Устройство для определения места дефекта на поверхности изделия

 

Изобретение относится к области контроля герметичности с помощью электрических устройств и позволяет определять места течей на поверхности изделия . В вакуумной камере 4 размещены заполненное пробным газом контролируемое изделие 24, электронная пушка 7 и датчик электромагнитного излучения, закрен.ченные на подвижной каретке 6. Изде.пие 24, установленное на изоляторе, электронная пущка 7, датчик электромагнитного излучения и электрогидравлический привод 5 соединены с электрической схемой устройства. По поверхности изделия 24 сканируют электронным пучком и с помощью электрической схемы получают изображение на видеомониторе 26. Формирование электронного пучка осуществляют электронной пущкой 7. Вторичное рентгеновское излучение в .месте истечения пробного газа через дефект измеряют с помощью датчика э, 1ектромагнитного излучения. Каналы формирования изображения изделия и течи синхронизированы. Устройство обеспечивает коррекцию изображения . 1 з.п.ф-лы, 1 ил. Sfi (/ с

COl03 СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (50 4 С01,М 3i40

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPGHOMY СВИДЕТЕЛЬСТБУ

Ы С

СР

Я

О

ГОСУДАРСТВЕКНЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4129580/25-28 (22) 08.10.86 (46) 15.05.88. Бюл. № 18 (72) В. И. Киреев и E. А. Борисов (53) 620. 165.29 (088:8) (56) Вольдсет Р. Прикладная слектроскопия рентгеновского излучения. М.: Атомиздат, 1977. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕ:1ЕНИЯ

NECTA ДЕФЕКТА HA ПОВЕРХНОСТИ

ИЗДЕЛИЯ (57) Изобретение относится к ооласти контроля герметичности с помощью электрических устройств и позволяет определять места течей на поверхности изделия. В вакуумной камере 4 размещены заполненное пробным газом контролируемое изделие 24, электронная пушка 7 и датчик

„„SU„„1395967 А 1 электромагнитного излучения, закрепленные на подвижной каретке 6. Изделие 24, установленное на изоляторе, электронная пушка 7, датчик электромагнитного излрн— ния и электрогидравлический привод 5 соединены с электрической схемой устройства.

По поверхности изделия 24 сканируют элекTp0HHhlM и ч ком и с помощью эпектрической схемы получают изображение HB видеомониторе 26. Формирование электронного пучка осуществляют электронной пушкой 7.

Вторичное рентгеновское излучение в месте истечения пробного газа через дефект измеряют с помогцью датчика электромагнитного излучения. Каналы формирования Ii300ражения изделия и течи синхронизированы.

Устройство обеспечивает коррекцию изоб1гажения. 1 з.п.ф-лы, пл.

1395967

Формула изобретения чение в ультрафиолетовом диапазоне спектра. Количественная величина регистрируемого излучения зависит от интенсивности течи.

Информационный канал изображения течи представляет собой датчик 10 ультрафиолетового излучения, состоящий, например, из кристалл-сцинтиллятора 8 и фотоэлектронно го умножителя (ФЭУ) 9 в котором происходит преобразование квантов вакуумного ультрафиолета в электрические сигналы, поступающие в блок 11 согласования сопротивлений фотоэлектронного умножителя 9 и фильтра 13, осуществляющего подачу низкочастотной составляющей сигнала.

Фильтр 13 нагружен на усилитель-ограничитель 14 с регулируемым порогом усиления и обеспечивает выбор чувствительности измерения потока ультрафиолетового излучения. Блок 15 осуществляет расширение по времени приходящего импульса и управляет блоком 16 задержки строчной развертки, формируя тем самым сигнал уменьшения скорости строчной развертки электронно-лучевого зонда, т. е. режим микроскопирования. В блоке 17 осуществляется запоминание «места» мцкроскопирования в растре строки и номера строки и выработка сигнала режима микроскопирования для всех строк в полях. Блоки 16 и 17 удерживают режим микроскопирования более десяти кадров, если не приходит сигнал подтверждения с блока 15, и подают управляющий сигнал на блок 18, нейтрализуя работу корректирующей цепи разверток видеомонитора 26. При включении системы электронно-лучевого обнаружения места дефекта на поверхности изделия 24 с пульта 1 управления оператор наблюдает изделие 24 на экране монитора 26 в масштабе. Время наблюдения конкретного места не ограничивается, даже если изделие 24 в данном кадре не обнаруживает течи, и зависит от принимаемого решения оператором. При отсутствии течи оператором с пульта 1 управления дается команда на автомат 2 шагового сканирования и питание на усилитель 3 мощности для осуществления перемещения датчика 10 с электронной пушкой 7 в новое место. Само новое место определяется координатами выбранными на пульте . В случае, если при какой-либо экспозиции есть течь, то автоматически срабатывает канал изображения течи. Зарегистрированный и преобразованный сигнал течи запускает режим микроскопирования, в результате чего происходит разрыв кадра макроизображения, в который вставляется вертикальная полоса микроизображения, проходящая через участок с течью в изображении из-елия 21. Ширина полосы микроизображепия может меняться оператором. В районе течи на экране видеомонитора 26 наблюдается факел свечения. После снятия давления из полости изде,.;ия 24 и его откачки до давления 1 !Π— 1 ° 10 " мм рт. ст. вертикаль5

1О !

55 ная полоса (режим микроскопировапия) на видеомониторе 26 исчезает. При выполнении локальных наблюдений изделия 24, имеюнье10 утечки активной десорбции контрольного газа факел течи отсутствует, но излучение может привести к срабатыванию режима микроскопирования. Восприятие лока IbHblx течей осуществляется оператором, распознающим по контуру изображения ип выделяющегося потока газа.

Использование предлагаемого устройсз ва (в отличие от известных) сокращает технологический цикл проведения испытания на герметичность за счет совмещения проведения испытаний B вакуумной камере 4 как на суммарную негерметичность, так и локальное определение места утечки, увеличения скорости поиска дефекта по сравнению с »асс-спектрометрическим методом в связи с заменой принципа регистрации утечки; осуществления неконтактного автоматизированного поиска течей на изделии 24 с передачей на видеомонитор 26 изображения дефектного участка изделия 24 и проведения анализа в необходимом масштабе характера дефекта изделия 24 без разгерметизации вакуумной камеры 4.

1. Устройство для определения места дефекта на поверхности изделия, содержащее вакуумную камеру, размещенную в ней подвижную каретку, закрепленную на каретке электронную пушку и канал изображения размещаемого в камере изделия, включающий последовательно соединенные видеоусилитель, вход которого предназначен для соединения с контролируемым изделием, дискриминатор и видеомонитор, отличающееся тем, что, с целью расширения эксплуатационной возможности путем обеспечения определения места течи, оно снабжено каналом изображения течи, включающим последовательно соединенные датчик электромагнитного излучения, размещенный в камере па подвижной каретке блок согласования сопротивлений. второй вход которого соединен с источником питания, фильтр, усилитель-ограничитель, блок формирования изображения течи, блок задержки строчной развертки и блок формирования режима микроскопирования течи, и каналом синхронизации строчной и кадровой развертки каналов изображения изделия и течи, включающий последовательно соединенные генератор опорных строб-импульсов, генератор выравнивающих импульсов, второй вход которого соединен с выходом блока формирования режима микроскопирования течи, а второй выход с модулятором электронной пушки, делителя частоты, второй вход которого соединен с выходом блока формирования режима микроскопирования течи, и усилитель мощности, соединенный с отклоняющими пластинами электронной пушки.

1395967

Составитель В. Черноусов

Редактора. Ревин Техред И. Верес Корректор В. Гирняк

Заказ 1972/41 Тираж 847 Подписное

ВНИИГ1И Государственного комитета ССCP по делам изобретений и открытий

118035, Москва, Ж--35, Раугвская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Г(роектная, 4

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что, с целью повышения точности путем уменьшения искажений кадровой и строчной развертки, канал изображения изделия включает цепь коррекции, состоящую из последовательно соединенных блока коррекции искажений, первый вход которого соединен с вторым выходом дискриминатора, усилителя, масштабного усилителя, управляемого блока задержки, первый выход которого соединен с вторым входом дискриминатора, а второй — со вторым входом блока коррекции искажений, и генератора строчной и кадровой развертки, первый вход которого соединен с третьим выходом управляемого

5 блока задержки, второй — с выходом блока коррекции искажений, а выход — с вторым входом видеомонитора, а также из неуправляемого блока задержки, вход которого соединен с выходом генератора стробимпульсов, а выход — с вторым входом управляемого блока задержки.