Вакуумная установка

 

Изобретение относится к области контроля герметичности изделий массспектрометрический методом и обеспечивает оценку чувствительности до испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, путем моделирования схемы испытаний. Вакуумная установка содержит основную и дополнительную вакуумные камеры 1 и 3 с датчиками 2 и 4 вакуума. На камере 3 установлены натекатель 5 и контрольная течь 6 с вентилем 7. Объем камеры 3 соединен с течеискателем 8 и через дросселирующий вентиль 9 с объемом камеры 1, которая, в свою очередь, сообщена с высоковакуумным насосом tO и форвакуумным насосом 11, снабженными течеискателем 12. Камеры 1 и 3 вакуумирушт. Включают масс-спектрометрические течеискатели 8 и 12. Подают пробный газ из контрольной течи 6 в камеру 3. Измеряют поток пробного газа течеискателями 8 и 12 в камерах 1 и 3. По результатам измерений согласно методик определяют чувствительность системы испытаний. 1 ил. (/)

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СО@4АЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

А1 (19) (11) (д) 4 С 01 М 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

) ..1

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3939192/25-28 (22) 02.08.85 (46) 07.01.87. Бюл. )) 1 (72) А.В.Багрянцев, Б.А.Гневковский, П,В.Знаменский и Б.В.Иванов

:(53) 620.165.29(088.8) (56) Контроль герметичности иэделий масс-спектрометрическим методом.

ОСТ 92-1527-79, с. 65.

{54) ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА (57) Изобретение относится к области контроля герметичности изделий массспектрометрическим методом и обеспечивает оценку чувствительности до испытания иа герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, путем моделирования схемы испытаний. Вакуумная установка содерI жит основную и дополнительную вакуумные камеры 1 и 3 с датчиками 2 и 4 вакуума. На камере 3 установлены натекатель 5 и контрольная течь 6 с вентилем 7. Объем камеры 3 соединен с течеискателем 8 и через дросселирующий вентиль 9 с объемом камеры 1, которая, в свою очередь, сообщена с высоковакуумным насосом 10 и форвакуумным насосом 11, снабженными течеискателем !2. Камеры 1 и 3 вакуумируют. Включают масс-спектрометрические течеискатели 8 и 12. Подают пробный газ из контрольной течи 6 в ка- . меру 3. Измеряют поток пробного газа течеискателями 8 и !2 в камерах 1 и

3. По результатам измерений согласно методик определяют чувствительность системы испытаний. 1 ил.

1281946

ВНИИПИ Заказ 7256/39, тираж 76

Подписное

Произв.-полигр. пр"тие„ г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к контролю герметичности изделий масс-спектрометрическим методом.

Цель изобретения — обеспечение оценки чувствительности до испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, путем моделирования схемы испытаний.

На чертеже изображена схема вакуумной установки.

Вакуумная установка содержит камеру 1 с датчиком 2 вакуума, внутри которой расположена дополнительная герметичная камера 3, снабженная датчиком 4 вакуума, натекателем 5 и контрольной течью 6 с вентилем 7. Дополнительный масс-спектрометрический течеискатель 8 соединен с дополнительной герметичной камерой 3, которая соединена с камерой 1 через дрос- селирующий вентиль 9, Высоковакуумный насос 10 соединен с камерой 1, механический насос 11 соединен с выходом высоковакуумного насоса 10, а масс-спектрометрический течеискатель 12 соединен с выходом высоковакуумного насоса 10, Устройство работает следующим образом.

После получения при полностью открытом дросселирующем вентиле 9 в камере 1 и в дополнительной герметичнойркамере 3 вакуума, который создается вакуумными насосами 10 и 11 и измеряется датчиками 2 и 4 вакуума, включаются масс-спектрометрические течеискатели 8 и 12 и вентилем 7 открывается подача пробного газа из контрольной течи 6 в дополнительную герметичную камеру 3. Затем натекателем 5 и дросселирующим вентилем 9 в дополнительной герметичной. камере

3 создают вакуум, равный вакууму в реальной негерметичной оболочке изделия.

Масс-спектрометрическими течеискателями 8 и 12 соответственно измеряют величины потоков пробного газа от контрольной течи 6 в дополнитель,ной герметичной камере 3 и камере 1.

По результатам измерений согласно методик определяют чувствительность системы испытаний.

При проверках герметичности изделий (особенно крупногабаритных), работающих в вакууме в негерметичных кожухах, оценка реальной герметичности иэделия осложнена наличием кожуха с собственной степенью негерметичности, что вызывает необходимость использовать моделирование процесса испытаний для оценки чувствительности метода.

Размещение в вакуумной камере 1 на камере 3, имитирующей пространство между кожухом и изделием, контрольной течи.6 и натекателя 5,. выполнение объема внутренней камеры 3 критериально подобным (критерий †-) объеg Kr

q11 му между кожухом и изделием, установка на магистрали между внешней и внутренней к,".мерами i и 3 дросселирующего вентиля 9, обеспечивающего ре" гулирование газового потока из внутренней камеры на уровне (°

К q В

И 5 êðèòåðèàëüío подобного негерметично-. сти кожуха О, а также установка на внешней камере дополнительного газоанализатора позволяют моделировать испытания реального объекта и оце30 нить чувствительность метода испытаний реального изделия, что обеспечивает исключение неоправданных затрат на обработку метода испытания на ре альном объекте.

Формула изобретения

Вакуумная установка, содержащая камеру, соединенные с ней средства щ откачки с вакуумными коммуникациями и запорными вентилями, датчики вакуума, контрольную течь и масс-спектро" метрический течеискатель, о т л и— ч а ю щ а я с я тем, что, с целью обеспечения оценки чувствительности до испытания на герметичность изделий, работающих в вакууме в негерметичных оболочках, она снабжена размещенной внутри камеры дополнительной герметичной камерой, на которой установлены натекатель и контрольная течь, и дополнительным масс-спектрометрическим течеискателем, соединенным с дополнительной герметичной ка55 мерой, которая соединена с основной камерой через дросселирующий вентиль.