Интерферометр

 

Изобретение относится к измерительной технике. Устройство позволя ет расширить диапазон измеряемых перемещений путем изменения оптических длин путей в плечах интерферометра и уменьшения величины перемещения автоколлимационных зеркал. При перемещении автоколлимационных зеркал 7 и 8 с двумя параллельными отражающими гранями в плоскости, перепендикулярной оптическим осям плечей ин терферометра, между оптически связанными уголковыми отражателями 3 и 5 и 4 и 6 соответственно происходит частичное перекрьшание светового потока в плечах интерферометра, что приводит к изменению оптических длин путей. 1 3.п.ф-лы, 1 ил. С/)

СОЮЗ СОНЕТСНИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (!9) (!lb

yg y С 01 В 9/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ, СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3917179/24-28 (22) 08.04.85 (46) 07.02.87. Бюл. Р 5 (71) Ленинградский институт точной механики и оптики и Научно-производственное объединение "Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологии им, Д.H.Менделеева" (72) Ю.К.Михайловский, В.А.Рачков и В.Я.Смирнов (53) 535.4(088.8) (56) Заявка ФРГ Р 172171, кл. С 01 В 9/00, 1972.

Патент СНА Н 3926523, кл. С 01 В 9/02, 1975. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР (57) Изобретение относится к измерительной технике. Устройство позволяет расширить диапазон измеряемых перемещений путем изменения оптических длин путей в плечах интерферометра и уменьшения величины перемещения автоколлимационных зеркал. При перемещении автоколлимационных зеркал 7 и 8 с двумя параллельными отражающими гранями в плоскости, перепендикулярной оптическим осям плечей интерферометра, между оптически связанными уголковыми отражателями 3 и 5 и 4 и 6 соответственно происходит частичное перекрывание светового потока в плечах интерферометра, что приводит к изменению оптических длин путей.

1 з.п.ф-лы, 1 ил.

1288498

10 !

20

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным измерителям линейных угловых перемещений.

Цель изобретения — расширение диапазона измеряемых перемещений — достигается путем изменения числа прохождений светового пучка между угловыми отражателями, что изменяет оптические длины путей в плечах интерферометра и чувствительность измерений.

На чертеже представлена оптическая схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник монохроматического излучения, расположенные последовательно по ходу излучения светоделитель 2, двугранные

90-градусные отражатели 3 и 4, предназначенные для установки на объект, двугранные..90-градусные отражатели

5 и 6, расположенные напротив отражателей 3 и 4 таким образом, что вершина каждого отражателя 5 и 6 смещена вдоль оптической оси источника относительно отражателей 3 и 4 соответственно, светоделительная поверхность светоделителя 2 совмещена с отражающей поверхностью отражателя 5, два автоколлимационных зеркала 7 и 8, расположенных соответственно между отражателями 3 и 4 и отражателями 5 и 6 с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оптическим осям плечей интерферометра, и фотоэлектрический приемник 9.

Интерферометр работает следующим образом.

Световой поток от источника 1 направляется на светоделитель 2, который разделяет его на два пучка и направляет в два плеча интерферометра (на пары отражателей 3,5 и 4,6). Отраженный от пластины 2 пучок попадает на пару отражателей 5 и 3, от которых попеременно отражается до тех пор, пока не приблизится к вершине отражателя 6 настолько, что попадет на ту же грань отражателя 5, от которой последний раз отразился в сторону отражателя 3. При этом происходит изменение направления распространения пучка на противоположное и пучок проходит в обратном направлении тот же путь между отражателями 3 и 5, приб" лижаясь к .краям гипотенузных граней отражателей 3 и 5, пока не выйдет эа пределы отражателя 3. Выходящий пучок попадает на автоколлимационное зеркало 7 и отражается в обратном направлении. Пройдя прежний путь в пространстве между парой отражателей 3 и 5, пучок возвращается к светоделителю 2, где происходит интерференция со световым потоком, прошедшим аналогичный путь в плече, содержащем отражатели

4 и 6. Результирующее световое излучение воспринимается фотоэлектрическим приемником 9.

При перемещении автоколлимационных зеркал 7 и 8 в плоскости, перпендикулярной оптическим осям плечей интерферометра, происходит изменение чувствительности интерферометра и расширение диапазона измеряемых перемещений.

По изменениям фототока приемника 9 осуществляется измерение разности оптической длины плечей интерферометра., характеризующей угловое или линейное перемещения объекта.

Формула изобретения

1. Интерферометр для измерения углового положения объекта, содержащий источник монохроматического излучения .и расположенные последовательно по ходу излучения светоделитель, четыре двугранных 90-градусных отражателя, первый и второй из которых расположены напротив предназначенных для установки на объект третьего и четвертого отражателей таким образом, что вершина соответственно первого и второго отражателей смещена вдоль оптической оси источника относительно вершины третьего и четвертого отражателей, фотоэлектрический приемник и два автоколлимационных зеркала, а светоделитель расположен таким образом, что его светоделительная поверхность совмещена с отражающей поверхностью первого отражателя, отличающийся тем, что, с целью расширения диапа- . зона измеряемых перемещений, автог коллимационные. зеркала установлены соответственно между первым и третьим, вторым и четвертым отражателями с возможностью перемещения в плоскости, перпендикулярной оптическим осям плечей интерферометра.

2. Интерферометр по п.1, о т л и— ч а ю шийся тем, что автоколлимационные зеркала выполнены с двумя отражающими параллельными гранями.