Интерферометр для измерения линейных перемещений объекта
Изобретение касается интерференционных измерений перемешений. Целью изобретения является повышение чувствительности путем устранения паразитных вибраций, приводящих к разъюстировке. Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 разделяется на два потока, один из которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой - на отражатель 4. Поток, отразившись от отражателя 4, попадает на отражатель 3, отразившись от которого, снова попадает на отражатель 3 и т. д. Так продапжается п раз, пока излучение не попадает на сечение отражателя 4, отразившись от которого излучение возвращается по тому же пути и попадает на светоделитель 2, пространственно совмещаясь с потоком, отраженным от отражающего покрытия светоделителя 2. Фотоприемник 5 воспринимает усредненную интенсивность интер$ ференционного поля, по которой определяют величину перемещения. 1 ил. (Л
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (gy) 4 Ci 01 В 9 02
Ц/
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К ABTOPGKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3717834/24-28 (22) 30.03.84 (46) 07.12.86. Бюл. № 45 (71) Всесоюзный научно-исследовательский институт метрологической службы (72) В. Я. Бараш, Г. С. Пресняков и А. Л. Резников (53) 531.715.1 (088.8) (56) Крылов К. И. др. Применение лазеров в машиностроении и приборостроении.: Машиностроение, 1987, с. 241. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА (57) Изобретение касается интерференционных измерений перемещений. Целью изобретения является повышение чувствительности путем устранения паразитных вибраций, при„„SU„„1275205 водящих к разъюстировке. Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 разделяется на два потока, один из которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой — на отражатель 4. Поток, отразившись от отражателя 4, попадает на отражатель 3, отразившись от которого, снова попадает на отр аж атель 3 и т. д. Так п родолжается и раз, пока излучение не попадает на сечение отражателя 4, отразившись от которого излучение возвращается по тому же пути и попадает на светоделитель 2, пространственно совмещаясь с потоком, отраженным от отражающего покрытия светоделителя 2. Фотоприемник 5 воспринимает усредненную интенсивность интер- д ференционного поля, по которой опреде- ® ляют величину перемещения. 1 ил.
1275205
Формула изобретения
Составитель H. Захаренко
Редактор Н. Тупица Техред И. Верес Корректор Л. Пилипенко
Заказ 6549/29 Тираж 670 Г1одписпое
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ПГГП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная. 4
Изобретение касается интерференционных измерений перемещений, в частности перемещений при вибрациях.
Цель изобретения — повышение чувствительности путем устранения паразитных вибраций, приводящих к разъюстировке.
На чертеже представлена схема интерферометр а.
Интерферометр содержит источник 1 излучения, светоделитель 2, два трехгранных уголковых отражателя 3 и 4, один из которых 4 установлен с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению оТ источника 1, оба уголковых отражателя 3 и 4 смонтированы в другом потоке от светоделителя 2 диаметрально противоположно один другому, на отражателе 4 выполнено сечение с отражающим покрытием, параллельным основаник>, фотоприемник 5, установленный в одном из потоков от светоделителя 2, который выполнен в виде куб-призмы на одну грань которой со стороны, противоположной источнику 1 излучения, нанесено отражающее п окр ыт ие.
Интерферометр работает следующим образом.
Излучение от источника 1 диагональной гранью светоделителя 2 раздепяется на два потока, один из которых направляют на отражающее покрытие светоделителя 2, а другой — на отражатель 4.
Поток, отразившись от отражателя 4, попадает на отражатель 3, отра.",ившись от которого, снова попадает на отражатель 3 и т. д. Так продолжаегся 12 раз, пока излучение не попадет на сечение отражателя 4, отразившись от которого излучение возвращается по тому же пути и попадает на светоделитель 2, пространственно совмещаясь с потоком, отраженным от отражающего покрытия светоделителя 2.
Фотопр иеми ик 5 воспри ним ает усредненную интенсивность интерферирующего поля, по которой определяют величину пере10 мещения.
Интерферометр для измерения линейных перемещений об.ьекта, содержащий источник излучения, светоделитель, делящий падающее от источника излучение на два потока, два трехгранных уголковых отражателя, один из которых установлен с возмож20 ностью перемещения в направлении, перпендикулярном излучению от источника, и фотоприемник, установленный в одном из потоков от светоделителя, отличающийся тем, что, с целью повышения чувствительности, светоделитель выполнен в виде куб-призмы, на одну грань которой со стороны, противоположной источнику излучения, нанесено отражающее покрытие, оба уголковых отражателя смонтированы в другом потоке от светоделителя диаметрально противоположно один другому, а на установленном с воз30 можностью перемещения отражателе со стороны вершины выполнено сечение с отражающим покрытием, параллельным основанию.
