Способ контроля качества электронно-оптических систем

 

СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ прибо ров, включ;зюа(ий определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц, отличающийся тем, что, с целью упрощения способа за счет осуществления контроля в готовом приборе, на прибор в области расположения кроссовера электронно-оптических систем устанавливают стигматор, подают на прибор и стнгматор напряжения питания , перемещают стн-гматор вдоль оси прибора, а местоположение точки фокусировки пучка определяют в момент преобразования крестообразного изображения на экране прибора в расфокусированное пятно.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИ4ЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (г 9) ((1) 4(51) Н 01 J 9/42

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ, ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3678847/24-21 (22) 21.12.83 (46) 15.05.85. Бюл. Р 18 (72) А.Д.Педан и Б.И.Лгобиггецкая (71) Львовский ордена Ленина политехнический институт им.Ленинского комсомола (53) 62 1.385(088..8) (56) 1. Производство цветных кинескопов. И., "Энергия", 1978, с,222-228.

2. В.М.Кельман, С.Я.Явор. Электронная оптика. М.-Л., АН СССР, с ° 119 1963. (54) (57) СПОСОБ KOHTPOJIH КАЧЕСТВА

ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИХ СИСТЕМ приборов, включающий определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью упрощения способа за счет осуществления контроля в готовом приборе, на .прибор в области расположения кроссовера электронно-оптических систем устанавливают стигматор, подают на прибор и стигматор напряжения питапия, перемещают стигматор вдоль оси прибора, а местоположение точки фокусировки пучка определяют в момент преобразования крестообразного изображения на .кране прибора в расфокусированное пятно.

1156167

Изобретение относится к электронной технике и может быть использовании, Наиболее близким к предлагаемому 20 является способ контроля качества электронно-оптической системы, вклю— чающий определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц P2) . 25

Для определения точки фокусировки в известном способе используется электронно-оптическая скамья, на которую устанавливается исследуемая

ЭОС .

Недостатками способа ягшяются сложность и невозможность. его использования для готовых приборов.

Цель изобретения — упрощение способа за счет осуществления контрсля в готовом приборе.

Указанная цель достигаетса тем, что согласно способу контроля качест30 ва электронно-оптических систем, включающему определение места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц, на прибор устанавливают в области кроссовера ЭОС стигматор, подают на прибор и стигматор напряжения питания, перемещают стигматор вдоль оси прибора, а местоположение точки фокусировки пучка определяют в момент преобразования крестообразного изображения на экране прибора в расфокусированное пятно.

На чертеже схематически изображен электромагнитный стигматор, используемый в качестве индикатора места положения точки фокусировки пучка заряженных частиц. 55

Электромагнитный стигматор включает в себя катушку 1 и регулируемый источник 2 питания. Стигматор воздейно для контроля качества электроннооптических систем (ЭОС) различных приборов. 5

Известен способ контроля электронно-оптических систем, включающий определение соосности отдельных деталей и сходимость оптических осей отдельных пушек (1) .

Укаэанный .способ применяется в процессе сборки ЭОС, а в процессе его реализации используют дополни— ,тельное оборудование, например, мик роскоп ИБС вЂ” 2 и т.п. 15

Однако такой способ контроля достаточно сложен и не позволяет определить качество ЭОС в рабочем сос тояствует на электронный ггучок З„формируемый электронно-оптической системой 4 электроннолучевой трубки 5.

Для определения места положения точки фокусировки электронного пучка

3, формируемого электронно-оптическои системой 4 электроннолучевой трубки

5, катушку электромагниг ного стигматора размещают на горловине электроннолучевой трубки в пространстве дрейфа электронного пучка. На катушку электромагнитного стигматора от источника питания 2 подают переменное напряжение, например промышленной частоты. При расположении средней плоскости стигматора вне места фокусировки пучка на экране электроннолучевой трубки наблюдается характерная для работы стигматора крестообразная фигура, формирующаяся в результате фокусирующего действия квадрупольного поля стигматора. При перемещении стигматора вдоль оси пучка в направлении точки фокусировки штрих-фокусы, образующие крестообразную фигуру, начинают преобразовываться в эллипсы, а в момент совмещения

1 средней плоскости с точкой фокусировки приобретают форму расфокусирован— ного пятна, которая остается неизменной независимо от амплитуды питающего тока. Неизменность формы светящегося пятна является критерием определения места положения точки фокусировки электронного пучка. При дальнейшем перемещении стигматора в том же направлении расфокусированное пятно вновь становится эллиптичным.

ПримеHeние известного электромаг. нитного стигматора для определения места положения точки фокусировки заряженных частиц оказалось возможным благодаря взаимно компенсирующему действию квадрупольного поля стигматора на траекторию заряженных частиц до и после точки фокусировки.

Так, если в меридиональной плоскости крайние траектории пучка подвергаются воздействию первой по ходу пучка половины квадрупольного поля стигматора и при этом отклоняются, например, к оси пучка, то, пройдя точку фокусировки, эти траектории должны были бы еще бОльше удаляться от оси, однако, вторая половина квадрупольного поля повторно отклоняет. траектории к оси и тем самым компенсирует воздействие первой половины

1156167

Составитель В.Александров

Редактор В.Ковтун Техред О.Ващинина Корректор И.Эрдейи

Заказ 3187/51 Тираж 679 Подпис ное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", г.ужгород, ул. Проектная, 4 поля. В результате фокусирующее действие стигматора на пучок на экране электроннолучевой трубки не наблюдается.

Экспериментальная проверка индикатора была выполнена на электроннолучевой трубке типа 13ЛК, электронно-оптическая система которой создает второй кроссвер в пространстве дрейфа. Стигматор, выполненный в ви- 10 де электромагнитного квадруполя,размещался на горловине трубки за пределами предполагаемой области второго кроссовера и подсоединялся к

ЛАТРу. При включении трубки и пода- 15 че переменного тока в стигматор на экране трубки наблюдалась характерная для стигматора крестообразная фигура. Стигматор перемещался вдоль оси горловины в направлении второго 2О кроссвера . В момент совмещения средней плоскости стигматора с кроссвером штрих-фокусы крестообразной фигуры приобретали форму неискаженного расфокусированного пятна. Место положения второго кроссовера в исследуемой электроннолучевой трубке определялось расстоянием между средней плоскостью квадруполя и люминофорным покрытием экрана трубки. Это расстояние составило 405 мм при ускоряющем напряжении 15 кВ и 387 мм при ускоряющем напряжении 10 кВ.

Использование данного изобретения по сравнению с известными способами имеет преимущества, так как стигматор прост flo конструкции и может применяться в экспериментальных лабораториях предприятий электровакуумной промышленности при исследовании готовых электроннолучевых приборов.