Сорбционный вакуумный насос
СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус-анод, размещенный в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он снабжен электродами в виде газопроницаемых пластин, установленных перпен-. дикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от, испарителя-катода и имеющих отрицательный потенциал относительно последнего. О) О)
СОЮЗ. СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
П9) (11l
1 1
4(1) F 04 В 37/02
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ л
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3637185/25-06 (22) 18.08.83 (46) 07.06,85. Бюл. Р 21 (72) А.И. Аренштам и Е.Д. Бендер (71) Институт теплофизики Сибирского отделения АН СССР и Новосибирский государственный университет им. Ленинского комсомола (53) 621.65(088,8) (56) 1. Патент США И - 3827829, кл. 4 17-49, опублик. 1974.
2. Авторское свидетельство СССР
У 528386, кл. F 04 В. 37/02, 1.975. ь (54) (57) СОРБЦИОННЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус-анод, размещенный в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он снабжен электродами в виде газопроницаемых пластин, установленных перпендикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от. испарителя-катода и имеющих отрицательный потенциал относительно последнего.
101
Составитель В. Кряковкин
Техред И.Асталош Корректор И. Эрдейи
Редактор О. Головач
Тираж 586 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-З. ; Раушская наб., д. 4/5
Заказ 3719/31
Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
1. 1160
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыпяемыми геттерами.
Известен сорбционный вакуумный 5 насос, содержащий корпус, помещенный в магнитное поле, и расположенный в корпусе дуговой геттерный испаритель-катод в виде кольца, в центре которого установлен ячеистый анод 1 ).
Недостатком данного насоса является невысокая быстрота действия по инертным газам вследствие затрудненного попадания плазмы дугового разряда в ячейки анода из-за ухода 15 электронов плазмы вдоль силовых линий магнитного поля насоса на корпус.
Наиболее близким к изобретению является сорбционный вакуумный .насос, содержащий корпус-анод, размещенный 20 в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид (2 ).
Однако существование в насосе в различных зонах дугового разряда . 25 и разряда Пеннинга и невозможность проникновения плазмы дугового разряда в зону разряда Пеннинга вследствие ухода электронов плазмы вдоль силовых линий магнитного поля снижают эффек- ЗО тивность ионизации откачиваемого газа, особенно в зоне разряда Пеннинга, а следовательно, и быстроту действия насоса, главным образом по инертным газам.
Цель изобретения — улучшение от. качных характеристик насоса.
Указанная цель достигается тем, что сорбционный вакуумный насос, содержащий корпус-анод, размещенный 4р в нем по оси дуговой геттерный испаритель-катод и расположенный на корпусе-аноде соленоид, снабжен электродами в виде газопроницаемых пла.стин, установленных перпендикулярно оси корпуса-анода по обеим сторонам от испарителя-катода и имеющих, отрицательный потенциал относительно последнего. .На чертеже представлен насос,про-. дольный разрез.
Сорбционный вакуумный насос содержит корпус-анод 1, размещенный в нем по оси дуговой геттерный испарителькатод 2 и расположенный на корпусеаноде 1 соленоид 3 и снабжен .электродами в виде газопроницаемых пластин
4, установленных перпе*дикулярно оси корпуса"анода 1 rio обеим сторонам от. испарителя-катода 2 и имеющих отрицательный потенциал относительно последнего.
Насос работает следующим образом.
При запуске насоса в промежутке . между корпусом-анодом 1, испарителемкатодом 2 и пластинами 4 инициируются дуговой разряд и разряд Пеннинга.
Дуговой разряд возникает между корпусом-анодом 1 и испарителем-катодом 2 и характеризуется наличием катодных пятен вакуумной дуги, которые, хаотически перемещаясь по поверхности геттерного испарителя-катода 2, испаряют геттер и генерируют поток нейтральной плазмы, занимающий весь промежуток между корпусом-анодом 1 и испарителем-катодом 2. Вбпизи корпуса-анода
1 электроны плазмы дугового разряда . дрейфуют в скрещенных электрическом и магнитном полях, образуя так называемый "холловский слой", характерный для разряда Пфннинга. Уходу электронов вдоль силовых линий магнитного поля препятствует отрицательный потенциал пластин 4, напичие которых создает условия для существования в одном разрядном промежутке двух. типов разряда — дугового и Пеннинга.
В этом разрядном промежутке происходит интенсивная ионизация молекул откачиваемых газов,. обеспечивающая большую быстроту действия насоса.
