Способ настройки интегральных тензометрических мостов

 

СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИХ МОСТОВ, заключающийся в том, что в одно из плеч моста вводят термочувствительный резистор, сопротивление которого превышает предельно необходимое для термокомпенсации, измеряют начальный выходной сигнал моста при закороченном термочувствительном резисторе для двух различных температур , определяют температурный дрейф сигнала, рассчитывают величину сопротивления термочувствительного резистора, необходимую для термокомпенсации , и с помощью технологической перемычки подгоняют величину сопротивления термочувствительного резистора требуемой величины , отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем уменьшения аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур, измеряют начальный выходной сигнал моста при тех же температурах и полностью включенном термочувствительном резисторе, а величину сопротивления подгоняют напыпением технологической перемычки и между двумя любыми точками термочувствительного резистора. 4 00 СО

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (04 С 01 В 7/18

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛ,АМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3709835/25-28 (22) 11.03.84 (46) 23.08.85. Бюл. У 31 (72) В.А.Тихоненков, А.И.Жучков, E.Ì.Áåëîçóáîâ и Н.Ф.Соснин (53) 531.781.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

В 855384, кл. С 01 В 7/18, 1926.

Авторское свидетельство СССР

В 691682, кл. G 01 В 7/18, 1978. (54)(57) СПОСОБ НАСТРОЙКИ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ТЕНЗОМЕТРИЧЕСКИХ МОСТОВ, заключающийся в том, что в одно из плеч моста вводят термочувствительный резистор, сопротивление которого превышает предельно необходимое для термокомпенсации, измеряют начальный выходной сигнал моста при закороченном термочувствительном резисторе для двух различных тем„„SU„„1174739 A ператур, определяют температурный дрейф сигнала, рассчитывают величи ну сопротивления термочувствитель" ного резистора, необходимую для термокомпенсации, и с.помощью технологической перемычки подгоняют величину сопротивления термочувствительного резистора требуемой величины, отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем уменьшения адцитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур, измеряют начальный выходной сигнал моста при тех же температурах и полностью включенном термочувствительном резисторе, а величину сопротивления подгоняют напылением технологической перемычки и между двумя любыми точками термочувствительного резистора.

1174739

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при настройке тензометрических мостов, изготавливаемых по интегральной микроэлектронной технологии на основе как металлопленочных, так и полупроводниковых тензорезисторов.

Целью изобретения является повышение точности путем уменьшения аддитивной температурной погрешности в широком диапазоне температур.

На фиг. 1 представлен интегральный тензометрический мост с термочувствительным резистором и напыпенной технологической перемычкой, общий вид; на фиг. 2 - схема включения моста при снятии величины температурного дрейфа.

Способ осуществляется следующим образом.

При изготовлении тензометрического моста 1, включающего в себя четыре тензорезистора 2-5, в одно из плеч, например, последовательно с тензореэисторами 4 и 5, вводят термочувствительный резистор 6. Выводы тензорезисторов 2-5 образованы соответственно контактными площадками

7-10, а выводы термочувствительного резистора 6 — контактными площадками

11 и 12. Сопротивление термочувствительного резистора 6 выбирают таким, чтобы оно превышало предельно необходимое для термокомпенсации.

Тензометрический мост 1 помещают в термокамеру 13 и с помощью клеммной колодки 14 подключают к источнику 15 питания и вольтметру 16. Выключатель

17 поочередно устанавливают в поло. жение "Замкнуто" и "Разомкнуто" и

5 измеряют начальный выходной сигнал ,моста 1. Эти измерения проводят при двух раэличнык температурах, По полученным данным рассчитывают температурный дрейф сигнала и величину сопротивления термочувствительного резистора 6, необходимую для термокомпенсации.

С помощью технологической перемычки 18> напыляемый между двумя любыми получившимися в соответствии с расчетом точками термочувствйтельного резистора 6 до требуемой величины. На этом процесс настройки интегрального

20 тензометрического моста заканчивается.

Использование предлагаемого способа позволяет более точно определять величину сопротивления термочувстви тельного резистора, необходимую для термокомпенсации, так как сигнал этого резистора оценивается на основе экспериментальньк данных. Более точная подгонка величины сопротивления

30 обеспечивается бесступенчатой регулировкой с помощью напыпяемой по месту перемычки. Таким образом, предлагаемый способ позволяет на порядок уменьшить аддитивную температурную погрешность, что существенно повышает точность измерений при работе моста в широком диапазоне температур.

l174739 г

Составитель Н.Тимошенко

Техред О.Неце Корректор M. Самборская

Редактор Г.Волкова

Филиал ППП "Патент", r.Óæãîðîä, ул.Проектная,4

Заказ 5170/41 Тираж 651 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5