Система автоматического управления вакуумной установкой

 

(54) СИСТЕМА АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРАВЛЕНИЯ

ВАКУУМНОЙ УСТАНОВКОЙ

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к системам автоматического управления вакуумнь< ми установками.

Наиболее близкой к изобретению является система автоматического управления вакуумной установкой, содержащая, входной и выходной управляемые вентили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, связанный с регистрирующей, сигналиэирующей и командной аппарату" рой воздействия на вентили (l )i

Недостаток известной системы, автоматического управления - невысокая надежность, обусловленная наличием трех отдельных каналов контроля режима работы диффузионного насоса, по давлению, расходу воды и электропитанию.

Целью изобретения является ловы. шение надежнс>сти системы автомати1 ческого управления при выполнении датчика давления радиометрическим.

Указанная цель достигается тем, что датчик установлен в зоне нагревателя диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемником инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия на входной вентиль.

На чертеже представлена схема системы автоматического управления вакуумной установкой.

Система автоматического управления вакуумной установкой содержит входной и выходной управляемые вен15 тили 1 и 2 диффузионного насоса 3 с нагревателем 4 и размещенный на форвакуумном трубопроводе 5 датчик 6 давления, выполненный радиометричес20 ким и связанный с..регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой 7 воздействия на вентили 1 и

2, причем датчик 6 установлен в зоне нагревателя 4 диффузионного на3 9 соса 3 и снабжен обоймой 8 с ïðîðåзяма 9 и приемником 10 инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия на входной вентиль 1.

Система работает следующим образом.

При установившемся нормальном режиме работы вакуумной установки обойма 8 радиометрического датчика

6 давления под действием излучения нагревателя 4 насоса 3 вращается с определенной частотой за счет радиометрического эффекта. Частота вращения обоймы определяется величиной давления в форвакуумном трубопроводе 5 и тепловой нагрузкой от нагревателя 4.Инфракрасное излучение от нагревателя 4, проходя через диаметрально противоположные прорези 9 обоймы 3, достигает приемника 10 инфракрасного излучения, регистрируется им и передается на регистрирующую аппаратуру 7.

При отклонении режима работы установки - изменении давления в форвакуумном трубопроводе, отсутствии электропитания на нагревателе или охлаждающей воды в системе охлаждения диффузионного насоса - частота вращения обоймы 8 изменяется и командная аппаратура подает сигнал на закрытие входного вентиля 1.

18577 4

Таким образом, контроль режима работы установки по давлению, расходу охлаждающей воды и электропитанию осуществляется по одному каналу, что в целом повышает надежность системы управления °

Формула изобретения

Система автоматического управления вакуумной установкой, содержащая входной и выходной управляемые вентили диффузионного насоса с нагревателем и размещенный на форвакуумном трубопроводе датчик давления, связанный с регистрирующей, сигнализирующей и командной аппаратурой воздействия на вентили, о т л ич а ю щ а я с я тем, что, с целью повышения надежности при выполнении датчика давления радиометрическим, последний установлен в зоне нагревателя диффузионного насоса и снабжен обоймой с прорезями и приемником инфракрасного излучения, связанным с командной аппаратурой воздействия на входной вентиль.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

Грошковский Я. Техника высокого вакуума. M., нМир", 1975, с. 556.

918577

Составитель В. Кряковкин

Редактор Л. Авраменко Техред Д. Бабинец Корректор С. Шекмар

Заказ 2092/14 Тираж 671 Подписное, ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, Ж-35, Раушская наб., д; 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная,4