Пленочный болометрический элемент для измерения мощности сверхвысокочастотных колебаний

 

Класс 2Ia4, 71 № 123586

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

В. А. Югов

ПЛЕНОЧНЫЙ БОЛОМЕТРИЧЕСКИИ ЭЛЕМЕНТ

ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МОЩНОСТИ СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНЫХ

КОЛЕБАНИИ

Заявлено 8 мая 1959 r. за № 627401/26 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Л!инистров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» ¹ 21 за 1959 г.

В известных пленочных болометрах для измерения мощности СВЧ применяются металлические слои, являющиеся согласующими элементами, в которых происходит поглощение мощности СВЧ, и одновременно термочувствительными элементами. Основным недостатком таких систем является низкая чувствительность.

У предлагаемого болометра чувствительность повышена. Болометр выполнен в виде пластины диэлектрика, с одной стороны которого нанесен слой металла, обладающий большой стабильностью сопротивления, а с другой стороны нанесен слой полупроводника с большим ТКС.

На пластину диэлектрика 1 (см. чертеж) наносится с одной стороны тонкий металлический слой 2, а с другой стороны — полупроводниковый слой 8. На металлический слой наносятся металлические контактные слои 4, а на полупроводниковый слой — металлические контактные полоски б.

Принцип действия болометра заключается в следующем: металлическая пленка, сопротивление которой согласовано с волноводом, поглощает энергию СВЧ и нагревается; нагрев металлической пленки вызывает нагрев подложки и полупроводникового слоя, что вызывает изменение сопротивления полупроводникового слоя; это изменение сопротивления измеряется, например, с помощью моста. Измерение мощности может производиться методом замещения мощности СВЧ мощностью постоянного тока. Таким образом, болометр обладает высокой чувствительностью при сохранении хорошего согласования с волноводным трактом на различных уровнях мощности. № 123586

П р едм ет и зо бр етен ия

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Редактор Н. С. Кутафина Гр. 89

Подл. к печ. 16.Х-59 г.

Тираж 770 Цена 25 коп.

Информационно-издательский отдел.

Объем 0,17 и. л. Зак. 8618

Типография Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР"

Москва, Петровка, 14.

Пленочный болометрический элемент для измерения мощности сверхвысокочастотных колебаний, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, он выполнен в виде диэлектрической пла. стины, одна из сторон которой покрыта металлической пленкой, а другая †полупроводников слоем.