Способ получения сублимированных пленок из химических соединений в горячей камере

 

М 123645

Класс 22f, 15

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

М, С. Сытилин

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СУБЛИМИРОВАННЪ|Х ПЛЕНОК ИЗ

ХИМИЧЕСКИХ СОЕДИНЕНИЙ В ГОРЯЧЕЙ КАМЕРЕ

Заявлено 23 ноября 1956 г. за № 462757/23 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» ¹ 21 за 1959 г, Предмет изобретения

Способ получения сублимированных пленок из химических соединений в горячей камере, отличающийся тем, что, с целью получения равномерного покрытия по структуре и толщине, исходные газообразные вещества впускают в камеру-реактор периодически, при непрерывном нагревании подложки и твердого вещества.

В известных способах нанесение сублимированных пленок (люминЯсцигую1цих и нелюминссцирующих) производят периодическим впуском в горячую камеру твердых веществ при непрерывном потоке газоз. Однако при этом способе нельзя получить равномерную по структуре и ",олщине пленку по всей поверхности подложки.

В предлагаемом способе этот недостаток устранен путем осуществления периодической химической реакции в газовой фазе. Для осуществления предлагаемого способа находящиеся в камере-реакторе (она может быть одновременно колбой для электронно-лучевой трубки) подложку и твердые вещества непрерывно нагревают до заданной температуры; одновременно из камеры-реактора откачивают воздух. Как только давление в камере начнет возрастать, перекрывают кран на линии камера-форвакуумный насос и затем кратковременно открывают кран на линии камера-газ. В камере-реакторе происходит химическая реакция между газообразными веществами, а выделяемый при этом продукт с малой упругостью пара равномерным слоем осаж дается по всей геометрической поверхности подложки. На этом цикл заканчивается.

Количество указанных циклов зависит от заданной толщины пленки, объема и температуры камеры, температуры подогревателя и количества испаряемого вещества.

Активатор желательно вводить после нанесения пленки.