Способ испытания изделий на герметичность

 

Изобретение относится к испытаниям изделий на герметичность и позволяет повысить точность испытаний путем микроскопирования поверхности изделия в месте течи. Поверхность изделия 6 сканируют пучком электронов. Одновременно формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 по вторичным электро-- нам, улавливаемым дефлектором 8. Регистрируют с помощью фотоэлектронного умножителя 9 с кристаллом-сцинтиллятором 10 в ультрафиолетовом диапазоне излучение проникающего через течь пробного газа, возбужденное первичными электронами, и формируют изображение поверхности изделия 6 в месте течи в увеличенном масщтабе. 1 з.п. ф-лы, 1 ил. (Л to со со СП СД

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sg 4 G О! М 3 40

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ " ;

К А BTOPCKOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3751171/25-28; 3751172/25-28 (22) 09.04.84 (46) 28.02.87. Бюл. ¹ 8 (72) В. И. Киреев, Е. А. Борисов, В. П. Зайцев и В. Л. Ронин (53) 620.165.29 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 847116, кл. 6 01 М 3/40, 1979. (54) СПОСОБ ИСПЫТАНИЯ ИЗДЕЛИЙ

НА ГЕРМЕТИЧНОСТЬ (57) Изобретение относится к испытаниям изделий на герметичность и позволяет повысить точность испытаний путем микро„„SU„, 1293515 А1 скопирования поверхности изделия в месте течи. Поверхность изделия 6 скан иру ют пучком электронов. Одновременно формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 по вторичным электро-. нам, улавливаемым дефлектором 8. Регистрируют с помощью фотоэлектронного умножителя 9 с кристаллом-сцинтиллятором 10 в ультрафиолетовом диапазоне излучение проникающего через течь пробного газа, возбужденное первичными электронами, и формируют изображение поверхности изделия 6 в месте течи в увеличенном масштабе. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

1293515

Фор..гула изобретения ..oE:таянтелн Ь. !v13xTHII

Редактор H. Швннткая Техрсд И. Нерее Коррекгор Л. Оор чар

Заказ 374 43 Тираж 777 Подписное

ВИИИПИ Голдарственного комитета (;I.(:Ð по делам нзооретс шй и открытий

I 13035, Москва, Ж 35, Рамшская наб., д. 4,5

Производственно-полиграфическое предприятие, i . Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к испытательной те нике и может быть использовано для испытания изделий на герметичность.

Цель изобретения - повышение точности испытаний путем микроскопирования поверхности изделия в месте течи.

На чертеже представлена схема устройства, реализующего способ испытания из.låлий на герметичность.

Устройство содержит вакуумную камеру 1, в которой смонтированы направляющие 2. На направляющих 2 установлена с возможностью перемещения программно-управляемая каретка 3 с четырехкоординатным манипулятором 4. Манипулятор 4 связан с пультом 5 управления. B камере 1 также размещено испытуемое изделие 6. На манипуляторе 4 смонтированы электронно-лу чевая пушка 7, дефлектор 8 и фотоэл KTронный умножитель 9 с кристаллом-cLLHHTHSIлятором 10. Пульт 5 управления содержит монитор 11, вход которого связан с выходом дефлектора 8. Выход фотоэлектронного умножителя 9 через усилитель 12 и смеситель 13 также связан с входом монитора !1.

Способ, осуществляют следующим образом.

Изделие 6 помещают в вакуумную камеру !. Камеру 1 откачивают до рабочего давления Р=1 10 — 1.10 тор. Заполняют изделие 6 пробным газом. При помощи манипулятора 4 дискретно пер MBIIIBIQT электронно-лучевую пушку 7 эквид IcTBHTно относительно поверхности изделия 6. В момент остановки разворачивают в растр пучок электронов, излучаемый пушкой 7, и сканируют им поверхность изделия 6.

Одновременно со сканированием формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия 6 в базовом масштабе по вторичным электронам, улавливаемым дефлектором 8. С помощью фотоэлектронного умножителя 9 с кристаллом-сцинтиллятором

10 регистрируют в ультрафиолетовом диапазоне возбужденное первичнык.и электронами излучение проникающего через течь пробного газа. Так как ультрафиолетовое излучение возоу?K;Ià ITCH при малой плотности тока в электронном пучке, то исключается термический удар и прожиг изделия.

По сигналу фотоэлектронного умножителя

9 определяют интенсивность возбужденного излучения, по которой судят о величине негерметичности, а местоположение течи определяют по расположению места излучения, изображение которого формируют на изображении поверхности изделия 6 по сигналу и умножителя 9, усиленному усилителем 12 и наложенному через смеситель 13 на сигнал от дефлектора 8. Кроме того, по сигналу умножителя 9 формируют на мониторе 11 изображение поверхности изделия " в месте гечи в увеличенном масштабе, определяя таким образом с высокой точностью характер течи и ее геометрические характеристики.

1. Способ испытания изделий на герметичность, заключающийся в том, что изделие помещают в вакуумнук камеру, заполняют его проопым газом, сканируют поверхность из..елия пучком электронов, регистрируют

25 возбужденное электронами излучение проникающего через течь гробного газа и судят о величине негерметичности по интенсивности возбужденного излучения, а о местоположении течи — по расположению места излучения Hd поверхности изделия, отличаюи4ийая тем, что, с цельк) повышения точности, одновременно со сканированием формируют изображение поверхности изделия по вторичным электронам, регистрацию возбужденного излучения пробного газа осуществляют в ультрафиолетовом диапазоне и формируют изображение поверхности изделия в месте течи в увеличенном масштабе.

2. Способ по и. 1, отличающийся тем, что сканирование поверхности изделия осущсcTвляют дискретным перемещением источника электронов относительно изделия и развертыванием пучка электронов в растр при неподвижном источнике электронов.