Молекулярный вакуумный насос

 

МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками и расположенные в нем статорные и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью повышения эксплуатационных характеристик, статорные диски зафиксированы относительно один другого при помощи проставочных колец, образующих с корпусом зазор, последний по ходу откачки газа статорный диск снабжен прижимным фланцем, закрепленным на корпусе, а в зазоре размещены сильфонные уплотнения. (Л ..ХУчУ Ы кэ О5 СП 4 ,

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 F 04 Р 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Д 1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3887347/31-06 (22) 16.04.85 (46) 23.10.86. Бюл. № 39 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при

Горьковском государственном университете им. Н. И. Лобачевского (72) В. П. Иванов, и В. Н. Христачев (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 898802, кл. F 04 D 19/04, 1968.

„„SU„„1265400 А1 (54) (57) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС, содержащий корпус с всасывающим и нагнетательным патрубками и расположенные в нем статорные и роторные диски, отличающийся тем, что, с целью повыщения эксплуатационных характеристик, статорные диски зафиксированы относительно один другого при помощи проставочных колец, образующих с корпусом зазор, последний по ходу откачки газа статорный диск снабжен прижимным фланцем, закрепленным на корпусе, а в зазоре размещены сильфонные уплотнения.

hD

ОЪ

С

4 °

CO

С0

1265400

Составите..ш E. Забугин

Редактор В. Петраlll 1ехред И. Верее Корректор Л. Зимокосов

>аказ 5642 28 тираж 586 Подписное

В11ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и оз крытий

113035, Москва, )К вЂ” 35, Рву шская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4!

Изобретение относится к вакуумной технике.

11ель изобретения — повышение эксплуатационных характеристик.

На чертеже изображен молекулярный вакуумный насос, продольный разрез.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с всасывающим 2 и нагнетательным 3 патрубками и расположенные в нем статорные 4 и роторные 5 диски. При этом статорные диски 4 зафиксированы один относительно другого с помощью проставочнь1х колец 6, образующих с корпусом 1 зазор, последний по ходу откачки статорный диск снабжен прижимным фланцем 7, закрепленным на корпусе 1, а в зазоре размещены сильфонные уплотнения 8. На статорных»11гсках выполнены спиральные пазы 9.

Молекулярный вакуумный насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ через всасывающий патрубок 2 поступает на вход первой ступени. Вдоль спиральных пазов газ перемещается вследствие взаимодействия с поверхностью роторного диска 5 к периферии статорного диска 4, откуда через радиальный зазор между роторным диском 5 и проставочным кольцом 6 подается на вход второй ступени и так далее к нагнетательному патрубку 3

Благодаря сильфонному уплотнению перетечки газа из последующих ступеней в предыдущую полностью устраняются, в результате повышается степень сжатия каждой ступени, что приводит к уменьшению предельного остаточного давления.