Способ изготовления чувствительного элемента теплоэлектрического вакуумметра

 

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕС-, КОГО ВАКУУММЕТРА,включающий формирование ИЗ исходной заготовки йлоского рабочего отрезка в виде ленты с концевыкм участками, о т л и ч а ющ и и с я тем, что, с целью повышения процента выхода годных чувствительных элементов, в качестве ис- , ходной заготовки берут медно-золо- ,тую волластоновую нить, на плоском рабочем отрезке химически стравливают внешний слой меди, а концевые участки утончают бомбардировкой ионами HHepTHHk газов.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

3(51) . 01 21 12

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЬП ИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3587860/18-10

° (22) 28.04.83 (46) 07 ° 07.84. Вюл. Р 25 .(72) Г.Д.Глебов (71) Московский институт электронного машиностроения (53) 531.787(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство. СССР ф 869446, кл. C 01 1, 21/14,13.05.80 °

2. Глебов Г.Д. Поглощение газов активными металлами. М., Госэнергоиэдат, 1961, с. 37-38,(прототип J.

„.SU„, 1101699 A (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА ТЕПЛОЭЛЕКТРИЧЕС-, КОГО ВАКУУММЕТРА,включающий формирование иэ исходной заготовки йлоско- го рабочего отрезка в виде ленты с концевыми участками, о т л и ч а ю- шийся тем, что, с целью повьыения процента выхода годных чувствительных элементов, в качестве исходной заготовки берут медно-золо-,.тую волластоновую нить, на плоском рабочем отрезке химически стравливают внешний слой меди, а концевые участки утончают бомбардировкой ионами инертных газов.

1101699

Составитель В. Каз ахов

Техред И.Асталош Корректор В, Бутя га

Редактор С. Лыжова

Заказ 4754/26 Тираж 823 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент",г.ужгород, ул.Проектная,4

Из обретение относится к в акуумной технике, в частности к способу из готовления чувствительного быстродействующего элемента лампыдатчика теплоэлектрического вакуумметра сопротивления, применяемого для измерения давлений в диапазоне

100-0,001 Па.

Известен способ изготовления чувствительного элемента теплоэлектрического (термопарного или термисторного) вакуумметра, включающий формирование рабочего отрезка с концевыми участками L1 3.

Указанный способ обладает недост ат ком, з а ключ ающимся в сложности 1 5 изготовления, так что выход годных чувствительных элементов ограничивается 40-50%.

Наиболее близ ким к изобретению является способ изготовления чувст- 2п вительного элемента, заключающийся в механическом плющении, например, под прессом цилиндрической исходной заготовки — платиновой или золотой проволоки, с образованием 25 цилиндрических концевых участков (27 °

Недостаток этого способа изготовления чувствительного элемента теплоэлектрического вакуумметра состоит в том, что толщина платиновой (золотой ) ленты при плющении соответствующих исходных проволок не. может быть получена менее — 1,5 мкм из-за явлений упругой деформации, шероховатости применяемых пуансонов и возникак.-1их дефектов; выход годных чувствительных элементов при сборке ламп-датчиков оказывается весьма малым, так как имеют место обрывы, перегорания, "срезы" заго- 40 товки в местах перехода от цилиндри" ческой к плоской форме.

Целью изобретения является повышение процента выхода годных чувствительных элементов. 45

Поставленная цель достигается тем,что согласно способу изготовления чувствительного элемента теплоэлектрического вакуумметра, включающему формирование из исходной заготовки плоского рабочего отрезка в виде ленты с концевыми участками, в каЧестве исходной заготовки берут медно-золотую волластоновую нить, на плоском рабочем отрезке химически стравливают внешний слой меди, а концевые участки утончают бомбардировкой ионами инертных газов.

Пример. Берут медно-золотую волластоновую нить и прокатывают ее в плоскую ленту, что ведет к одинаковой относительной деформации как оболочки, так и сердцевины волластона. Отрезок медно-золотой ленты прикрепляют к омическим золоченым никелевым электроконтактам собираемой лампы-датчика вакуумметра путем конденсаторной или термокомпрессионной микросварки. Оба монтажных (приконтактных) участка плоского тела — полуфабриката чувствительного элемента защищают с помощью легковыгорающего, но химически стойкого нитроцеллюлозного лака — раствора коллоксилина в изоамилацетате.

На остальной (незащищенной) длине волластона медную оболочку стравливают разбавленной азотной кислотой.

Полученный подсобранный элемент осторожно, но тщательно проьивают дистиллированной водой и выводят на воздух через слой серного эфира.

После этого ленту монтируют в вакуумную оболочку — стеклянную колбу будущего датчика. Вокруг обеих приконтактных участков золотой ленты устанавливают два заземленных металлических анода. Эатем вакуумную оболочку откачивают, заполняют, например, чистым аргоном, и подают на оба катодных контакта отрицательное напряжение. При этом в разрезанном газе зажигается самостоятельный тлеющий разряд. Из-за ограниченной длины анодов ионному травлению в нем подвергаются преимущественно лишь противостоящие каждому аноду, не изолированные лаком, приконтактные участки золотой ленты. Площадь поперечного сечения этих участков постепенно уменьшается ° Подбирая надлежащие межэлектродные расстояния и форму анодов, а также меняя прилагаемую разность потенциалов или ограничивая разрядный ток,нетрудно добиться, чтобы уменьшение шло, главным образом, за счет сокращения ширины, а не толщины золотой ленты, что облегчает визуальный контроль процесса.

Таким образом, использование данного изобретения позволяет повысить процент выхода годных чувствительных элементов.