Запорное устройство

 

Изобретение откосится к арматуростроению и может быть использовано в вакуумной технике, иапример В плаэмохимичсском оборудовании, термическом оборудовании для ттроцессов осаждения слоев на кремниевую подложку, диффузионном и окислительном оборудовании. Цель изобрете

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ KOMHTET СССР

00 ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРОЮ

ping F 16 K1/24 (21 ) 3937465/23-08(22) 30.0I.85 (46) 30.01.87. Вюл. В 4 (72) И.И.Батырев и Г.E.Ïèëüãóí (53) 623.64б(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 509244 ° кл. F 16 К 3/ОО, 1976.

Авторское свидетельство СССР

Ф 750199, кл. F 16 K 3/00, 1980. (54) ЗАПОРНОЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение относится к арматуростроению и может быть использовано в вакуумной технике, например в плаэмохимичсском оборудовании, термическом оборудовании для процессов осаждения слоев на кремниевую подложку, ди44узионнои и окислитель" ном оборудовании. Цель изобрете1 286862 ппя - расширение функциональных возможностей устройства эа счет регулировки величины прямого хода и угла поворота запорного органа ° При подаче насыщенного парами масла воздуха в штуцер 13 перемещается поршень 6 и вместе с нии — шток 3 с рычагом 2 и запорным органом 1, происходит открытие гериетиэируемого объема, при этом шток Э движется прямолинейно, так как прямой участок профильного паза скользит по

Изобретение относится к арматуростроению и может быть исполЬэоваио в вакуумной технике например в плаэиохимическом оборудовании, термическом оборудовании для процессов осаждения-слоев на кремниевую подложку, диффузионном и окислительном оборудовании.

Целью изобретения является расширение функциональных воэиожностей устройства за счет регулировки величины прямого хода и угла поворота запорного органа.

На Фиг. изображено предлагаемое устройство, общий вид, на Фиг.2. форма профильного паза.

Устройство состоит иэ запорного органа l, связанного с помощью кон- . сольного рычага 2 со штоком 3 пневмоцилиндра 4. йток 3 через поворот" ный шарнир 5 связан с поршнем 6 так, что при возвратно-постунательнои перемещении поршня 6 вместе с ним перемещается шток 3, правый. (на фнг. 1) конец которого полый и иа нем образован на участке А профильный паз 7: Втулка 8 является направляющей для штбка 3 и ограничителем от проворота для пальца 9, взаимо,— действующего с аро@ильныи пазои 7 штока Э, Палец 9 жестко закреплен в держателе llO, установленном внутри штока 3 с возможностью переиещення вдоль оси на длину паза 7 во втулке .

8. Перемещение осуществляется эа.г счет вращения по часовой илн против часовой стрелки винта li с последующим эаконтриваниеи его гайкаии.12. пальцу 9. Прп да и,пeйш< и д1 пжении поршня 6 палеп 9 начинает сколь зита по винтовой части профильного паза и тем самым поворачивает шток 3 на

cooTBpтстэук щий углу HGKJloH3 винтовой линии профильного паза При этом запорный орт ан l отходит í còo-рону, освобождая пространство для доступа к герметиэируемому объему.

Закрытие устройства осуществляется в обратном порядке при подаче воздуха в штуцер !4, 2 ил.

В корпусе пневмоцилиндра 4 зыполнены ттуцеры 13 и 14 подачи воздуха.

При перемещении пальца 9 к псрпню 6 вращением винта ll протчв ча5 совой стрелки увеличивается прямой ход запорного органа l,от герметизируемого объема, что очень важно при наличии на запорном органе l болье ого количества экранов.

При перемещении пальца 9 от пор".< кя 6 вращением винта 11 но часовой стрелке уменьшается прямой ход запорного ОргBHG 1 и увеличивается угол отклонения последнего.

Запорное устройство работает следующим образом.

2р, При подаче, насыщенного парами масла воздуха в штуцер 1Э перемещается поршень 6 и вместе с ним шток Э с. рычагом 2 и запорным органом 1, происходит открытие герметиэнруемого.

25 объема, при этом. шток 3 движется прямолинейно, так как прямой участок профильного паза 7 скользит по пальцу 9. При дальнейшем движении порш ня 6 палец 9 начинает скользить по

ЗО винтовой части профильного паза 7 и тем самым поворачивает тпток 3 на угол соответстняОщии угл ч нс клона винтовой линии профильного паза, При этом запорный орган 1. отходит в сторону, освобождая пространство для доступа к герметизируемому объему. Закрытие устройства асжкестнляется в обратном порядке при подаче во эдух а в штуцер 1 4 .

Составитель Л. Фокин

Техред Л Сер,1екова Корректор А.Тяско

Редактор Н.Бандура

Заказ 7700/37

Тираж 811 Подписное

В11ИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, москва, Ж-35, Рауаская наб., д. 4/5

Ю

Ъ

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Ф o p u y J> а и э (1 6 р е т е и п я

Запорное устройство, содержащее запорный орган, пневмоцилиндр с корпусом, пор пнем и истоком, средство поворота с пальцем и закрепленный на п токе поворотный шарнир, о т л ич а ю щ е е с я тем,.что, с. целью

1)а сРп1рс ни я Æyнкпиональиъпс возмож ногтей, средство поворота размещено в корпусе пневмоцилиндра, а поворотный шарнир установлен внутри пориия с воэможностью взаимодействия с иим„ гри этом палец средства поворота установлен с возможностью перемещения вдоль оси ятока.