Способ получения силана

Авторы патента:

C01B6/06 - гидриды алюминия, галлия, индия, таллия, германия, олова, свинца, мышьяка, сурьмы, висмута и полония; монобораны; дибораны; их аддитивные комплексные соединения

C01B33/04 - кремневодородные соединения

Способ получения моносилана высокой чистоты // 2129984

Изобретение относится к способу получения моносилана высокой степени чистоты, пригодного для формирования тонкопленочных полупроводниковых изделий, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения (полупроводниковая техника, солнечная энергетика)

Способ получения гидридов кремния // 2151099

Изобретение относится к области металлургии и может быть использовано при получении кремния

Способ получения силанов // 2152902

Способ получения моносилана и дисилана // 2160706

Изобретение относится к области химической технологии, в частности к получению силанов, и может быть использовано в производстве поликристаллического кремния, а также полупроводниковых структур методами газовой эпитаксии

Установка получения моносилана // 2164218

Изобретение относится к химической промышленности, в частности к устройствам для проведения гетерогенных процессов между твердым телом и газом

Способ получения моносилана из тетрахлорида кремния // 2173297

Изобретение относится к технологии получения моносилана, который может быть использован при получении особо чистого полупроводникового кремния

Способ получения силана // 2174950

Изобретение относится к способу получения силана, применяемого в полупроводниковой промышленности

Способ получения силана // 2194009

Изобретение относится к технологии получения полупроводникового кремния, а также к технологии формирования различных кремнийсодержащих слоев в микроэлектронике

Способ получения силана // 2194010

Способ получения моносилана высокой чистоты // 2214362

Изобретение относится к способу получения моносилана высокой чистоты и низкой стоимости, пригодного для формирования тонких полупроводниковых и диэлектрических слоев, а также поли- и монокристаллического кремния высокой чистоты различного назначения

Способ хранения водорода // 2125537

Изобретение относится к способам хранения газов и может быть использовано в химической, нефтехимической и нефтеперерабатывающей промышленности

Способ хранения водорода в жестких условиях // 2190571

Способ электрохимического получения мышьяковистого водорода // 2203983

Изобретение относится к области неорганической химии, а именно к способу получения мышьяковистого водорода

Способ получения высокочистого гидрида германия (варианты) // 2230830

Изобретение относится к получению германийсодержащих материалов и касается разработки электрохимического способа получения высокочистого гидрида германия, пригодного к использованию в качестве источника германия в технологиях микроэлектроники

Способ хранения больших количеств водорода // 2259938

Способ получения газовой смеси, содержащей арсин или фосфин, и устройство для его осуществления // 2036832

Способ извлечения водорода из газовой смеси // 190352

Способ очистки неорганических гидридов и хлоридов полупроводниковых материалов // 417377

Способ очистки летучих неорганических гидридов // 1004259

Способ очистки летучих гидридов // 1032708