Устройство для подачи смазочно-охлаждающей жидкости

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

150 4 В 24 В 55/02

ГосуДАРСТВЕННЫй HOfAHTET CCCP

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ "П,":

К АВТОРСКОМУ(СВИДЕТЕЛЬСТВУ юу

22. 9 (21) 3645143/25-08 (22) 22.09,83 (46) 15.06.86. Вюл, № 22 (72) О.И.Чигринский, Е.M.Måøàëêèí и Ю.Н .Зимицкий (53) 621.922.029 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 878544, кл. В 24 В 55/02, 1978. (54)(57) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОДАЧИ СМАЗОЧНО-ОХЛАЖДАЮЩЕЙ ЖИДКОСТИ (СОЖ), содержащее корпус с внутренней полостью для размещения оправки с отрезным кругом, сообщающейся с кана„„SU„„1237401 А1 лами подвода и отвода СОЖ окном для выхода круга в зону резания, и отсекателями, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повьппения качества обработки, на внутренней поверхности корпуса выполнен конический выступ, предназначенный для разделения потоков СОЖ, а в зоне расположения окна .для выхода круга площадки, образую щие совместно с внутренними торцовыми поверхностями корпуса карманы для СОЖ, при этом отсекатели потоков

СОЖ расположены в зоне канала для отвода последней.

1237401 2

Изобретение относится к шлифованию, а именно к устройствам охлаждения шлифуемых поверхностей, и может быть использовано при разделении полупроводниковых пластин на кристаллы.

Цель изобретения — повышение качества обработки путем предотвращения попадания загрязненной СОЖ в зону обработки.

На фиг.l представлено устройство, продольный разрез; на фиг.2 — устройство в плоскости круга без оправки, разрез; на фиг.3 — вид А на фиг.l; на фиг,4 - сечение устройства

Б-Б на фиг,2 (условно повернуто); на фиг.5 — разрез В-В на фиг.2.

Устройство содержит корпус 1 с внутренней полостью 2 и размещенными в ней оправкой 3 с кругом 4. В корпусе 1 выполнены каналы 5 для подвода СОЖ к отверстиям 6, сообщающим каналы 5 с внутренней полостью 2 и перпендикулярным плоскости круга

4, отверстие 7 для обмыва поверхности детали (пластин) 8 (обрабатываемой детали), расположенное в плоскости круга 4 и выходящее во впадину

9 на торцовой плоскости корпуса 1 эквидистантно окну 10 выхода круга

4, Отверстие 7 выполнено по направлению вращения круга 4. Каналы S также сообщены с отверстием 11 для обмыва поверхности детали 8, распо— ложенным в плоскости круга 4 касательно его окружности и направленным против направления его вращения. Отверстие ll выходит во впадину 9.

Канал 12 для отвода отработанной СОЖ (например, прямоугольного сечения) выполнено в виде патрубка 13, установленного на корпусе 1 B направлении вращения и параллельно обрабатываемой поверхности. Нижняя внутренняя поверхность патрубка 13 поднята в зоне круга и опущена у периферии.

Во внутренней полости 2 над каналом

12 для выхода отработанной СОЖ выполнены отсекатели в виде секторных выступов 14 с наклонными поверхностями 15 и постоянным зазором 16 относительно поверхностей оправки 3.

Поверхности 15 выступов 14 в зоне круга 4 заканчиваются рифлеными поверхностями 17 кольцевых секторов.

Зазор между рифлеными поверхностями

)7 выступов 1.4 и плоскостями круга не превышает толщины круга. На

10 !

55 внутренней криволинейной, например цилиндрической, поверхности полости

2. в плоскости круга 4 между выступами 14 и горизонтальной плоскости симметрии корпуса 1 выполнен конический выступ 18, предназначенный для разделения потоков СОЖ полостями !9. Конический выступ 18 выполнен в виде части кольца треугольного сечения, установленного основанием на цилиндрической поверхности полости

2 с вершиной в плоскости круга. Конический выступ 18 может быть выполнен за одно целое с корпусом 1. Во внутренней полости 2 выполнены площадки

20, образующие совместно с внутренними торцовыми поверхностями корпуса карманы для СОЖ. Площадки 20 могут быть выполнены наклонными и расположены вдоль удлиненных сторон окна

l0 выхода инструмента перед каналом

12 отвода отработанной СОЖ. Плоскости площадок 20 плавно сопряжены с криволинейными (цилиндрическими) по верхностями каналов 19.

Концы (торцы) площадок 20 подняты над уровнем нижней внутренней поверхности патрубка 13, а под ними выполнена наклонная камера 21, сообщающая канал 12 отвода отработанной СОЖ с отверстиями 7 и 11 дополнительной подачи СОЖ через впадину 9. По бокам .площадок 20 со стороны оправки выполнены выступы 22, являющиеся продолжением выступа 18.

Отверстия 6 для подачи СОЖ на боковые поверхности оправки 2 приближены к центру ее вращения, так как в этой части энергия струи жидкости достаточна для преодоления воздушного сопротивления между поверхностями оправки и стенками каналов 19. В корпусе 1 соосно оправке выполнено отверстие 23 для подвода во внутреннюю полость 2 через зазоры 24 центральной полости корпуса атмосферного воздуха, 1

Устройство работает следуюшим образом.

После подготовки устройства к работе одновременно с включением приводов вращения круга и подачи изделия во внутреннюю полость 2 корпуса

1 подают СОЖ, Из канала S через отверстия 6 СОЖ попадает на поверхности оправки 3, преодолевая сопротивление воздушного потока, засасываемого через отверстие 23 и зазоры

1237401

24 в полость посредством вакуума, образуемого вращением оправки и круга в замкнутой полости. СОЖ смачивает оправку за счет сил молекулярного сцепления, растекается, подхватывается, а посредством центробежных сил перемещается по ней к периферии круга 3, очищая поверхности оправки и круга от продуктов резания. С поверхностей оправки и круга, вращающихся с линейной скоростью

120-200 м/с, потоки СОЖ стекают на поверхности разделителя и в каналы

19, перемешиваются с воздухом и перемещаются в зону резания. С периферийных поверхностей оправки СОЖ также частично срывается в виде мельчайших капель, обладающих линейной скоростью, соответствую 1ей скорости круга. Поток СОЖ максимально успевает сорваться с поверхностей оправки и круга в зоне окна выхода круга на рабочую поверхность корпуса. Эти потоки попадают на площадки 20 и но ним направляются в окно 12 выхода отработанной СОЖ. С концов площадок

20 жидкость срывается и подхватывает струи из наклонной камеры, поступившие через отверстия 7,11, окно 10 и впадину 9 н потерявших свою первоначальную скорость после омывания пластины 8. Это достигается за счет того, что струи, срывающиеся с площапок 20, имеют значительно большую скорость, чем струи, поступавшие в наклонную камеру, тем самым создается эжекционный эффект.

Струи дополнительно подаваемой

СОЖ через отверстия 7 и ll также отражают выход СОЖ через зазоры между кругом 4 и стенками окна 10 выхода инструмента. От повторного проникновения СОЖ в зону подачи предотвращают отсекатели в виде секторных выступов 14 н рифленые поверхности

17.Нижние поверхности выступов 14,кроме того, обеспечивают направление потоков СОЖ в канал 12 отвода СОЖ,В зону по10 дачи СОЖ повторно попадают лишь потоки, смешанные с воздухом и попавшие к зазорам между выступами и поверхностями оправки и круга. Жидкость, попавшая в зазоры между плоскостями

15 круга 4 и рифпеными поверхностями 17, превращается в турбулентный поток, более интенсивно омывающий периферию круга. Та часть жидкости, которая проникла через зазоры оправки 3 и

20 выступов 14, теряет свою энергию и попадает в каналы 19, в которых, переходя со стенок на поверхности оправки, закручивается, попадает на площадки 20 и прижа25 тая к ним вновь поступившими

% потоками СОМ выбрасывается в отстойник.

Предлагаемое устройство позволяет значительно снизить загрязненность годных кристаллов на пластине путем сокращения проникновения в зону резания загрязненной СОЖ. Это в свою очередь исключает использование щеток при очистке пластин, что уменьшает царапины на кристаллах, а поэтому повышается качество обработки. Кроме тоrо, сокращается время на операции промывки, так как вместо щеток используют струйную мойку.

1237401

Bui1 А фиа 5

Составитель P.Êóðìàåâà

Редактор В.Ковтун Техред O.Гортвай Корректор С.Черни

Заказ 3235!16 Тираж 740 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4