колебания, которые ,воспринимает контролер.

При наличий дефекта на каком-либо участке пленки между электродами генерация звуковых колебаний пленки прекращается из-за того, что жидкость из гигроскопичного материала, размещенного на подвижном электроде, через сквозной дефект попадает под пленку и способствует плотному сцеплению пленки с цоверхностью неподвижного электрода (металлического листа). Такии образом, по отсутствию звуковых колебаний, генерируемых пленкой, контролер регистрирует

Составитель А.Черных

Редактор Л.Веселовская Техред Л.Коцюбняк Корректбр М.Демчик

Заказ 1567/35 Тираж 897 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

1 13035, Москва, Ж-35, Раушская наб ., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

3 1 наличие дефекта в диэлектрической. пленке., При последовательном контроле качества склеивания диэлектрической пленки с электропроводящей поверхностью все операции данного способа сохраняются.

Однако при этом необходимо учитывать, что при хорошем качестве склеивания контролируемая пленка не генерирует звуковых колебаний, в то время как наличие дефектов, выражающихся в неприклеивании локальных участков с образованием под ними воздушной прослойки, т.е. не147936 4 качественное склеивание, приводит к возникновению звуковых колебаний, генерируемых пленкой, что указывает на наличие дефекта.

5 Применение данного способа позволяет повысить достоверность получаемых результатов при контроле целостности диэлектрических пленок.

Кроме того, расширяются технологические возмоможности способа, что в конечном итоге приводит к сокращению количества используемых приборов и оборудования, снижению потребления электроэнергии и сбкращению времени исследований.