Вакуумный молекулярный насос

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

„.Я0„„1240957 511 4 F 04 D 19/04 I

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3739082/25-06 (22) 04.05.84 (46) 30.06.86. Бюл. № 24 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при

Горьковском государственном университете им. Н. И. Лобачевского (72) В. П. Иванов и В. Н. Христачев (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 44629, кл. F 04 D 19/04, 1934. (54) (57) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС, содержащий корпус, размещенные в нем роторные и статорные диски, последние имеют на боковых поверхностях спиральные канавки, отличающийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, роторные диски снабжены по периферии лопатками, расположенными под углом к их плоскости.

1240957

Составитель В. Кряковкин

Редактор Н. Слободяник Техред И. Верес Корректор М. Самборская

Заказ 3470/30 Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса.

На фиг. 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг. 2 — роторный диск с частью периферийных лопаток, общий вид.

Вакуумный молекулярный насос содержит корпус 1, размещенные в нем роторные и статорные диски 2 и. 3, последние имеют на боковых поверхностях спиральные канавки 4, причем роторные диски 2 снабжены по периферии лопатками 5, расположенными под углом к их плоскости. Зазор между статорными дисками 3 образован при помощи проставочных колец 6 между ними, которые могут быть выполнены в виде обода на периферии статорных дисков.

Насос работает следующим образом.

Роторные диски 2 приводятся во вращение, и откачиваемый газ по спиральным канавкам 4 статорных дисков 3 перемещается сначала от центра к периферии, а затем от периферии к центру. Далее процесс повторяется на каждой ступени откачки, и газ перемещается со стороны всасывания на сторону нагнетания. Наличие лопаток 5 на периферии роторных дисков обеспечивает работу молекулярного насоса в этой зоне по принципу турбомолекулярного насоса. При этом обратные перетечки откачиваемого газа через зазор между роторными дисками 2 и проставочными кольцами 6 в значительной мере снижаются, что приводит к улучшению откачных характеристик насоса.