Криогенный насос
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1250707 А1 (gI)4 F04 В 37 08
C ь
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
М
Сл
CO 3 3
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3866618j25-06 (22) 15.03.85 (46) 15.08.86. Бюл..х(Ъ 30 (72) М. П. Ларин (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1017817, кл. Г 04 В 37/08, 1981. (54) (57) I. КРИОГЕННЫЙ НАСОС, содержащий вертикальный корпус с входным патрубком в нижней части, откачивающий элемент и плоский шевронный экран, размещенные в корпусе внутри радиационного экрана, связанного с заливным экраном, снабженным трубками-подвесами, отличающийся тем, что, с целью повышения быстродействия при использовании насоса в напылительных установках, он дополнительно содержит кольцевой сосуд для xëàäàãåíòà, охватывающий шевронный экран и сообщенный с заливным экраном при помощи трубок, цилиндрический шевронный экран, размещенный коаксиально внутри радиационного экрана и соединенный с тепловым контактом в верхней части с кольцевым сосудом и плоским шевронным экраном, а в нижней части — с радиационным экраном и криопанель, выполненную в виде обечайки, размещенной коаксиально между радиационным и цилиндрическим шевронным экранами и закрепленной с тепловым контактом на откачивающем элементе, причем радиационный экран снабжен кольцевым фланцем, закрепленным на его нижнем торце при помощи теплового моста, а заливной экран — сквозным цилиндрическим осевым каналом и размещенным в последнем дополнительным шевронным экраном.!
250707
2. I Рас()(. »o». 1, оТ.ø 8. 11((«o<. »o». 1, От(и«иющ(<и<» T(м, <то, с t((ëüK>»овышения удо6сTB II<»1BK) изобретения являетсH»овышение 6ыстро действия»ри использовании насоса в на»ылительных»стано(3ках, а также повышение удобства акснлуатации путем об«сие н н ия Ви 3 у аль »ОГО Ko»l po, I я 3<(ра6отой эти х »< ÒÇ НОВОК И ВО МОЛ< У ИЗДЕЛИЮ. 1Id фиг. 1 прсдставл H на(ос, установленный н» плите напылительной установки, Ilpoдольный рàзрез; íd фиг. 2 узел 1 íd фиг. 1; на фиг. > узлы 11 и 111 HH фиг. 1. 1 > I»p(tOlг«ННЫй Н;И<>С СОдсржнт (3(ртИКаЛЬный кори»зс с входным»атрубком 2 в ниж(н и ч;(с(и, откачив;(к)щий элем«нт 3 и плоский t»«( ХЛ >f! It»1 tI«(((f» к) в Ви,и О6(чаики 1, р<(зчс ни н (!Ои КО<(КС((<3. IЬ(IО Ч«)К Д»(РВДИВ(1ИОII»l>IМ И ((И. I И(IДр!<чески»(»!«вр(»!ным экр;!((Ими 5 и 10 и закреп.ниной с T«ttë<>(3û»f контактом на откачиВак>(ц(ч I(. Ìåíd« 3, »ричс м радиационный кран 5 cí»6æE н кольцсвыл<и фланцел< 12, d$ (акр«нл< иным н(! «го нижнем торце»ри Iloч<ици т(»ëîâîãî моста 13, d:зал ивнои экран 6 скво <ныч t(ttëèí Ер» í ским <)с«выч кана.н)м 14 и разчещенныvl 13»<)<»нд(н м ,((»полн!Гг«.(t>f»>l»t нн Вр<>»ныл(экраном 15) роля <а работой нанылительных установок и во<чожности до T» ïà к наныляечому изд<,лик>, корпус снабж«н 6оковыч»атру6ком, и в радиационн<>м и цилиндрическом »(свронном кран l» и o6« »»<>чянутые экраны снабж(>ны рас»оложенными (3 отверстиях 1(агрубкачи и уст;(но(3лен(»>1%1 В НИХ < ВО <моrh tt(>« 1 ÜÕ) О((В»ГО II(. P( ч«(ц(ния коль(l(. вым э.(E»и н (ом, K()» гi(Kтирук>(цич с внутренними»oB(p»t<()(тячи натру6ков. (11 hа ч и Вак) »(и Й э. I<>м(нт,> с » а6 же» E KB».3 (Iûчи каналами 16, р<и положенными соосно тру6кам-нодвесам 7, а тру6ки !), oo6(IE;(K)»1!и кольцевой с(>суд 8 с за.(ивным экраном 6, р<и положены в h;3(l;3.1;1» !6 с 3;i <ором отн<>сительно их сзх ок. Кори»< сна6жен 6<>ковым натрубком !7, и в ра(иационноч и цилиндрическом (чсвронном зкрана» 5 и 1(I и »6счайке !1 соосно 6оковому натру6к» 17 вынолне»BI о(верстия, при и ч зкраны 5 и !О c(Iа6ж(>нt>l pасIl(>л()ж<. н(1ы >(tи в () I В(p 1 ия х 11 1<озл<ожностьк> осевого (н p(м »I(. ниH кос)ы(«вым элел<«(ггол< 20, конт(>к"ир» к)ц(ич с вн»тренними новер»ностячи иапгрлáh(>B 18 и !9. В IldTp)6K«17 установл »o, (3(!»ри»1«р, сT<.hIo 21, <>6сспечивак>ни < Ви 3»(lëьный к<н<тpO, ll> 3;3 р;36О Ои» Cз <3 (l()(3KH. 1 I H. I tt » T(»! (IE < h»H и "яр»нный яра н 1() "" (и»"! " B(. рх(" ( част И с ко, (((И вы ч со(».(ол! 8 Н»,1»С КИ »1 ш«вронным )hp<3»(>ч 4»ри (>очо»(и кр(»(жны» эл«л<ен го(3 22 и 2:1,;3 B ни к!«й l » р;(ди;!((ионны»1 -)кр;!ноч 5»ри н<>»1«щи кр«(н жны» эл«чс(г(<>в 24 и 25. I»<)p»»с !»с(ановлен на и (и I » 26> н((ныли (гльной»становки, снабж«ннук) к.(а(шноч 27»р(((3;)рит«.(ьш>го в<(куу »!ирои;! н и >1 H c I o. (»»t "8, ho»(<)hi ltрук>щим с ко,(ьll<. (3(»E< ф.l<(нц«ч 12 It tt»l(K)»(им на(ск IIД«о(ра6<>г(>ст сл«дукнцим образом 11ос;и установки кор»у са II;Ec(>E а»il ».1иту 26 и г«рч TH 3<31(ии в»о,(н<н о»атр»6h;i 2» poHBBo,(я1» рс д(3<3 рит«. 1ь»О< (3 К»» »1 и рование ш>лости корпуса через к,1<1» 3» IHB Г«» НОЛ<)ГИ Н (h»(<»I< Pi(»ÈÈ ((>»P< >(3<>)h,(it IO I E u! 25((7(17 -Ш (:<>ст,>ии>и.ll. (i h :)i, > ии Г<",р«11 h (ipi л>»; Л(1((.l;»ill Тири л ив< (((.Ни и»i В(!(11((111 Г<>с)и(ар< та< ll < I l; i <» Ii l > (i < ии,i(oàì ив<и>р< Tl иии и» лим <ни 1 (31>ÇO>, Лт<>(ква, Ж вЂ” )В>. 1 ill llli л,iil l!,ili ..> 1 . Фи.l>i;lл (1((() < ((атсит», l У,л»(÷: I, i.i i(;iiii л l" ".и (l; i > >i i, I (I i li > ; i » 1,> л. < 1 !>< 60 (t>III и Л1 и Г(3.3<) (3ьl.(с . 1(И И Я M tt BO (OJlO,((3, TO в нвс<)с но;(() к>т I(. рез нвтс ките, It) 2с) гilз006р((зный (3 30T или ttJ)toft, Koto(>l)lit, кон>(с нси0ЪЯС E) И (3 II<) l3<. J) (»ОСТЯХ 0Th;3:)л(т слой криоСО J) 6(11 Гil В IIJ)OI((сс(IIJ>013(, ((!3k(51 гс .(30.(l>l и иских Он(!)В((и Й li t) (и 3;((, IH(. л1 0(i 3((((1 13, (H K) ()H )л (3.1(н((Й конт!и>г(ь l l II !>oll(с3сол(I(J)(. 3 стс кlo 2! It;IT(>>,6h;! 7 J;3 (ол1 Як(н;3 грубке MOiKCT 6(>IT(> >i (T(l IIO(3. I(. (»l !)(«, Ill ill!«5I 1(к нолоГИЧЕС KH Я ОС kl f)(TK I), 1Л Я, (О(ТЛ I »l K И 3, (Сс. И КЭ, Н(3 !! (ти Л1(J> M (3 НИ»>> . 511 0(>. ((1. И (И(НО, (В И Ж ttOI 0 кольцево(о зл(л)((IT() 2((II»çâoëяе г легко, в слл tll(нсо6лог(ил(о(ти, !)н 306(т()т(, н(3(Ос или с kt51T(> отин ив -)к(>()н<>(3 6 или (((.! JJ)(., (л;3гн(Л)(((111;Il 0((103130.!Я(! tt(II(i. », и > I3;l l l, ко(т»Ус н;)с<>с;3 ll к;)ис с ((3(К<>, »(;3(.;I It;IIII,t,tèT(ët ной Л(I 3(lîHKИ. >II» 06((II(«и(3;« I J);I 3 M(lIi(НИ(ll;I l»>(Л 51(Л101 О И.(,((, »1 и Ill ll 0( (! В(lilt(> В 061>("1(lilt(<)<. Il н (Л((1 ЛI И! (I lli > вы »1;(с т 61(с 1!><).(с й< (вис . ! (;lëи lH(геи.(оьи>(о M»(I JË л) rK (л р;, (lf;I ItH0ll ll l)(Л1 ah J3lI (!0M;) И h(>, l l 1((»f l Л1 it). ! Н II(Л! — l НИ,+« 3(I l l Il, 1<>ll()ll l 10 л) ы к;l (T, 06((ï ñ (и ив я л) и н и л) л л) I; I 3< > l3 < > I < > т<>к;3 и 3 (и>лости л)(iкг(л K<>J>èi l ол! u ли;31(ионн ((л1 к!>()Вол(5, ho гогн>я (3 (ко л MH (> Л (т с Я 0T K I3 и и и (3 IO I I (!1 Л1 y. (с Л1 (! f l () Л1 $ I (J > l l, i (> 1105((1 И (С! ti((Ь! И 111(. В(>ОН Iilil (f 9 К(> (3 (! ) И (>С(l(» II h;»Ii3л (4 (или()но! о )к(>;»3;3 1) 
