Устройство для перемещения оптического элемента интерферометра

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (5И 4 G О! В 9 02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ: "

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ние точности путем увеличения длины свободной части кольцевых мембран. Устройство содержит соосно расположенные кольцевой корпус, ведущий цилиндр 7, ведомый цилиндр

4 с оптическим элементом 10, подвеску ведущего 7 и ведомого 4 цилиндров, выполненную в виде кольцевых мембран 8, 9, 5 и 6, механизм принудительного перемещения ведущего цилиндра 7. Мембраны 8, 9, 5 и 6 ведущего 7 и ведомого 4 цилиндров выполнены раздельными и размещены в параллельных плоскостях. Размещение мембран 5 и 6 подвески ведомого цилиндра 4 на максимальном удалении повышает точность устройства. При этом мембраны 8 и 9 веду щего цилиндра 7 размещены между мембранами 5 и 6 ведомого цилиндра 4. 1 з и. ф-лы, 1 ил.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3721072/25-28 (22) 30.03.84 (46) 07.10.86. Бюл. № 37 (72) О. Н. Гусев и И. Н. Степаненков (53) 536.811 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 641273, кл. G 01 В 9/02, 1975.

Авторское свидетельство СССР № 911175, кл. G 01 В 9/02, 1979. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕШЕНИЯ

ОПТИЧЕСКОГО ЭЛЕМЕНТА И НТЕРФЕРОМЕТРА (57) Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптико-механическим измерительным устройствам. Целью изобретения является расширение диапазона перемещений оптических элементов и повышеSU» 1262276 А1

1262276

Формула изобретения

Составитель В. Романов

Редактор П. Коссей Техред И. Верес Корректор О. Луговая

Заказ 5410/36 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патенз», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптико-механическим измерительным устройствам.

Целью изобретения является расширение диапазона перемещений оптических элементов и повышение точности этих перемещений за счет увеличения длины свободной части кольцевых мембран.

На чертеже схематически изображено предложенное устройство, разрез.

Устройство для перемещения оптического 10 элемента содержит основание 1, скрепленный с основанием кольцевой корпус, состоящий из двух частей 2 и 3, ведомый цилиндр 4, сопряженный с корпусом подвеской, выполненной в виде кольцевых мембран 5 и 6, ведущий цилиндр 7, сопряженный с ведомым цилиндром 4 подвеской, выполненной в виде кольцевых мембран 8 и 9. На ведомом цилиндрее закреплен оптический элемент 10. Ведущий цилиндр взаимодействует с механизмом принудительного перемещения, выполненным в виде приводного электродвигателя

11, редуктора 12, профильного кулачка !3, двуплечего рычага 14, одно из плеч которого взаимодействует с профильным кулачком, а второе выполнено вилкообразным и взаимодействует с ведущим цилиндром через ролики 75

15 и 16. Обе части корпуса, ведущий и ведомый цилиндры размещены соосно.

Устройство работает следующим образом.

С помощью редуктора 12 и профильного кулачка 13 настраивают необходимые часто- 30 ту и амплитуду перемещений оптического элемента. После включения электродвигателя 11 перемещения от кулачка 13 через рычаг 14 и ролики 15 и 16 передаются на ведущий цилиндр 7.

Перемещения ведущего цилиндра 7 пере- 35 даются ведомому цилиндру 4 через кольцевые мембраны 8 и 9, которые совместно с мембранами 5 и 6 образуют упругий делитель перемещений. Перемещение ведомого цилиндра составляет 1+ доли перемещения

К1 ведущего цилиндра, где К1 — жесткость подвески ведущего цилиндра; К2 — жесткость подвески ведомого.

В предлагаемом устройстве длина свободной части мембран 8 и 9 значительно превышает длину свободной части мембран 5 и 6, что позволяет сделать подвеску ведомого цилиндра в несколько раз более жесткой,чем подвеску ведущего К2 > К1, и обеспечить достаточное передаточное отношение упругого делителя.

При перемещении оптического элемента интерферометра необходимо обеспечить его строго поступательное движение, а требования к перемещению ведущего цилиндра намного менее жестки. Поэтому кольцевые мембраны 5 и 6 подвески ведомого цилиндра разнесены на максимально возможное расстояние, а кольцевые мембраны 8 и 9 подвески ведущего цилиндра размещены между ними.

1. Устройство для перемещения оптического элемента интерферометра, содержащее соосные корпус, ведущий и ведомый цилиндры, оправу оптического элемента, закрепленную на ведомом цилиндре, механизм принудительного перемещения ведущего цилиндра, а также подвеску ведущего и ведомого цилиндров, выполненную в виде кольцевых мембран, отличающееся тем, что, с целью расширения диапазона перемещений, мембраны ведущего и ведомого цилиндров выполнены раздельными и размещены в параллельных плоскостях.

2. Устройство по и. 1, отличающееся тем, что, с целью повышения точности, мембраны ведущего цилиндра размещены между мембранами ведомого.