Датчик вакуума

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51)4 G 01 1 21 12

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (2!) 3632306/24-10 (22) 03.08.83 (46) 07.01.86. Бюл. ¹ 1 (71) Одесский технологический институт пи ценой промышленности им. М. В..Iомоносова (72) I. Т. Бандурипа (53) 531.787 (088.8) (56) Патент CLLI> № 3747710, кл. 73- 399, 1979.

Авторское свидетельство СССР № 609070, кл, (з 01 1 9/04, 1976.

„„SU„„1203388 А (54) (57) 1АТЧИК ВАКУУМА, содержащий подложку из диэлектрика, на которуK) нанесен чувствительный элемент, расположенный между двумя омическими контактами, атлинаюи1ийся тем, что, с пелью повышения чувствительности, чувствительный элемеI т в пем выполнен из аморфной гсрMа ниевой пленки, а сторона каждого омического контакта, обра1ненная к чувствительному элементу, выполнена в виде идентичных греоенок, расположенных одна в другой.

1203388

Состашп еда В. Казак )!

Редактор Л. Зайцева Техред И Вере Корректор Т Колб

Заказ 8408145 1 ираж 896 11одписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к области измерения вакуума.

Цель изобретения — повышение чувствител ьности.

На фиг.1 изображен датчик в плане; на фиг.2 — то же, разрез.

З,атчик вакуума содержит диэлектрическуlo подложку 1. на которую чувствительный элемент в виде аморфной германиевой пленки 2. На краях пленки расположены два металлических контакта 3, каждая из сторон которого, обращенная к чувствительному элементу, выполнена в виде идентичных гребенок, расположенных одна в другой.

Толщина чувствительного элемента подбиралась так, чтобы объемная проводимость не экранировала изменение поверхностной.

Для полупроводников эта величина составляет порядка 0,1 мкм.

Работа датчика осуществляется следующим образом.

Предварительно определяется начальное сопротивление при атмосфер Io» давлении.

После начала вакуумирования фиксируется величина сопротивления. Относительное изменение сопротивления является функцией давления (разряжения) .

Таким образом, использование аморфного германия и контактов специальной формы позволяет увеличить чувствитсл IIocTI зг счет снижения сопротивления датчика и floвысить срок его годности.