Способ изготовления периодических структур

 

Изобретение относится к оптическому приборостроению. Цель изобретения - повышение точности изготовления путем уменьшения накопленной погрешности изготавливаемой структуры. Выбирают эталонную структуру 4, идентичную стру ктуре 3, располагают первый штрих структуры 4 напротив последнего штриха структуры 3 и последний штрих структуры 4 напротив первого штриха структуры 3 Участок структуры 3 освещают перпендикулярным к ней пучком когерентного света от лазера 1. Одновременно в направлении первого освещающего пучка освещают структуру 4 пучком света, который когерентен с первым, выделяют по одному дифрагированному пучку с одинаковым порядком, но разными знаками дифракции от каждого освещающего пучка. Оптическими .элементами 11, 12 разворачивают волновые фронты вьщеленных пучков на 180° относительно их осей и совмещают пучки на поверхности заготовки 5, Перемещают вторую структуру одновременно с первой структурой и заготовкой, V в результате чего на заготовке в .направлении перемещения формируется периодическая структура с постоянным по всей ее длине периодом. 1 ил. (Л N9 00 00

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 G 02 В 27/42

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

00 3

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И. ОТКРЫТИЙ (21),3972969!24-10 (22) 04.11.85 (46) 23.12.86. Бюл. Р 47 (71) Институт электроники АН БССР (72) В.А.Пилипович, А.В.Романов и В.Ф.Ярмолицкий (53) 535.853.31(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 1089541, кл. G 02 В 27/42, 17.03.83.

Авторское свидетельство СССР

9 1216756, кл. G 02 В 27/42, 04.07.84. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИХ СТРУКТУР (57) Изобретение относится к оптическому приборостроению. Цель изобретения — повьппение точности изготовления путем уменьшения накопленной погрешности изготавливаемой структуры.

Выбирают эталонную структуру 4, идентичную структуре 3, располагают первый штрих структуры 4 напротив последнего

„„SU„„1278778 А I штриха структуры 3 и последний штрих структуры 4 напротив первого штриха структуры 3. Участок структуры 3 освещают перпендикулярным к ней пучком когерентного света от лазера 1. Одновременно в направлении первого освещающего пучка освещают структуру 4 пучком света, который когерентен с первым, выделяют по одному дифрагированному пучку с одинаковым порядком, но разными знаками дифракции от каждого освещающего пучка. Оптическими элементами 11, 12 разворачивают волновые фронты выделенных пучков на о

180 относительно их осей и совмещают пучки на поверхности заготовки 5. Перемещают вторую структуру одновременно с первой структурой и заготовкой, в результате чего на заготовке в .направлении перемещения формируется периодическая структура с постоянным по всей ее длине периодом. 1 ил.

1278778

Формула из обретения

Составитель В.Кравченко

Техред Л.Сердюкова Корректор И.Эрдейи

Редактор О.Юрковецкая

Заказ 6833/44

Тираж 501 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4 вают параллельным направлению их дифракции. Все порядки, кроме выделенных, перекрывают экраном, установленным перед заготовкой. В результате проведенных операций на поверхности заготовки образуется периодическая картина °

При перемещении каретки с эталонными структурами и образцом, например, с помощью линейного электродви- 10 гателя интерференционные полосы перемещаются в направлении перемещения заготовки и остаются неподвижными относительно ее поверхности. В результате по длине заготовки формиру- 15 ется периодическая структура, не имеющая накопленной погрешности, так как период ее постоянен по всей длине.

Точность изготовления по сравнению с известным способом повышается в 20

2-3 раза. с

Способ изготовления периодических структур, заключающийся в освещении эталонной структуры перпендикулярным к ней пучком когерентного света, выделении из дифрагировавших пучков пары, имеющей одинаковый порядок дифракции, но разные знаки, направлении выделенных пучков на заготовку парал- лельно направлению их дифракции, развороте волновых фронтов пучков на о

180 относительно их осей, совмещении указанных пучков на поверхности заготовки с формированием периодичес- . кой картины, одновременном перемещении эталонной структуры и заготовки в направлении, перпендикулярном штрихам эталонной структуры, проведении фотохимической обработки заготовки, отличающийся тем, что, с целью повышения точности изготовления путем :уменьшения накопленнойпогрешности, за первой эталонной структурой размещают вторую, идентичную первой, первый штрих второй структуры располагают напротив последнего штриха первой, а последний штрих второй структуры — напротив первого штриха первой, одновременно в направлении первого освещающего пучка освещают вторую структуру пучком, который когерентен с первым, выделяют по одному дифрагированному пучку от каждого освещающего пучка и перемещают вторую структуру одновременно с первой структурой и заготовкой.