Раствор для избирательного травления меди
Изобретение относится к химической обработке меди, в частности к раствору для избирательного травления меди в структуре: медь - никель - молибденовый сплав - легкоплавкое стекло, и может быть использовано в радиоэлектронной и злектроприборостроительной промышленности Цель изобретения - повышение скорости травления меди и снижение растравливания подложки. Травление слоя меди на никель-молибденовом сплаве проводили в растворе, содержащем, г/л: персульфат аммония 150-300; гир.рат окиси аммония 270-450 и хлористый аммоний 12-50. Выбранное соотношение компонентов обеспечивает повьшение скорости травления меди в 2-3 раза по сравнению с известным раствором. 1 табл. с S 00
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИН
„„SU„„1301870 (.51) 4 С 23 F 1/18, 1/00 (Л
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3855020/22-02 (22) 05.02.85 (46) 07.04.87, Бюл. У 13 (71) Производственное объединение Краснодарский ЗИП" (72) В.Е. Епанешникова и Л.Н. Молчановская (53) 621.793.42(088.8) (56) Попилов Л.Я. Советы заводскому технологу. — Л.: Лениздат, 1975, с. 181-182. (54) РАСТВОР ДЛЯ ИЗБИРАТЕЛЬНОГО ТРАВЛЕНИЯ МЕДИ (57) Изобретение относится к химичес- . кой обработке меди, в частности к раствору для избирательного травления меди в структуре: медь — никель— молибденовый сплав — легкоплавкое стекло, и может быть использовано в радиоэлектронной и электроприборостроительной промышленности. Цельизобретения — повышение скорости травления меди и снижение растравливания подложки..Травление слоя меди на никель-молибденовом сплаве проводили в растворе, содержащем, г/л: персульфат аммония 150-300; гидрат окиси аммония
270-450 и хлористый аммоний 12-50.
Выбранное соотношение компонентов обеспечивает повышение скорости травления меди в 2-3 раза по сравнению с известным раствором. 1 табл.
1301870 2
Изобретение Ьтносится к химической мешивания раствора добавляют воду до обработке меди, в частности для изби- расчетного объема. рательного травления меди в структу- II р и м е р. Проводят избирательре: медь — никель-молибденовый сплав — ное травление меди в структуре: медь легкоплавкое стекло. толщиной 50-60 мкм — резистивная фольЦелью изобретения является повыше- га толщиной 3-10 мкм. Проводят также ние скорости травления меди и сниже- сравнительные испытания растворов для ние растравливания подложки, избирательного травления меди с поРаствор готовят обычным способом, верхности никель-молибденовой фольги а именно растворяют в воде (1/2 объе- 1О при изготовлении прецизионных фольо ма) при 20-30 С персульфат аммония, говых резисторов на подложке из легдобавляют расчетное количество 25%-но- коплавкого стекла. го раствора аммиака и затем расчетное количество хлористого аммония, Результаты испытаний представлены
После растворения последнего и пере- 15 в таблице.
Скорость растворения
Условия
ÑîñСодержание компонентов травлео ния, С тав никельмолибдестекла, г/см мин меди, мкм/мин нового сплава, мкм/мин
1. 10
1* (NH ) 8 0 75 г/л
NH 4OH 375 мл/г
1 „10-з
17-19 1,6-2,0
9 10
17-18 0 5-0,7
2 (NH ) 8 0 35%
Избыток аммиака
3 (NH ) т S Oв 250 г/л (50 вес.ч.)
ОН ОН 745,5 г/л (25 -ный ра-(до рН 9) створ) (5-6) 10 з (5-7) . 10
3-4
250 r./ë (50 вес.ч.) NH Cl
150 г/л
270 г/л (NH ),s,oà, NH OH (25 -ный раствор) 2 10
5 ° 10 а
17-18 4-5
12 г/л
NH Cl
Вода
До 1 л
8 0
6 10
300 г/л
450 г/л
17-20 6-8 (NH4 ) 2 S2 08 . NHÄOH (25 -ный раствор) 50 г/л
NH 401
Вода
До1л
1301870
Продолжение таблицы
Скорость растворения
G0cУсловия
Содержание компонентов тав травления, С стекла, г/см - мин никельмолибденового меди, мкм/мин сплава, мкм/мин (ИН)БО
NH4 оН (25%-ный раствор)
NH Cl
200 г/л
360 г/л
25-30 9-10
5 104
2*10
24 г/л
До1л
Вода (NH„) S,0s
NH „ОН (25%-ный раствор) 200 г/л
360 г/л
1 104
25-30 2-4
1ю10 3
10 г/л
NH Сl
Вода
До1л (ын ),s О, NH4OH (25%-ный раствор) 200 г/л
I г/л
360
25-30 8-9
6 10
5 10
60 г/л
ЫН Сl
Вода
До 1 л
140 (m4), s, o, г/л
260 г/л
NH OH (25%-ный раствор)
ЛН Сl
2-3
10 г/л
Вода До1л
320 г/л
500 г/л (NH ) S2 Os
NH 4oH (25%-ный раствор) 5-6
60 г/л
NH Сl
Вода
До 1 л
*Примеры 1-3 известных ранее составов; примеры 4-6 предлагаемого состава, пример 6 является оптимальным составом, 7-10 — примеры растворов с запредельными значениями содержания компонентов.
L i
Как следует из таблицы (пример 8), NH C1. не влияет на скорость травления дальнейшее увеличение содержания меди. но в то же время намечается тен130I 870
6 ормула изобретения
Составитель В. Олейничелко
Техред М. Ходанич Корректор И. Самборская
Редактор С. Пекарь
Заказ 1194/28 Тираж. 937 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 денция роста скорости растворения легкоплавкого стекла.
Сравнительные испытания по скорости растворения меди, сплава и легкоплавкого стекла известного (пример 3) и предлагаемого растворов показали, что при использовании предлагаемого раствора повышается скорость растворения меди в 2-3 раза при уменьшении расхода NH Cl в 10 раз и 257-ного 10
NH„0H в 2 раза.
В результате повышения скорости растворения меди повышается производительность труда при селективном 15 удалении меди с поверхности из никель-молибденового сплава.
Раствор для избирательного травления меди преимущественно с подложки из никель-молибденового сплава и легкоплавкого стекла, содержащий персульфат аммония, гидрат окиси аммония и хлористый аммоний, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повьш ения скорости травления меди и снижения растравливания подложки, он содержит компоненты в следующем соотношении, г/л:
Персульфат аммония 150-300
Гидрат окиси аммония (257) 270-450
Хлористый аммоний 12-50
