Способ контроля герметичности полых изделий

 

СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРМЁТИЧНОСI ТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИЙ, заключающийся в том,. что полость изделия герметизируют, создают вакуум со стороны контроли- / руемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности , отличающийся тем, что, с целью зшрощения и повышения производительности контроля стекляннь1х оболочек со впаянным электродом , вакуум создают в полости оболочки , а поток электронов создают с помощью автоэмиссионного катода в форме шарового сегмента, который вводят в полость оболочки так, чтобы сферическая поверхность сегмента бьша обращена к контролируемой поверхности, и прикладывают разность потенциалов к автозмиссионному катоду и впаянному в оболочку электроду. (Л с ий ел ьэ ел 65

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

4 (5 I) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ и ABTGPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3375372/25-28 (22) 05.01.82 (46) 15.03.85.Бюл. Х 10 (72) Е.В.Тузов;53) 620.165.28(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

М 168925, кл. С 01 И 3/40, 1965 °

2. Авторское свидетельство СССР

Р 847116, кл. G 01 M 3/40, 1979

{прототип) . (54) (57) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ГЕРИЕТИЧНОС-

ТИ ПОЛЫХ ИЗДЕЛИИ, заключающийся в том, что полость изделия герметизируют, создают вакуум со стороны контролируемой поверхности, воздействуют на

ÄÄSUÄÄ 1145256 Д нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности, отличающийся тем, что, с целью упрощения и повышения производительности контроля стеклянных оболочек со впаянным электродом, вакуум создают в полости оболочки, а поток электронов создают с помощью автоэмиссионного катода в форме шарового сегмента, который вводят в полость оболочки так, чтобы сфери-. ческая поверхность сегмента была обращена к контролируемой поверхности, и прикладывают разность потенциалов к автозмиссионному катоду и впаянному в оболочку электроду.

Недостатками известного способа .танке являются его сложность и низкая производительность, обусловленная не-15 обходимостью использования сложного электроннолучевого оборудования, длительного сканирования поверхности изделия потоком электронов, а также заполнения изделия пробным газом.

Кроме того, способ не применим для контроля стеклянных оболочек электро" вакуумных приборов, так как они легКо разрушаются при избы очном давлении внутри оболочки, а также для регистрации микротечей.

Пель изобретения — упрощение и повышение производительности контро50

1 1145

Изобретение относится к испыта" тельной технике, а именно к контролю герметичности стеклянных оболочек со впаянным электродом, и может быть использовано при производстве кинес копов, радиоламп, преимущественно больших размеров, осциллографических трубок и других злектровакуумных приборов.

Известен способ контроля герметич-!0 .ности полых изделий, заключающийся в том, что помещают изделие в вакуумную камеру, заполняют его пробным газом, создают в камере электрический разряд и по свечению -пробного газа в зоне разряда судят о герметичности 1 j.

Недостатками данного способа являются его сложность и низкая производительность, обусловленные неооходимостью помещения изделия в вакуумную камеру и заполнения его пробным . азом, что затрудняет использование способа в поточном производстве.

Наиболее близким к изобретению ио технической сущности и достигаемо.му результату является способ контроля герметичности полых изделий, заключающийся в том, что полость изделия герметизируют, создают вакуум

30 со стороны контролируемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о герметичности. Вакуум создают в камере, где размещено изделие, а полость изделия заполняют пробным газом. Поток электронов создают с помощью электронолучевой пушик, установленной в камере, и сканируют им по поверхности изделия путем перемещения последне- @ го(2), 256 2 ля стеклянных оболочек со впаянным электродом.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу контроля герметичности полых изделий, заключающемуя в том, что полость изделия герметизируют, создают вакуум со стороны контролируемой поверхности, воздействуют на нее потоком электронов и по свечению проникающего газа судят о. герметичности, вакуум создают в полости оболочки, а поток электронов создают с помощью автоэмиссионного катода в форме шарового сегмента, который вводят в полость оболочки чтобы сферическая поверхность сегмента была обращена к контролируемой поверхности, и прикладывают раз-, ность потенциалов к автоэмиссионному катоду и впаянному в оболочку электроду.

На чертеже изображена схема, реализующая предлагаемый способ.

Контролируемая стеклянная оболочка 1 со сварным швом 2 и впаянным электродом 3 установлена в посадочном гнезде 4 откачного оста (не показан). В гнезде 4 закреплен автоэмиссионный катод 5 в форме шарового сегмента на стойке 6. Впаянный электрод 3 и катод 5 подключены к источнику 7 постоянного напряжения. Гнездо 4 и стойка 6 выполнены из эле*тропроводного материала, а уплотняющий край гнезда 4, контактирующий с оболочкой 1, выполнен из вакуумной резины.

Способ контроля герметичности полых изделий реализуется следующим образом.

Стеклянную оболочку 1 устанавливают на посадочном гнезде 4 и вакуумируют полость оболочки 1 до давления менее 0,! Па. С помощью источника 7 постоянного напряжения прикладывают разность потенциалов к катоду 5 и впаянному электроду 3. В результате автоэлектронной эмиссии с поверхности катода 5 контролируемая поверхность оболочки t подвергается . воздействию электронного потока, при этом стекло оболочки люминесцирует слабым желто-зеленым светом.

При наличии микрощели по шву 2 или вокруг электрода 3 в оболочку втекает струйка воздуха из окружающей внешнюю поверхность контролируемой оболочки атмосферы, который под воздействием электронного потока

I I4

Составитель Л.Овсянникова

Техред. С. Йовжий . Корректор И.ЭрдбйИ

Редактор А. Гулько

Заказ 1163/32

Тираж 897 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий !!3035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4 ярко люминесцируют розовым светом вблизи микрощели. Место натекания определяют по месту свечения.

Автоэмиссионный катод 5 вводят в оболочку таким образом, что сферическая поверхность шарового сегмента обращена к наиболее вероятным местам негерметичности контролируемой поверхности — сварному шву 2 и электроду 3, при этом радиус сферы, высота сегмента и высота стойки 6 выбираются такими, чтобы линия от любой точки шва 2 и от любой точки кон- такта вывода. электрода 3 со стеклом оболочки 1 до ближайшей точки сферической поверхности катода 5 была перпендикуларна касательной в этой точке поверхности, так как электроны вылетают с поверхности катода 5 перпендикулярно касательной к ней

5256 4 в данной точке, и прн таком условии имеет место оптимальное воздействие потока электронов на поверхность оболочки, обеспечивается максимальная чувствительность.

В качестве пробного газа служит атмосферный воздух, что упрощает процесс контроля.

Предлагаемый способ легко реализуется в условиях производства электровакуумных приборов с использованием имеющегося оборудования при незначительной его доработке, например, C на конвейерной машине алвиинирования, ю при этом простота и высокая производительность способа позволяют использовать его в условиях поточного производства без снижения производительности производственного процесса.