Способ измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали

 

Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения - обеспечение возможности измерения деталей с большим радиусом кривизны Устанавливают перед деталью объектив с вогнутой сферической поверхностью так, что этой поверхностью он обращен к детали. При измерении радиуса кривизны выпуклой поверхности оптической детали первоначально определяют радиус кривизны R последней поверхности объектива и расстояние s от вершины последней поверхности объектива до плоскости фокусировки излучения , затем с помощью этого объектива фокусируют излучение в вершину измеряемой поверхности, смещают деталь по направлению к объективу на расстояние, меньшее измеряемого радиуса кривизны, добиваясь вторичной фокусировки излучения в вершину поверхности детали после дополнительного последовательного отражения излучения от поверхности детали и последней поверхности объектива, определяют разность OL отсчетов, снятых по шкале, в положениях детали при фокусировках излучения в вершину ее измеряемой поверхности, а радиус кривизны R определяют как R 4a/f(S - 2a)/(s -a) + (R,-s +2q)/(R,-s +ci).. 4 ил. 9

COIO3 СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (1I) (51) 4 G 01 В 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3843862/24-28 (22) 11.01.85 (46) 28.02.87. Бюл. У 8 (72) А.h. Бакеркин (53) 531.715.27(088.8) (56) Кривовяз Л.М., Пуряев Д.Т., Знаменская М.А. Практика оптической измерительной лаборатории.-M. Машиностроение, 1974, с.146-147.

Авторское свидетельство- СССР кл, G 01 В 11/24, 1970, (54) СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ PATPPJCA КРИВИЗ НЫ СФЕРИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ

ДЕТАЛИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения— обеспечение возможности измерения деталей с большим радиусом кривизны.

Устанавливают перед деталью объектив . с вогнутой сферической поверхностью так что этой поверхностью он обращен

Э к детали. При измерении радиуса кривизны выпуклой поверхности оптичесt кой детали первоначально определяют радиус кривизны К последней поверх1

1 ности объектива и расстояние S от вершины последней поверхности объектива до плоскости фокусировки излучения, затем с помощью этого объектива Фокусируют излучение в вершину измеряемой поверхности, смещают деталь по направлению к объективу на расстояние, меньшее измеряемого радиуса кривизны, добиваясь вторичной фокусировки излучения в вершину поверхности детали после дополнительного. последовательного отражения излучения от поверхности детали и последней поверхности объектива, определяют разность а отсчетов, снятых по шкале, в положениях детали при фокусировках излучения в вершину ее измеряемой поверхности, а радиус кривизны R определяют как R = 4a/ f(S-2а)/(S -a)+(R,-S +2ц)/(R,-S +а) .4 ил.

1293484

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано, например, при измерении радиусов кривизны пробных стекол большой величины (радиус 1-5 м). 5

Цель изобретения — обеспечение возможности измерения деталей с большим радиусом кривизны.

На фиг.1 и 2 дано взаимное положение объектива 1 и плоского зерка-! ла 2 при измерении величины S и показан ход лучей; на фиг.3 и 4 дано взаимное положение детали 3 и объектива 1 в двух положениях при фокусировке излучения в вершину измеряемой

f5 поверхности детали и показан ход лучей при измерении радиуса. кривизны выпуклой поверхности.

Способ осуществляют следующим обРазом, 20

Сначала измеряют величину К„ любым известным способом, например, с помощью дополнительного объектива (не показан) автоколлимационным методом по разности двух отсчетов при фокуси25 ровке излучения в центр кривизны поверхности измеряемого объектива и в вершину его поверхности. Далее измеI ряют величину S объектива 1 автоколлимационным методом с использованием плоского зеркала 2. Излучение с помощью измеряемого объектива 1 фокусируют на поверхность плоского зеркала 2. Фиксируют положение A„ плоского зеркала, смещают.его по направле- 35 нию к измеряемому объекту до положения А, при котором происходит фокусировка излучения в вершину поверхности объектива 1, обращенной к плоскому зеркалу 2. Величину S объектива 1 @ ! определяют как:

4 2

Затем плоское зеркало 2 заменяют на деталь 3, радиус кривизны выпуклой поверхности которой требуется измеРить. С помощью объектива 1 фокусируют излучение в вершину измеряемой поверхности детали, при этом фиксируют положение А детали. Затем смещают деталь 3 по направлению к объективу 1 до положения, при котором излучение вторично фокусируется в вершину измеряемой поверхности детали, фиксируют новое положение A детали.

55 й.

Разность 6 отсчетов положения детали, а = А — А I измеренные Радиус

Д

l кривизны К и расстояние S поэволяют определить радиус кривизны R поверхности детали

2с! Rl-Б +2а

Б - а R -S +a 1

При измерении радиуса кривизны выпуклой поверхности детали величина смещения а., определяющая величину измеряемого радиуса R, зависит от величины радиуса R„ кривизны поверхности объектива 1, обращенной к детали, и расстояния Б от вершины этой поверхности до плоскости фокусировки излучения, Приемлемая точность измерений достигается при R,< 1000 мм и S 1000 мм, что дает возможность вести измерения при смещениях а.,не превышающих

750 мм. Величины R u S определяют и длину отсчетной шкалы.

Фо рмула из обретения

Способ измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической петали, заключающийся в том, что устанавливают перед деталью объектив с вогнутой сферической поверхностью так, что этой поверхностью он обращен к детали, фокусируют с помощью объектива излучение в вершину измеряемой поверхности детали, фиксируют относительное положение детали, смещают деталь по направлению к объективу и определяют радиус кривизны, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью обеспечения воэможности измерения деталей с большим радиусом кривизны, измеряют радиус кривизны поверхности объектива, обращенной к детали, измеряют расстояние от вершины этой поверхности объектива до плоскости фокусировки излучения, смещают деталь по направлению к объективу до положения, при котором излучение вторично фокусируется в вершину измеряемой поверхности детали, фиксируют это положение детали, а радиус кривизны определяют по формуле

S -2à R Б +2ц1

S — а R -Sl+à ч где g — разность зафиксированных отсчетов в положениях детали при фокусировке излучения в вершину ее поверхности, 3 1293484

S — - расстояние от вершины поверхI ности объектива, обращенной к измеряемой детали, до плоскости фокусировки излучения, R радиус кривизны поверхности объектива, обращенной к измряемой детали.

Qua. 8

Составитель Л. Лобзова

Техред Л.Сердюкова Корректор И. Зрдейи

Редактор M. Товтин

Заказ 370/41 Тираж 678

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Подписное

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Способ измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали Способ измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали Способ измерения радиуса кривизны сферической поверхности оптической детали 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике, а именно к устройствам для измерения радиуса сферических полированных поверхностей, и может быть использовано при контроле оптических деталей

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерферометрии, и может быть использовано для контроля радиуса кривизны оптической поверхности

Изобретение относится к области нанотехнологий и наноэлектроники, а более конкретно к сканирующей зондовой микроскопии

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться в оптическом приборостроении дпя огфеделения кривизны поверхности оптических деталей

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения преимущественно больших радиусов кривизны сферической поверхности оптических деталей

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано , например, при измерении больших по величине радиусов кривизны вы5 / сокоточных особо чистых поверхностей оптических деталей

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения радиуса кривизны сферических поверхностей различных объектов

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в оптическом приборостроении для контроля формы волновых фронтов и оптических поверхностей

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано при контроле высокоточных оптических деталей, например пробньлс стекол

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для определения формы поверхности полированных подложек в электронной технике и для контроля оптических элементов
Наверх