Устройство для очистки пластин

 

Изобретение относится к оборудованию для очистки пластин. Цель - упрощение конструкции и повышение качества очистки пластин. Устройство содержит столик с приводом вращения, на котором закрепляется очищаемая пластина. Очистка пластины производится дисковыми щетками округлой, например овальной, формы, эксцентрично установленными на осях и контактируюпхими боковыми поверхностями друг с другом. В процессе очистки при вращении столика свободно установленный на нем ролик, контактируя с боковой поверхностью щеток, вызывает их колебательное перемещение по поверхности очищаемой пластины. Величина этих перемещений ограничивается пальцем , вставленным в дугообразный паз каждой щетки. 2 3. п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (58 4 В 08 В 1/00

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н АВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3882799/22-12 (22) 08.04.85 (46) 15.01.87. Бюл. № 2 (72) В. Н. Комаров, Н. И. Никулин и И. И. Поярков (53) 628.314.2 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 660203, кл. В 08 В 1/00, 1976. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОЧИСТКИ ПЛАСТИН (57) Изобретение относится к оборудованию для очистки пластин. Цель — упрощение конструкции и повышение качества очистки пластин. Устройство содержит столик с приÄÄSUÄÄ 1282925 водом вращения, на котором закрепляется очищаем ая пластина. Очистка пластины производится дисковыми щетками округлой, например овальной, форм ы, эксцентрично установленными на осях и контактирующими боковыми поверхностями друг с другом.

В процессе очистки при вращении столика свободно установленный на нем ролик, контактируя с боковой поверхностью щеток, вызывает их колебательное перемещение по поверхности очищаемой пластины. Величина этих перемещений ограничивается пальцем, вставленным в дугообразный паз каждой щетки. 2 з. п. ф-лы, 2 ил.

1282925

Изобретение относится к оборудованию для очистки пластин и может найти применение, например, при производстве полупроводниковых приборов.

Цель изобретения — упрощение конструкции и повышение качества очистки.

На фиг. 1 изображено устройство для очистки пластин, общий вид; на фиг. 2— разрез А-А на фиг. 1.

Устройство содержит центрифугу 1 с приводом 2 вращения и вакуумным столиком 3 для размещения обрабатываемых пластин 4, щетки 5 и 6 с приводом в виде ролика 7 и оградительный кожух 8. Щетки

5 и 6 (фиг. 2) выполнены, например, овальной формы и с помощью осей 9 закреплены на держателе 10 щеток. Ограничители 11 хода в виде пальцев установлены на кронштейне 10. Штуцер 12 используется для подачи моющей жидкости.

Устройство для очистки пластин работает следующим образом.

Пластину 4 закрепляют на вакуумном столике 3 центрифуги 1. После этого приводят в рабочее положение щетки 5 и 6, для чего держатель 10 перемещают таким образом, чтобы их рабочая поверхность была обращена к обрабатываемой пластине 4 (ме-. ханизм перемещения не показан) . Включают привод 2 центрифуги 1 и подают моющую жидкость через штуцер 12.

Столик 3 начинает вращаться, приводя в движение ролик 7, который, взаимодействуя со щеткой 5, приводит ее в движение. Далее при движении одна из щеток касается ограничителя 11 хода, который задерживает ее дальнейшее движение. Но ролик 7, продолжая движение, начинает взаимодействовать со щеткой 6, одновременно приводя в движение (но в обратном направлении) щетку 5. При этом щетка 6 также приходит . в движение, что обеспечивает отмывку пластины 4 одновременно двумя щетками 5 и

6. Скорость перемещения моющих щеток по поверхности пластины 4 за счет овальной формы щеток 5 и 6 одинакова от центра к периферии, что способствует высокому качеству отмывки.

Траектория движения щеток 5 и 6, показанная на фиг. 2 пунктиром, показывает, что обрабатываемая вся поверхность пластины 4. По окончании работы привод 2 выключают, кронштейн 10 поднимают, пластину 4 вынимают, на ее место ставят новую, и процесс повторяется.

Формула изобретения

15 °

1. Устройство для очистки пластин, содержащее столик для размещения очищае. мых пластин с приводом его вращения вокруг оси, перпендикулярной плоскости столика, размещенный над столиком держатель

20 щеток, установленные на держателе посредством осей две щетки, причем щетки смонтированы на осях свободно, отличающееся тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения качества очистки, каждая щетка выполнена дисковой в виде эксцентрика округлой формы, щетки установлены с возможностью контактирования своими боковыми поверхностями друг с другом, а столик снабжен роликом, свободно установленным на оси с возможностью периодического

30 контакта с боковой поверхностью щеток при вращении столика для придания им колебательного перемещения в плоскости столика.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что каждая щетка снабжена ограничителем перемещения, имеющим установленный на держателе палец, а в каждой щетке выполнен дугообразный паз под соответствующий палец.

3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что щетки выполнены овальной формы.

Фиг.2

Составитель И. Калмыков

Редактор А. Лежнина Техред И. Верег Корректор И. Муска

Заказ 7325/6 Тираж 541 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4