Способ изготовления зондовых головок

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (l9) (И) (5g) g (: 01 R 1/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

t

) ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3673797/24-21 (22) 20.12.83 (46) 23.01.86. Бюл. ¹ 3 (71) Таганрогский радиотехничес-, кий институт им. В.Л.Калмыкова (72) Н;Н.Цопкало, Е.Г.Утишев, В.Г.Ли и В,Н.Нозиков (53) 621.382.752(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

N 284960, кл. G 01 R.27/00, 1976. (54) (57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕН11Я ЗОНДОВЫХ ГОЛОВОК, включающий натяжение проволок на определенном расстоянии одна от другой при помощи натяжного устройства, установку под проволоками пластины с пазом, многократное последовательное нанесение на проволоку с пазом клеевого состава с отрицательной адгезией к материалу проволоки и сушку, извлечение проволок, установку пластины со сформи- рованными каналами на основание корпуса зондовой головки, установку зондов в полученные каналы, юстировку положения вершин зондов и крепление их на эондовой головке, отличающийся тем, что, с целью повышения производительности способа путем группового изготовления зондовых головок и повышения точности изготовления за счет воспроизводимости расстояний между вершинами зондов, натяжение проволок осуществляют вдоль направляющих стоек, установленных с определенным шагом на натяжном устройстве, стягивают их с одной стороны направляю-, щих стоек до взаимного соприкосновения, после чего осуществляют установку ряда пластин соответственно между стойками и местами соприкосновения проволок, а после проведения операций нанесения клеевого состава и сушки проволоки освобождают от крепления на натяжном устройстве и от стягивающих их элементов, а извлечение проволок осуществляют путем последовательного съема пластин, юстировку положения вершин зондов проводят шаблоном с лунками с последующей фиксацией их положения при помощи реэиноподобного клеевого состава, 1206711

55

Изобретение относится к производству контрольно-измерительной аппаратуры, в частности эондовых головок, и может быть использовано для изготовления зондовых головок с малым расстоянием между зондами, предназначенных для измерения удельного сопротивления в локальных областях полупроводниковых материалов.

Целью изобретения является повышение производительности способа путем группового изготовления. зондовых головок и повышение точности изготовления за счет воспроизводимости расстояний между вершинами зондов

На фиг.1 показано устройство для реализации .способа, вид сбоку, на фиг.2 — то же, вид сверху на фиг.3 — сечение А-А на фиг,2, на фиг.4 — узел I на фиг.3 на фиг.5— пластина с натянутыми проволоками до заливки клеевого состава, на фиг.6 — сечение Б-Б на фиг,5 (после заливки клеевого состава) на фиг.7один из возможных вариантов зондовых головок, реализуемых предлагаемым способом.

На основании .1 расположен столик 2 с возможностью вертикальных юстировочных перемещений, подпружиненный пружинами 3, содержащий винты 4 для фиксации его в заданном положении, направляющие стойки 5, установленные на оси симметрии столика 2 с определенным шагом. На основании 1 установлена каретка 6 с возможностью продольных перемещений посредством винтовой передачи 7, закрепленной на стойке 8, и неподвижная стойка 9 для крепления концов проволок 10, другой конец которых крепится к подвижной каретке

6 (крепление проволок может осуществляться любым способом — винта-! ми, как это условно изображено на, чертеже, или зачаливанием, защемлением и т.д.).

Пример изготовления одного из возможных вариантов зондовых головок.

Для изготовления зондовых головок на устройстве закрепляют четыре проволоки 10 на каретке 6 и стойке 9. .Проволоку располагают так, чтобы по обе стороны от направляющих стоек 5 находилось по две проволоки. Между

10 !

:30 .35

40 проволоками 10, расположенными одна над другой, параллельно столику вставляют направляющие стержни !1 и натягивают при помощи каретки 6. Затем последовательно проволоку стягивают, например, перевязывают жгутом

12 у крестообразно расположенных направляющих стоек 5 и стержней 11 и проволоки располагаются по вершинам квадрата, веерообразно расходящимся. пучком между соседними крестообразно расположенными направляющими 5 и 11. Под проволоки 10 подводят пластины 13 и с помощью столика 2 и винтов 4 выбирают такое положение, чтобы проволоки 10 касались поверхности пластин 13 без заметных усилий. Продольными перемещениями пластин 13 выбирают требуемое расстояние между зондами и н пазы пластин 13 заливают клеящий состав, несмачивающий проволоки, Нанесение клеящего состава производят несколько раэ после просушки, пока проволоки не скроются под кле евой массой. После просушки на пластины 13 наклеивают пластины-накладки

14, проволоку обрезают у стойки 9 и каретки 6, электролитически стравливают заусенцы и вынимают из нанесенного клеевого состава, в котором образуются каналы, равные диаметру проволоки и расположенные по вершинам квадрата.

Полученную заготовку с каналами для зондов наклеивают на основание

15 зондовой головки (фиг.7). Заранее изготовленные и заточенные зонды 16 попарно вставляют в каналы так, чтобы они выходили на 0,5-1 мм из каналов, и последовательно закрепляют пластиной-фиксатором 17 и пластиной-изолятором 18. Закрепляют хвостовик 19 и зондовая головка может быть использована по назначению.

Из-за отклонений от прямолинейности проволок, применяемых для изготовления зондов, расстояния между зондами могут отличаться на 5157. В связи с этим проводят дополнительную фиксацию зондов, которая выполняется следующим образом.

Зондовую головку закрепляют в механизме вертикальных перемещений, например, нагружающего механизма микротвердомера ПМТ-З, на острия зондов наносят резиноподобный сос3 1206711 тав, например "герметик",и с помощью оптического устройства микротвердо- мера зонды опускают на заранее подготовленный шаблон с лунками, расположенными на заданном расстоянии. Зон- довую головку выдерживают до полной рекристаллизации резиноподобного состава и на этом процесс ее изготовления заканчивается.

Предлагаемым способом можно изготовить зондовые головки с располо жением зондов по вершинам углов квадрата и с расстоянием между соседними вершинами от 50 до 500 мкм.

4" Я фиг. Я

1206711 б-б

Корректор А. Зимокосов

Редактор А Шандор Техред Л.Микещ

Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 8705/46 Тираж 730

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5