Стекло
Изобретение относится к производству стекол, предназначенных для использования в микроэлектронике для герметизации микросхем, С целью снижения температуры размягчения и повышения коэффициента термического расширения и водостойкости стекло . содержит, мас.%: SiO-2. 13-18; 5,5-9,5; 6-8; PbO 60,5-64,5; ZnO 4-6; SnO2 1-2; ZrOg 1-2. Температура размягчения стекла- 430+10 С, водостойкость (потери массы) 0,05- 0,07%, коэффициент термического расширения (60±2) 10 / 1/град. 2 табл.
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (19) (11) А1 (511 4 С 03 С 3/074
3 руg)
Ц ф, /3 . " »oreö
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3685120/29-33 (22) 04.01.84 (46) 30.05.87. Бюл. 1(1 20 (71) Белорусский политехнический институт (72) И,К.Немкович, О.В.Невар и А,И.Зинович (53) 666.112.7(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
Ф 633831 кл. С 03 С 3/072, 1977, Заявка Японии Р 56-5350, кл. С 03 С 3/30, 1981. (54) СТЕКЛО (57) Изобретение относится к производству стекол, предназначенных для использования в микроэлектронике для герметизации микросхем. С целью снижения температуры размягчения и повышения коэффициента термического расширения и водостойкости стекло содержит, мас.%: SiO 13-18; ВдО
5, 5-9, 5; А1д 03 6-8; РЪО 60, 5-64, 5;
ЕпО 4-6; ЯпО д 1-2; ЕгО 1-2. Температура размягчения стекла 430+10 С, водостойкость (потери массы) 0,050,077, коэффициент термического расширения (60+2) 10 . 1/град. 2 табл.
13817
1 l3
Изобретение относится к производству стекол, предназначенных для использования в микроэлектронике для герметизации микросхем.
Цель изобретения — снижение температуры размягчения и повышение коэффициента термического расширения и водостойкости.
Составы стекол представлены в табл. 1.
Продолжение табл.1
5 0 5,5 4,0
ZnO
6,0
ZrO
1,0 1,0 2,0
1,0 2,0 1,0
1,5
SnO г
1,5
Таблица 1 компонентов, таве
15,5 13,0 13,0
5,5 7,5 7,5 9,5
7,0 8,0 8,0 6,0
62,5 60,5 64,5 62,5 г0э
PbO
Таблица 2
Показатель
Состав
4 Прототип
Кристаллизацнонная способность
Не кристаллизуются
Температура размягчения, С
430+10 430+10
Коэффициент термического расширения, 10 1/град
60+2
60+2
60+2
60+2
55+1
0 05
0,07 0,16-0,19
0,05
0,08 .
Полная растекаемость и хорошая адгеэия к подложке
Не расплав ляется
Ф о р м у л а и з о б р е т е н и я компонентов
Стекло, включающее SiO, В 0
23 г 31
А1гОэ, Pb0, ZnO, SnO, о т л и ч а юе е с я тем, что, .с целью снижения температуры размягчения и повышения коэффициента термического расширения и водостойкости, оно дополнительно содержит ZrOä при следую13-18
5,5-9,5
6-8
60,5-64,5
4-6
1-2
1-2
Химическая устойчивость (потери массы по отношению к во де), Е
Поведение стекла на керамической подложке 22ХС после обжига при 600 С
Для варки стекол используют кварцевый песок, глинозем, борную кислоту, свинцовый сурик, оксид цинка, оксид циркония и оксид олбва.
Стекла варят при 1200+10 С в течение 0,5 ч. Стекла хорошо провариваются и осветляются и пригодны для изготовления различных изделий технического назначения методами прес20 сования и отливки, Свойства предлагаемых составов (1-3) и состава-прототипа представлены в табл. 2, 430+10 430+10 530 щем соотношении мас.7.:
S>O
BgOs
55 А1 0
Pb0
7.пО
SnO
ZrO>
