Способ получения вакуума и устройство для его осуществления

 

Изобретение м.б. использовано в криогенных конденсационных форвакуумньпк насосах. Цель изобретения - уменьшение времени достижения нредельного вакз ума. Между теплообменником (ТО) 4 предварительного охла;вдения газа и откачивающим элементом установлен промежуточный ТО 8. В сборнике 7 жидкого конденсата размещен второй трубчатый ТО 9, сообщенный с сосудом.3 для хладагента трубным пространством 10. Криогенный насос 1I подключен к пространству 10 и сосуду 3. Предварительно охлаждают откачиваемый газ в ТО 4, а затем до т-ры насьш1ершя в ТО 8, конденсирлтет его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем конденсат охлаждают до т-ры хладагента в сосуде 3. ТО 9 интенсифицирует охлаждение конденсата и уменьшает испарение газа с поверхности конденсата. 2 с,п. (Ь-льи i ил. о (Л . насосу ХМент1 jfoftffeHCffm 1 Капеао I - ,/i СО со со 00

haft"

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

А1

„„SU„„1344938! о11 F 04 В 37/08,.|Ъ| |Ч:Ъ || р

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н Д ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

I | ,;,.|. !

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4057608/25 — 96 (22) 18.04.86 (46) 15.10.87. Бюл. Ф 38 (72) A.N.Ìàêàðîâ, В.И,Куприянов, В.Н.Савельев, Б.А.Немчинов, Г.И.Сай— цаль и А.К.Жебровский (53) 621.528.3(088,8) (56) Холод Ю.В..и др, Криогенные форвакуумные насосы. Вопросы атомной науки и техники. Сер. Общая и ядер— ная физика, вып.2 (2). Харьковский государственный университет, 1978, с.30-36. (54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ВАКУУМА И УСТРОЙСТВО ДЛЯ, ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ (57) Изобретение м.б. использовано в криогенных конденсационных форвакуумных насосах. Цель изобре— тения — уменьшение времени достижения предельного вакуума. Между теплообменником (T0) 4 предварительного охлаждения газа и откачивающим элементом установлен промежуточный ТО 8.

В сборнике ? жидкого конденсата размещен второй трубчатый ТО 9, сообщенный с сосудом 3 для хладагента трубным пространством 10. Криогенный насос 1 подключен к пространству

10 и сосуду 3. Предварительно ох— лаждают о-качиваемый газ в ТО 4, а затем до т-ры насыщения в ТО 8, конценсируют его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем конденсат охлаждают до т-ры хладагента в сосуде

3. ТО 9 интенсифицирует охлаждение конденсата и уменьшает испарение газа с поверхности конденсата, 2 с,н. ф-лы, 1 ил.

1344938

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в криогенных конденсационных форвакуумных насосах.

Целью изобретения является уменьшение времени достижения предельного вакуума.

На чертеже изображено устройство для реализации предлагаемого спосо- 10 ба получения вакуума °

Устройство для получения вакуума содержит корпус 1 с всасывающим патрубком 2, размещенный в корпусе 1 сосуд 3 для хладагента, последовательно 15 расположенные по ходу откачиваемого газа теплообменник 4 предварительного охлаждения газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника 5, межтрубное про- 20 странство 6 которого сообщено с сосудом 3, и сборник 7 конденсата, причем устройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник 8, установленный между теплообменником 4 предварительного охлаждения rasa и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник 9, размещенный в сборнике 7 жидкого конденсата и сооб:ценный с сосудом 3 трубным пространством 10, и подключенный к последнему и сосуду 3 криогенный насос 11.

Способ получения вакуума осуществляют следующим образом.

Предварительно охлаждают откачи- З5 ваемый газ в теплообменнике 4, конденсируют его на поверхности откачивающего элемента и собирают конденсат в сборнике 7, причем охлаждают откачиваемый газ до температуры насы- 40 щения, а. конденсат охлаждают до температуры хладагента, При работе сосуд 3 и межтрубное пространство 6 теплообменника 5 заполняют хладагейтом, охлаждая отка- 45 чивающий элемент, а также теплооб— менник 4 предварительного охлаждения, промежуточный теплообменник 8 и второй трубчатый теплообменник 9. Включают криогенный насос 11,хладагент 50 начинает циркулировать внутри сосуда

3. Температуру хладагента. в сосуде

3 понижают до рабочего значения, Соединяют камеру с форвакуумным насосом (не показан). Газ из камеры по- 55 ступает во всасывающий патрубок 2 и предварительно охлаждается в теплообменнике 4 предварительного охлаждения газа, а затем охлаждается до температуры насыщения в промежуточном теплообменнике 8„ Попадая в откачивающий элемент, газ конденсируется и стекает в сборник 7 конденсата.

Во время откачки конденсат стекает в сборник 7 при температуре насьпцения. По мере снижения давления rasa в устройстве температура пленки конденсата понижается. Одновременно уменьшается масса конденсата, образующегося в откачивающем элементе. Теплообменник 9 интенсифицирует охлаждение конденсата в сборнике 7 до температуры хладагента в .сосуде 3, снижает испарение газа с поверхности конденсата, В результате уменьшается время достижения предельного вакуума.

Формула изобретения

1. Способ получения вакуума путем предварительного охлаждения откачиваемого газа в теплообменнике, конденсации его на поверхности откачивающего элемента и сбора конденсата, отличающийся тем, что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, охлажде1 ние откачиваемого газа осуществляют до температуры насыщЕния,, а конденсат охлаждают до температуры хладагента.

2, Устройство для получения вакуума, содержащее корпус с всасывающим патрубкам„ размещенный в корпусе сосуд для хладагента, последовательно расположенные по ходу откачиваемого газа теплообменник предварительного охлаждения газа и откачивающий элемент, выполненный в виде трубчатого теплообменника, межтрубное пространство которого сообщено с сосудом, и сборник конденсата, о т л ич а ю щ е е с я тем„ что, с целью уменьшения времени достижения предельного вакуума, устройство дополнительно содержит промежуточный теплообменник, установленный между теплообменником предварительного охлаждения газа и откачивающим элементом, второй трубчатый теплообменник, размещенный в сборнике жидкого конденсата и сообщенный с сосудом трубным пространством,и подключенный к IIoc леднему и сосуду криогенный насос,