Механотронный преобразователь перемещений

 

МЕХАНОТРОННЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащий вакуумированный корпус, размещенные внутри него измерительный подвижный и всномогательный неподвижный аноды, расположенные на одной стороне изоляционной подложки измерительный и вспомогательный катодь, выполненный в виде пленки на обратной стороне подпожки подогреватель катодов и систему температурной стабилизации тока эмиссии измерительного катода, подключенную между вспомогательным катодом и подогревателем, отличающийся тем, что, с целью повышения точности измерения перемещений , подогреватель катодов § снабжен электродом в форме спирали, расположенным с зазором относи (Л тельно пленки, выполненной в виде сплошного металлического покрытия.

СО!ОЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„31 44

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ и дето сномм свидетельств

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3704157/25-2& (22) 27.02.84 (46) 23,11.85, Бюл. Р 43 (71) 11осковский авиационно-технологический институт им. К.Э.Циолковского (72) А.M.Васильев, А.M.Левин, В.Н.Черняев, В.А.Селезнев и Д.П.Прунов (53) 62!.317.39:531. 71(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 418746, кл, G Ol Ь ll/00, 1971 °

Авторское свидетельство СССР

У 872990, кл. G 01 ? 21/12, 1979. (54) (57) ИЕХАНОТРОННЪ|Й ПРЕОБРАЗОВА-..

ТЕЛЬ ПЕРЕ11ЕЩЕНИИ, содержащий вакуумированный корпус, размещенные внутри (3!)4 0 Ol В 7/00, G О! L 21/!2 него измерительный подвижный и вспомогательный неподвижный аноды, расположенные на одной стороне изоляционной подложки измерительный и вспомогательный катоды, выполненный в виде пленки на обратной стороне подложки подогреватель катодов и систему температурной стабилизации тока эмиссии измерительного катода, подключенную между вспомогательным катодом и подогревателем, о т л ич а ю шийся тем, что, с целью повышения точности измерения перемещений, подогреватель катодов снабжен электродом в форме спирали, расположенным с зазором относительно пленки, выполненной в виде сплошного металлического покрытия.

l 193443

Составитель С.Луначев

Техред N. Пароцай Корректор C.Шекмар

Редактор N, Бланар

Заказ 7303/40

Тираж 650 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35,. Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к конт" рольно-измерительной технике и может быть использовано для измерения микроперемещений.

Цель изобретения — повышение точности измерения перемещения путем бслее равномерного разогрева подложки в механотронном преобразователе перемещений.

На чертеже изображен механотрон- 10 ный преобразователь перемещений.

Преобразователь содержит вакуумированный корпус 1, размещенные внутри него подвижный измерительный 2 и неподвижный вспомогательный 3 аноды, 15 расположенные на одной стороне изоляционный подложки .4 измерительный 5 и вспомогательный 6 катоды.

Подогреватель катодов выполнен в виде напыленной на обратной сторо- 20 не подложки 4 металлической пленки

7 и размещенном на расстоянии от нее электроде 8, имеющим форму спирали.

Система 9 температурной стабилизации тока эмиссии измерительного като- 25 да 5 включена между вспомогательным анодом 3 и электродом 8, а также. пленкой 7 подогревателя. В цепь источника 10 питания постоянного тока измерительного катода и анода включен регистрирующий прибор 11.

Преобразователь работает следующим образом.

При перемещении измерительного анода 2 изменяется расстояние между ним и измерительным катодом 5. Ток между ними зависит от температуры окружающей среды и от перемещения измерительного анода 2. ь вспомогательных, неподвижных один относительно другого анода 3 и катода 6 ток зависит только от температуры. Поэтому при ее изменении изменяется ток между катодом 6 и анодом З,вследствие чего изменяется напряжение на выходе системы 9 температурной стабилизации между металлической пленкой 7 и электродом 8. Изменение этого напряжения меняет кинетическую энергию электронов, попадающих на сплошную металлическую пленку 7 с электрода 8. В результате меняется мощность подогревателя катодов 5 и

6, а следовательно, и температура подложки 4, компенсируя изменение температуры окружающей среды, Таким образом, ток, проникающий через измерительный катод 5 и анод 2 и регистрируемый прибором 11, не зависит от изменения температуры окружающей среды, что повышает точность измерения перемещений.

Выполнение пленки 7 подогревателя катодов в виде сплошного металлического покрытия обеспечивает более равномерный разогрев подложки 4 бладаря устранению локальности ее подогрева в соответствии с рисунком подогревателя и из-за неравномерности толщины напыляемой пленки, что имеет место в известном техническом реше" нии.