Преобразователь влажности газов

 

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля газовых сред. Преобразователь влажности содержит изолирующую подложку с размещенными на ней решеткой нижнего электрода, влагочувствительной пленкой из пористого диэлектрика и верхним электродом . Для повьппения стабильности работы нижний электрод вьтолнен в форме, повторяющей форму верхнего электрода, причем элементы решетки нижнего электрода расположены под соответствующими элементами решетки верхнего электрода и разделены диэлектриком с монолитной структурой. 2 ид. i (Я vl

COOS СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (И) (51) 4 G 01 N 27/22

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

® «

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

М ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

«Ф,«„. ! (21) 3734293/24-25 (22) 28.04.84 (46) 07.04.86. Бюл. М -13 (71) Ленинградский ордена Октябрьской Революции и ордена Трудового

Красного Знамени технологический институт им.Ленсовета (72) Д.M.Àëåêñååâ, В.В.Ветров, А.А.Зыков, В.П.Катушкин и П.И.Саморуков (53) 543.247(088.8) (56) Патент США )Ф 3987676, кл. G 01 N 27/22, 1978.

Авторское свидетельство СССР

)) 913212, кл. G 01 N 27/22, 1982, (54) ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для контроля газовых сред.

Преобразователь влажности содержит изолирующую подложку с размещенными на ней решеткой нижнего электрода, влагочувствительной пленкой из пористого диэлектрика и верхним электродом. Для повышения стабильности работы нижний электрод выполнен в форме, повторяющей форму верхнего электрода, причем элементы решетки нижнего электрода расположены под соответстзующими элементами решетки верхнего электрода и разделены диэлектриком с Е юнолитной структурой. 2 ил.

1223117

Формула из об ре те ния

Составитель С. Постнов

Редактор Н. Бобкова Техред В.Кадар Корректор М. Демчик

Заказ 1705/46 Тираж 778 Подпис но е

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к емкостным измерительным преобразователям состава газовой среды, и предназначено для отраслей производства, в которых необходимо вести контроль влажности газовых сред.

Цель изобретения — повышение стаl бильности работы преобразователя и уменьшение его инерционности.

На фиг. 1 представлен преобраэова. тель, общий вид; на фиг. 2 — то же, вид сверху.

На изолирующей подложке 1, например, из кварцевого стекла расположен нижний металлический электрод 2 в виде решетки. Электрод закрыт сверху плотным слоем диэлектрика 3, например, в виде окислов SiO, A1 0>, Si Б или В Виде чередующихся плотных слоев из этих материалов ° Внешняя поверхность этого диэлектрика покрыта металлическим слоем, образующим верхний электрод 4, форма которого в точности повторяет форму нижнего электрода, а элементы верхнего электрода находятся над аналогичными элементами нижнего электрода. Участки между соседними элементами одноименных электродов заполнены диэлектриком 5 с пористой структурой, например в виде полученных при соответствующем технологическом режиме пористых,окислов SiO, А1 0> или их соче- таний. Участки электрода, предназначенные для выводов 6, свободны от циэлектрика.

Преобразователь работает следующим образом.

При помещении преобразователя в контролируемую среду молекулы воды

5 проникают диффузионным путем в межэлектродную область с пористым диэлектриком и влияют на диэлектрическую проницаемость и удельную электропроводность этой области. Изменение

10 влажности контролируемой среды вызывает изменение емкости и проводимости между верхней и нижней решетками электродов. По изменению этих электрических параметров и судят о

15 влажности контролируемой среды. На участках диэлектрика с плотной структурой емкость и проводимость практически не изменяются и входят как постоянная составляющая в сигнал, 20

Преобразователь влажности газов, содержащий изолирующую подложку, на которой расположены решетка. нижнего электрода, влагочувствительная пленка из пористого диэлектрика и решетка верхнего электрода, о т л и ч аю шийся тем, что, с целью повы30 шения стабильности работы преобразователя и уменьшения инерционности, нижний электрод выполнен в форме, повторяющей форму верхнего электрода, причем элементы решетки нижнего электрода расположены под соответствующими элементами решетки верхнего электрода и разделены диэлектриком с монолитной структурой.