Электролит для анодного растворения титановых покрытий

 

ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ АНОДНОГО РАСТВОРЕНИЯ ТИТАНОВЫХ ЛОКШТИЙ, содержащий нитрат-ионы, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целыб предотвращения растравливания стеклянной подложки, он дополнительно содержит N,N-димeтилфopмaмид, а в качестве источника нитрат-ионов-литий азотнокисльй при следующем соотношении компонентов, мас.%: NjN-Дйметилформамид 96-99 . Литий азотно-кислый 1-4

СОЮЭ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (19) (! 11 (51) 1 С 25 Р 5/00

А". с р, I

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1 ."-.,„..@

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ Жм

96-99

1-4 (21) 3633434/22-02 (22) 15.08.83 (46) 23.07.85. Бюл. Р 27 (72) А.П.Брынза, В.П.Федаш, А.Б.Величенко и Л.И.Герасютина (71) Днепропетровский ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. 300-летия воссоединения Украины с Россией (53) 621.3.035.44(088.8) (56) Патент CIIIA Ф 2780594, кл. 204-141, опублик. 1957.

Авторское свидетельство СССР

В 850764, кл. С 25 F 3/26, 1979. (54)(57) ЭЛЕКТРОЛИТ ДЛЯ АНОДНОГО

РАСТВОРЕНИЯ ТИТАНОВЫХ ПОКРЫТИЙ, содержащий нитрат-ионы, о т л и ч а юшийся тем, что, с целью предотвращения растравливания стеклянной подложки, он дополнительно содержит

N N-диметилформамид, а в качестве источника нитрат-ионов-литий азотнокислый при следующем соотношении компонентов, мас.7.:

N,N-Диметилформамид

Литий азотно-кислый

1168634

Состав электролита

Показатели

2 3 4 5

Содержание компонентов в электролите, нас.2

96

98

Температура, С

25

25

Анодная плотность тока, нА/сн*

30

40

Растворение титана

Продолкительность процесса, с не происходит

Толщина удаляемого слоя титана, нкм

0i3

0i3

0,3

0,3

0,3

Изобретение относится к электролитической обработке металлов, в частности к анодному растворению титановых покрытий, вакуумно напыленных на стекло. 5

Цель изобретения — предотвращение растравливания стеклянной подложки.

Положительный эффект достигается за счет введения в электролит N Nдиметилформамида и лития азотнокислого.

Процесс анодного растворения рекомендуют проводить при 20-25оС, анодной плотности тока 30-120 А/см, 15 при напряжении 20-40 В с использованием титановых катодов.

Электролит готовят смешиванием технически чистых компонентов, взятых в указанном соотношении. 20

Сущность изобретения иллюстрируется данными таблицы.

Известный электролит, содержащий серную, азотную и плавиковую кислоты, не может быть использован для удале- 25 ния титановых покрытий со стеклянной подложки из-за растравливающего действия фторид-ионов.

Как видно из таблицы, предлагаемый электролит позволяет удалять с 30 высокой скоростью (1-3 с) титановые пленки, вакуумно напыленные на стеклянную подложку без растворения последней.

Предлагаемый электролит обеспечивает высокую скорость удаления титановых покрытий. Добавка нитрата лития к N N-диметилформамиду создает высокую электропроводность раствора, так как сам N,N-диметилформамид неэлектропроводен. Как видно из таблицы, при равных условиях эффективнее использовать электролит с большим содержанием лития азотнокислого, так как с увеличением его концентрации растет электропроводность раствора, что позволяет при одинаковых прикладываемых напряжениях увеличить плотность анодного тока и, следовательно, увеличить скорость растворения пленки.

В таблице (составы 4 и 5) показано влияние возможных примесей воды в диметилформамиде на качество процесса анодного растворения титановых покрытий.

Увеличение концентрации примесей воды более 37. вызывает пассивацию титана, вплоть до полного прекращения растворения.

Предлагаемый электролит может быть использован в различных областях техники, где возникает необходимость быстрого удаления титановых пленок, нанесенных на стеклянную основу.