Устройство для измерения толщины слоев многослойной движущейся полимерной пленки

 

Изобретение относится к изме|эительной технике. Цель изобретения - повышение точности измерения. Широкополосное электромагнитное излучение от источника 1, модулированное по амплитуде модулятором 2, попадает на линзу 3 конденсатора. После этого параллельный пучок проходит через контролируемую пленку I5 и линзой 4 конденсатора фокусируется на щель 5. Прошедший через щель 5 пучок разделяется светоделителем 6 на два. Часть пучка отражается от поверхности светодечителя 6 и формирователем 10 пучка излучения направляется последовательно на интерференционный фильтр с ICt /4

СООЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

1 А1 (19) (11) (5D 4 С Îl В 11/Об

1 :

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОбРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3898807/25-28 (22) 22. 05. 85 (46) 15. 04. 87. Бюл. 11- 14 (71) Киевский государственный университет им. Т.Г.Шевченко (72) А.И.Березовчук, В.Е.Погорелов, В.И.Скаржинскас и B.Ê.Ракаускас (53) 531.715.27(088.8) (56) ЕВП, заявка 1(- 0082007, кл.. С 01 В 11/06, опублик. 1985.

Патент Японии Р 58-9362, кл. G 01 В 11/Об, 1983. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ И31ПИРЕНИЯ ТОЛЩИ-

Hbl СЛОЕВ МНОГОСЛОЙНОЙ ДВИЖУЩЕЙСЯ ПОJIHMEPH0A ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике. Цель изобретения повышение точности измерения. Широкополосное электромагнитное излучение от источника l,.модулированное по амплитуде модулятором 2, попадает на линзу 3 конденсатора. После этого параллельный пучок проходит через контролируемую пленку 15 и линзой 4 конденсатора фокусируется на щель 5.

Прошедший через щель 5 пучок разделяется светоделителем 6 на два. Часть пучка отражается от поверхности светоделителя б и формирователем 10 пучка излучения направляется последовательно на интерференционный фильтр

1 303816 вано для контроля толщины отдельных сло е в мно го слойной полимер ной пл е нки в процессе ее производства в химичес- 5 кой, радиотехнической и электронной промышленности.

Цель изобретения — повьппение точности измерения за счет исключения ошибок, вызванных тем, что на пути

f0 пучков с разными длинами волн могут оказаться участки с разной толщиной контролируемого слоя, когда неконтролируемая запыленность или дефект на

15 пути одного из пучков понижает точность измерения.

На чертеже изображена принципиальная схема предложенного устройства.

Устройство содержит последовательно расположенные источник 1 широкопо20 лосного электромагнитного излучения, модулятор 2, конденсатор, включающий линзы 3 и 4, щель 5, светоделитель 6, формирователь 7 пучка излучения, HH 25 терференционный фильтр 8, фотоприемник 9, расположенные на пути пучка, прошедшего через светоделитель 6, второй формирователь 10 пучка излучения, интерференционный фильтр 11, второй фотоприемник 12, расположенные на пу30 ти пучка, отраженного от светоделительной грани светоделителя б блок

13 обработки сигнала и регистрирующий блок 14.

Устройство работает следующим образом.

11 и фотоприемник 12. Фильтр 11 выделяет излучение с длиной волны, которая попадает II спектральную область поглощения излучения контролируемым слоем пленки 15. Сигнал на входе фотоприемника 12 зависит от толщины контролируемого слоя пленки 15. Другая часть пучка проходит через светоделитель 6 и формирователь 7 пучка излучения, через интерференционный .фильтр 8 и попадает на фотоприемник

9. Фильтр 8 выделяет в потоке излучение с длиной волны вне спектральной области поглощения излучения контроИзобретение относится к измерительI ной техйике и может быть использолируемым слоем пленки 15. Сигнал на. выходе фотоприемника 9 зависит от ослабления потока другими слоями, отра жения и рас.сеяния полимерной пленкой

15 падающего на нее излучения и не зависит от толщины контропируемого слоя. Сигналы с фотоприемников 9 и

12 попадают в блок 13 обработки сигнала одновременно и несут информацию об одном и том же участке пленки 15.

С выхода блока 13 обработки сигнал, пропорциональный толщине контролируемого слоя, выводится на регистрирующий блок 14. 1 ил.

Широкопопосное электромагнитное излучение от источника 1, модулиро,ванное по амплитуде модулятором 2, попадает на линзу 3 конденсора.

После этого параллельный пучок IIpoxoдит через контролируемую пленку 15 и линзой 4 конденсора фокусируется на щель 5. Прошедший через щель 5 пучок разделяется светоделителем б на два. Часть пучка отражается от поверхности светоделителя б и формирователем 10 пучка излучения направляется последовательно на интерференционный фильтр 11 и фотоприемник 12.

Фильтр 11 выделяет излучение с длиной волны, которая попадает в спектральную область поглощения излучения контролируемым слоем пленки 15.

Сигнал на входе фотоприемника 12 зависит от толщины контролируемого слоя пленки 15. Другая часть пучка проходит через светоделитель 6 и формирователь 7 пучка излучения через интерференционный фильтр 8 и попадает на фотоприемник 9. Фильтр 8 выделяет н потоке излучение с длиной волны вне спектральной области поглощения излучения контролируемым слоем пленки

15. Сигнал на выходе фотоприемника 9 зависит от ослабления потока другими слоями, отражения и рассеяния полимер. ной пленкой 15 падающего на нее излучения и не зависит от толщины контролируемого слоя.

Сигналы с фотоприемников 9 и 12 попадают в блок 13 обработки сигна1303816

Формула изобретения

Составитель Л.Лобзова

Техред Н.Глущенко Корректор С Черни

Редактор М.Келемеш

Заказ 1295/39 Тираж б78 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, I.. Ужгород, ул. Прректная, 4 ла одновременно и несут информацию об одном и том же участке пленки 15.

С выхода блока 13 обработки сигнал, пропорциональный толщине контролируе- . мого слоя, выводится на регистрирующий . 5 блок 14.

Таким образом, устройство позволяет измерять толщину отдельных слоев движущейся многослойной полимерной пленки 15.

Устройство для измерения толщины

f5 слоев многослойнойдвижушейся полимерной пленки, содержащее последовательно расположенные источник широкополосного электромагнитного излучения, модулятор, конденсатор, формирователь пучка излучения, фотоприемник, блок обработки сигнала и регистрирующий блок, интерференционные фильтры, один из которых предназначен для выделения излучения в области полосы поглощения контролируемого слоя, а другой— в области его прозрачности, о т— л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности измерения, оно снабжено светоделителем, установленным между конденсором и формирователем пучка излучения, вторым формирователем гучка излучения и вторым фотоприемником, последовательно расволоженными на пути пучка, отраженного от светоделительной грани светоделителя.