Моечная головка

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК ц„Я0„„1232304 A 1 (5д 4 В 08 В 3 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

+1

I ie

Н А BTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3770406/28-12 (22) 06.07.84 (46) 23.05.86. Бюл. № 19 (72) А. П. Дынник, А. А. Завалишин, П. П. Зубенко, И. П. Поярков и В. А. Мороз (53) 628.314.2 (088.8) (56) Патент США № 3990462, кл. В 08 В 3/02, 1976. (54) (57) 1. МОЕЧНАЯ ГОЛОВКА, содержащая корпус, в котором выполнены распределительный канал для рабочего агента и сообщающиеся с этим каналом сопловые каналы, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества мойки, она снабжена челночным клапаном, причем в головке выполнено сообщающееся с распределительным каналом отверстие, размещенное за сопловыми каналами по ходу движения рабочего агента, а челночный клапан установлен в распределительном канале и имеет средство упругого воздействия на один из его торцов для перекрытия отверстия в процессе мойки и открытия его при сливе рабочего агента из распределительного канала.

2. Головка по п. 1, отличающаяся тем, что средство упругого. воздействия имеет источник сжатого газа, а в моечной головке выполнен канал для подвода сжатого газа к челночному клапану.

1232304

Изобретение относится к очистке поверх ности изделий, а именно к мойке деталей из различных материалов и может быть применено в электронной, радиоэлектронной, медицинской и других отраслях промышленности.

Целью изобретения является повышение качества мойки.

На фиг. 1 изображена моечная головка, общий вид; на фиг. 2 — то же, разрез; на фиг. 3 — вид корпуса моечной головки; на фиг. 4 — разрез А — А на фиг. 3; на фиг. 5 — разрез Б — Б на фиг. 3; на фиг. 6— разрез  — В на фиг. 5; на фиг. 7 и 8— челночные клапаны, общий вид.

Моечная головка имеет корпус 1, в котором выполнены распределительные каналы для подачи кислоты 2 (или другого химического реагента), воды на промывку 3 и газа 4. В распределительных каналах 2 и 3 выполнены клапанные полости с размещенными в них челночными клапанами 5 и 6. Клапанные полости в распределительных каналах подачи химического реактива и воды протоками 7 соединены с каналом 8 подачи сжатого газа, а в корпусе 1 выполнены отверстия 9, выходящие наружу и сообщающиеся с распределительными каналами при переключении челночных клапанов.

Корпус 1 подсоединен к распределительной головке (не показана), которая связана с магистралями подачи химреактива, воды и газа. В корпусе 1 выполнена выемка 10, которая посредством сопловых отверстий 11 и 12 сообщается с распределительными каналами 2 и 3. С распределительным каналом 3 связана форсунка 13 через сопловый канал 12 для подачи воды в виде аэрозоли. Протоки 7 соединены с дополнительным каналом 14 подачи газа.

Корпус 1 моечной головки жестко закреплен на крышке 15 камеры 16, имеющей кожух 17. Поверхность камеры 16 футерована защитным покрытием 18, стойким к агрессивным средам. Внутри камеры 16 размещен держатель 19 изделий в виде центрифуги, выполненный из материала, стойкого к агрессивным средам, в котором имеются гнезда 20 для установки и фиксации изделий 21. На одной из стенок камеры выполнено отверстие 22, сообгцающееся с вентиляционной вытяжной системой 23. Держатель 19 изделий размещен на полом валу

24 с возможностью вращения, последний соединен с U-образным трубопроводом 25 для воды, в котором выполнены отверстия 26 для выхода воды наружу, в центр держателя, в боковые стороны камеры, на дно.

Слив осуществляют через сливной патрубок

27. Вытяжная система 23 и сливной патрубок 27 снабжены форсунками 28 для их промывки. Слив для кислоты и промывочной воды внизу держателя изделий непрерывно подвергается воздействию промывочной воды по прямой и по окружности на

l5

40 всей периферии стока с тем, чтобы ни одной мельчайшей капли кислоты не осталось в стоке.

Моечная головка работает следующим образом.

Обрабатываемые изделия 21, например кремниевые пластины в кассете, устанавливают в держателе 19 изделий. Крышку 15 камеры 16 закрывают и обработку ведут в закрытом объеме. Процесс обработки заключается в последовательной подаче различных химреактивов или их смесей из корпуса 1 на изделия.

При включении моечной головки через канал 8 подают азот под давлением 1-1,5 атм.

Через протоки 7 газ попадает в клапанную полость и закрывает клапаны 5 и 6, перекрывается сообщение распределительных каналов 2 и 3 с отверстиями 9. Азот, поданный под давлением, служит упругим элементом, удерживающим клапаны в закрытом положении.

Сначала по каналу 2 подают горячую деионизованную воду в камеру обработки, при этом происходит разогрев камеры 16, изделий 21 и трубопроводов. Для последующей подачи химреактива по этому каналу необходимо освободить его от воды, для чего через канал подают азот под давлением 3—

4 атм. При этом клапан в канале 2 под давлением подаваемого азота открывается и через него происходит быстрый сброс воды через отверстия 9. При снятии давления азота клапан снова закрывается. Через осушенный канал 2 подают химреактив под небольшим давлением (0,8 — -1,0 атм), который выходит через отверстия 11 вдоль всей длины корпуса 1 в выемку 10 и разбивается струями азота, выходящего из канала 4 через протоки 7, на мелкие капли. Получение заданной дисперсности частиц регулируется давлением азота в канале 4. В качестве реактива используют любые кислоты, щелочи или смеси кислот (щелочей). В зависимости от технологического процесса время обработки химреактивами может быть раз. личным. Выход рабочих агентов осуществляется через отверстия 11.

При промывке и продувке азотом канала

2 подачи химреактивов клапаны 5 и 6 в клапанной полости под давлением воды из канала 3 и азота открываются, при этом открываются и отверстия 9 и обеспечивают быструю и эффектную очистку канала за счет большого диаметра отверстия 9. Основной сброс жидкости происходит через отверстия 9, что обеспечивает устранение образования застойных зон в канале 2. При прекращении подачи воды или азота клапан 5 под действием газа из канала 8 возвращается на место и перекрывает сообщение канала 2 и отверстия 9.

Для очистки внутренней поверхности камеры 16 и держателя 19 изделий подают

1232304

21 15

Фиг.3 деионизованную воду в отверстия 26, расположенные на трубопроводе 25, по полому валу 24. Вентиляционная система 23 и сливной патрубок 27 промываются в этом случае жидкостью, подаваемой из форсунок 28.

После этого можно подавать другой химреактив. При последующей подаче рабочих агентов в канал 2 выход их осуществляется только через отверстия 11.

Аналогично действует клапан на распределительном канале подачи воды с той лишь разницей, что сначала подают воду, а затем азот. Наличие клапана позволяет исключить образование застойной зоны в канале подачи воды, ускорить процесс сушки изделия.

После обработки изделий крышку 15 камеры 16 открывают и вынимают их. Цикл повторяется.

Изобретение позволяет обеспечить высокое качество обработки и высокую производительность благодаря исключению образования застойных зон в каналах подачи химреактивов и воды. 3а счет быстрого и эффективного сброса воды через дополнительные, а не основные отверстия также исключается образование застойных зон и сокращается время на промывку каналов. Наличие клапанных полостей с клапанами в каналах подачи воды и химреактивов позволяет значительно сократить время на промывку каналов от остатков капелек кислоты или другого реактива.

1232304

Б-б

У 5

ФиГ. б

Фиг. 7

Редактор Н. Марголнна

Заказ 2493/8

Составитель Г. Кудров

Техред И. Верес Корректор А. Ференц

Тираж 571 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! l 3035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4