Способ изготовления линейных линзовых растворов
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ЛИНЗОВЫХ РАСТРОВ преимущественно из оптического стекла, включающий нанесение на подложку маскирующего покрытия , формирование в маскирующем покрытии сквозных полос с периодом растра, травление материала подложки через сквозные полосы и удаление маскирующего покрытия, отличающийся тем, что, с целью улучшения оптических характеристик растра путем исключения пробельных участков и повьшения качества профиля линз, ширина СКВ.ОЗНЫХ полос составляет 0,1-0,5 периода растра, а травление проводят в два этапа, причем предварительное травление проводят в жидкой фазе через сквозные полосы на глубину 2,5-5 высот профиля линз, а после удаления маскирующего 5S покрытия проводят дополнительное С/) травление до глубины 1,2-1,5 упомянутой высоты, после чего растр подвергают химической полировке. / /7/ 777//////// Гш f//////// ////// /////////////// /////у///////// ///////7/////// /////////////// /////////////// 7 / f / / / / / / / /7 //////////////7.
СОЮЗ СОВЕТСНИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
<»)4 С 03 Р 5/00
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
flO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЬ ТИЙ (21) 3693172/24-10 (22) 13. 01. 84 (46) 15. 10. 85. Бюл. Ф 38 (72) Н. Н. Яцевич, Н. В. Шевлик и В.Я.Потапов (53) 678.029(088.8) (56) Федотов А.И. Технология автоматизированного нанесения штрихов и знаков. — Л.: Машиностроение, 1977, с. 182-210.
Валюс Н.А. Растровые оптические приборы.-M.; Машиностроение, 1966, с. 197. (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ
ЛИНЗОВЫХ РАСТРОВ преимущественно из оптического стекла, включающий нанесение на подложку маскирующего покрытия, формирование в маскирующем пок„„80„„1185305 рытии сквозных полос с периодом растра, травление материала подложки через сквозные полосы и удаление маскирующего покрытия, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения оптических характеристик растра путем исключения пробельных участков и повышения качества профиля линз, ширина сквозных полос составляет 0,1-0,5 периода растра, а травление проводят в два этапа, причем предварительное травление проводят в жидкой фазе через сквозные полосы на глубину 2,5-5 высот профиля линз, а после удаления маскирующего ф покрытия проводят дополнительное травление до глубины 1,2-1,5 упомянутой высоты, после чего растр подвергают химической полировке.
1185305
РазрешаюРазнофокусОтносительная
Относищая способность, мм тельная глубина предваность линз по полю ширина сквозных рительнбго полос в растра, 7. покрытии, I!tp травления, h /,„
0,1
1,5 (100 )10
0,05
1,5 (100
0,1
2,0
6,5
0,1
2,5
200
0,1
4,5
2 1 5
4,5
0,1
5,0
130
6,0
0,1
5,5
105
8,5
0,1
6,0 а) 00
9,5
0,05
2,5
103
8,5
0,2
4,0
240
4,0
0,3
4,0
250
3,0
0,4
5,0
120
55 04
5,5
115
5,5, 0,5
105 10
Изобретение относится к оптическому приборостроению и может быть использовано в производстве линзовых растров.
Цель изобретения — улучшение опти- э ческих характеристик растра путем исключения пробельных участков и повышения качества профиля линз.
На фиг. 1 изображен исходный рисунок на фотошаблоне; на фиг. 2 — получаемый рельеф на подложке.
Период t расположения сквозных полос шириной Ь на подложке 1 фотошаблона (фиг. 2) равен периоду tp образуемых линз на подложке растра, 15 т.е. t = t.р (фиг. 2), причем пробельные участки между линзами не превышают 1 мкм.
При травлении в жидкой фазе с маскирующим покрытием наибольшая ско- 20 рость удаления материала подложки в центральной части полосы; по мере увеличения расстояния от центра к периферии скорость уменьшается. В результате протравленный на глубину рельеф имеет цилиндрическое или близкое к цилиндрическо,лу дно с несколько уме ньшенными по сравнению с профилем линз радиусами. После удаления маскирующего покрытия 2 наибольшая ско- 30 рость травления — у края полос и са— мих пробельных участков. Поэтому при формировании в пленках маскирующего покрытия сквозных полос шириной . .,в— = 0,1-0,5 периода растра и глубиной 35 предварительного травления 2,5-5 высот профиля линз удается получить нужный профиль с высотой линз И и высокими оптическими характеристиками: разрешающей способностью и стабильным фокусным расстоянием по полю растра.
Требуемая глубина предварительного травления и ширина сквозных полос выбираются в указанных пределах в зависимости от периода растра и высоты профиля линз экспериментальным путем.
Результаты экспериментальных измерений сведены в табл. 1 и 2.
Как видно из табл. 1, разнофокусность линз по полю растра увеличивается до 6-8Х на предельных значениях ширины сквозных полос в маскирующем покрытии и глубины предварительного травления.
Т а блица.1
Зависимость оптических характе-. ристик линейных линзовых растров от глубины предварительного травления и ширина сквозных полос в маскирующем покрытии з 1185305
Продолжение табл. 1
Таблица 2
Зависимость коэффициента светопропускания растров относительно коэффициента светопропускания стекла от наличия операции химической полировки
1 2 3 4
)10
<100
6,0
0,5
>10 д 100
6,5
0,5.10 с,100
Относитель7,5
Образец Наличие операции химической поли0,5 ная величина коэффици> 10 с 100
7,5
0,55
10 ровки. -10
<100
6,0
0,55 ента светопропускания растра, Кр /Кд
0,55
105
5,0
9,5
100
5,0
0,6
10 (1 00
4,0
0,65
0,95
280
Есть
3,5
0,3
2,5
290
4,0
0,4
0,90
Нет
305
3,5
0,4
0,96
Есть 1,5
315
3,5
0,35
0,88
139
Нет
2,5
0,5
25 5
105
2,0
0,5
0,94
Есть
10 (100
1,5
0,5
П р и м е ч а н и е. K> — коэффициент светопропусд-1 00
1,5
0,45 ла, из которого изготовлен растр.
Фис. 8
Составитель Л.Беспрозванный
Редактор Л.Пчелинская Техред О.Неце Корректор СоШекмар о
Заказ 6364/44 Тираж 447
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5
Подписное
Филиал ППП "Патент™, r. Ужгород, ул.Проектная, 4
П р и м е ч а н и е: — глубина пред — З0 варительного травления подложки через сквозные окна в маскирующем покрытии (на схеме не
35 показана). кания растра;
К вЂ” коэффициент светопропускания стек
