Многоступенчатый диффузионный ртутный насос

 

,Я 135175

Класс 274, 3<))

42к, 12

СССР

l

-@-- -ОПИСАНИЕ ИЗОБФЕЛНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

//ОЙ:,! с И<1.<< c/)!/П77<< <о /29

А А. Перцев и Ф. И. Бутаев

МНОГОСТУПЕНЧАТЫЙ ДИФФУЗИОННЫЙ РТУТНЫЙ НАСОС .1аивлеио 30 марта !969 Г.:sa ¹ 623636/26 в !<;о«итет ио делам ив<и)рот« )<и и открытий ири Говете Мики<тров ГГГ!а !

1и««)

< !зВестныс конс)1) ц1!и ыноГОступ< нчатых дифф1 зим)1)1ых p) 3 Г1)ы < насосов, та!ежа как и тсрмопарных манометров для косвенного изб!срсния давления Откачивасмых газов с предварительным их сжа1исм, не позволяют искл)очить влияние форвакууMHol давлс ния иа показания манометра.

Предлагаемый диффузионный ртутный насос Во)н>ден <тг этог«

1)cäîñòàòêа, а конструкция его упрощается.

В отличие от применяемых, диффузионный ртутный насос Выполнен с новым присоединением тсрмопарного манометра, 1)ричсм последний присоединен мс.жду диффузионной и эжскторной ступ.)гями насоса.

На чертеже изображена схема компоновки отд<сл)и!ых час"Гсй стписывасмого насоса. Насос состоит из подогревателя 1, корпуса 2, наро!!роВода 8, двух эжскторов 4 и 5, диффузионного сопла 6 1! выхлопной тру бы 7. Термопарный манометр 8 подсоединен между диффузиониои и эжскторной ступенями насоса Газ из откачивасмого объема попадает. на Вход в насос, захватывастся струей паров ртути, выходящей из диф-! рузионнОГО сопла 6> и сжимастсЯ. Сжатый Газ засасыВаетсЯ cIIBчалс) эжектором 5, затсм эжсктором 4 и по трубке 7 выбрасывается в фор

Вакуумную систему, Давление газоь между диффузионным соплом и эжсктором 5 оказывается пропорциональным давленчпо в откачиваемом объеме, т. е. на входе в насос. Коэффициент IIpollopHII<)IIB.II IlocTI! опредслястся Отношением расхода НВсосВ (В .2/сек) к расходу эжектОра (В .7/сек) . Тогда, измеряя давления в насосе между диффузионнои l! эжек торной ступенями, судят о давлснии В откачиваемом объсмс.

Предмет изобретения

Многоступенчатый диффузионный ртутный насос с тсрмопарным манометром для косвенного измерения давления откачива Mblx газов, О т л и ч а 10 щ и и с я тсм, что, с цель!0 исключения Влияния срорвакуумного давления на показания термопарного манометра, последний подсо<динсн между диффузионной и эжекторной ступенями насоса.