Способ бесконтактного контроля качества обработки поверхности оптических деталей и устройство для его осуществления
Изобрег(М1ие oi носится к измерительно ге.хннке, связанной с оценкой качества иовер.хностн испытуемых онтичсч ких .чс талей на основе рефлектометрическпю ii.uie- реиня параметров отраженного от поверхности детали света. Це.1ыо изобретения яв- . 1яется повышение нронзводшхмьностн и точности коит|1о,1Я качесгва обрабогкн поверхности оптических дета.1ей. N cTpoiicTiid д.я реа. шзацин сиособа бесконтактного конг)о. качества обработки новерхносги оптических дета.1е11 содержит источник света (на чергеже не показан), двояконреломляюшую нрнзму I, К.1ИНОВНДНЫЙ дефлектор 2, гибкую .тенту 3, диск 4, фотоирнемннк 5, кронштейн 6, диск 7, cTO. iHK 8, эта.юн 9, .HMI- ты И), II, диск, сто, 1нк 13, фотонриемник 14, кронштейн 15, днск, .шмб 17, дисковый модулятор, двигате.1ь и нрнемно-регнетрирующий узе.ч. По.тярнзуюг световой пучок ориентируют н.юскосгь ио.1ярнзац|1и светового пучка в двух взаимно нерненднк}- лярных Р II 5-наг1рав.1еннях. направ.ипо световой пучок на контро.шруомую дета.и. 21 и эталон 9 под разными уг.тамн иа.чення. /4 S (Л со О ГчЭ ts2 О фигЛ
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
А ) „„SU„„1352201 (5)) 4 С) 0(В I I 30, < й)с
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
< <
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР
RO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ
К А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3587598/24-28 (22 ) 26.04.83 (46) 15.11.87. Б)0,1. ¹ 42 (71) Кнс!)ский государственный университл ич. Т. Г. 111евчснко (72) П. И..1розд, „1. В. !1«исрсик« и 13. А. ((13Йк(вич (53) 531.715.27(088.8) (56) Ильи! Р. С, Н«ви!!кии А. М., Зчбарсв В. Е. Г«чс и !ок .А. (.,1;1()op3 Top ll »lc
«птичсскис приборы, М.: Ма!Ниьн)строение.
1!)79, с. 91 - 96.
1 «р(»)нь Н. Я.,:1 ро )д П. И., Поисрснh(), 1. В., Храпко А. В. Гониочетрическая приставка к эг!линсометру. -- Известия вузов СССР. Физика, 1979, ¹ 9, с. 99—
100. (5-! СПОСОБ БЕСКОНТАКТНОГО КОНТ-!
)(). 1Я КАГ! Е(.ТВА ОБРАБОТКИ (IOBF PX(10(.Т((ОП 1 Ис!(=СКИХ,1ЕТА.(ЕЙ И УСTРОПСТВО .1,Г)Я ЕГО ОСУШЕСТВЛЕНИЯ (57) И:3обр l(ние oтll«cится к изчеритель-! I0!I TCXIE IIhC, I3H 3 I!El!0é с оценкой качестВ3 II« E3(PX IEOCTIE !! Си Ы !ЧС<1Ы (« li Гll I((КИ < . !(.
Таг! еИ 113 O(. EIOE)C pC(t), I(. кТ«чс Гр и 1(C h«l « ll l )l(рсния парачстров отр!)жанн«! ««г Ii«13(. р НОСТИ тстаг! И CI)CT;i. Ц(. . I »10 11.3«() f)(Г ill! EI Я!!ляется El«I)hlllICIEEI(lif)«II 313«ди гс. (ьн«(гll il т(»Il0(. Tll l(0IITp«, I)I f)(< I.1113
hH÷ñë â3 обработки ио!3ср(ио(! II «IITllчсски. Д(.Т;1.)СИ (. ОДСРЖИТ !!СТО 1НИ К СВ T, 1 (113 l(<Р Г(Ж(. Ii(. llоh333 Н ), ДВОЯhоl!P(.,10 (I, I Я К) I!EЧК) II!) IIЗ— чч 1, E(. IIIIIOE)II ),Í»EÉ дефлсктор ), I ll()I<) 10 л(llТ1 3. диск 4, фотоирисмник 5, яр«ни!тсйн 6, диск 7, столик 8, Вт3ëîí 9, л(11 ты 10, 11. диск, столик 13, (()nTOIII)II(»ник 14, кронштейн 15, диск,, IIIXI() 17, дисh 0 E3 bl Й ч 0 E< .1 ß ò 0 P . 1 В и г 3 т(< Гl » I I I l P 11(. ) I l « - P (<гистриру!О!НИЙ узел. Поляризуl«l lieò(н)«й иучок ориентируIOT Il. IOCêî и ll«,1)! f)II:3«IIIIIII 13(— тоного пучка в дву.; и 3 3T3.!Oil 9 IIO E p;I 3Н ы ч и чl. 13)I II II;I (синя. 1352201 Hзмсря!от всличипы и)пенсивностсй отраженного (>т поверхности детали 21 света для этих;(вух поляризовапных пучков, ollpe;(e,I RIOT oT)!of!! IlH(. HX HflTeHCHBH0CT(й:(IH р33lit>I X у Г. 1ОВ па (си И я С 13(>ТОВОГО и ТЧ Кы 113 KOIITролируемук) деталь 21 и этылои 9, световой П>> сloK Рс{С{ЦЕII,IßIOÒ IIH .133 !1МЧКЯ СО 1333 И м Н О - O p TO f O H 3,1 Û J 0 I3 1101 51 () J>03 H (H e È, 0 д И и I t B которых направляют )13 коптролирусму)о деталь 21, а другой -- пы эгалои 9, и ollpE. (сляют ol ltolflellHE интенсивности Р-полярп 30В си{1{ОГО CB(ÒOBO) 0 П С Ч КЯ, OTP3 iKef{ )IOI 01 к<н)тролирус.мой летали 21, к пптеп«ивпости И 30()perefiHe относится к измерительной тсхппкс, связанной с оценкой кычествы поВ(P YflOCTH ИСПЫТЪ(. >{ЫХ ОПТИсlЕСКИХ ДСТЯ:{СИ IIH ocfloI3e рефлсктомстрического измерения IIHp(iY1Eтров 01 ражснного от поверхности деГЫ,1И С ВСТЯ. Целью изобретения является повышсппс IIp0HзВ0д)пс IhlI0cTH и точности контроля качссгва обработки поверхности оптических дсTfiËСЙ. Н;1 )Hl . 1 изображена llj7HHI(HIIHH,!ьныя с;см );(ля ÎE ущсствлспия cllo(. Обсl 0(СKО)JТсl КТIIОJ о Коf{Тр0.1я КЯ IC(ТВHO()pа— б(пкп повсрхпо Tlf о!ппческих (стdëñé; пы фп!.. 2 то жс, 13ид сверху. ) (. 1 роЙс ГB<);1,,1я oc Iц(>стВ,{епия спосооя (>ecKo» 1 JK I НОГО Ko«Tpo,!51 кычест!33 0()p3001 ки по!{срхпо TH онтичсских деталей содержит ucr<)>If! 1tH света { не показан), двоякопреломляк>п(ую призму 1, клипови (пый дефлектор 2, гпбю lo ленту 3, диск 4, фо)опри >J Il Jt J< 5, l Осуществляется способ с помощью прсд l<)iK(.HHîãî устройства следующим образом. Ны столики 8 и 13 устанавливают эты,toll 9 и контролируемую деталь 21. Поворотом призмы 1 вокруг оси 00 устанавлива!от B одном пучке плоскость поляризации света в П-плоскости коптролируемой ;(стыли 21, па которую он падает. 8-)н>ляризовынного светового пучка, отраженного от эталона 9 для разпыпх углов падеIIH5I, поворачивают два пучка со взаимно ортогональной поляри:{яциеи Hd 180, опре(еляюг отис>шения интенсивности S-поляриЗОВс11111010 СВ(>TOBOI ПХ ЧКс3, OTPH)KCHНОГО ОТ контролируемой летали 21, к интенсивности 1 -поляризованного свс товогÎ пучка, отра.ксппого ос эталона 9 для тех жс углов падсппя свесы, определяют максимальную разНОСТЬ этих двуX ОтПО{ПСНИЙ И С уЧЕтОМ ЭТОЙ рсl:3110("I I! О!((> I{3 Вс1К)Т Kы Ч(>СТВО обраООТI< И. 2 ил. При этом направление поляризации второго пучка câåòà совпа;(аст с S-п locкостьк) эталопа 9. Затем поворачивают призму 1 и измеряют отпоп!ение Hkl5 тснсHBHocTH S-поляризованного светового пучка, отраженного от контро,!Нрусмой )стали 21, к иптснсив Ост Р-по IHpHBOB3tllloro пучка, огражепиого от эталона 9. За счет лс!п 3 п 11 при работс .(Впгытсля 19 Оосспе IHIÇHIOT поворот в про JIBolloложиых Ildllpc1l3, I(>пИ51Х . (ИСК013 4 И 16 J!3 0.1ИНЯ КОБЫ Й М! 0 1, В .(BJI РЗЗ3 Оо,)ЬП)И И, ЧС М МI О, 1 ПОВОpO I J 1I3 Kof3 7 Jl 1 2 (H <. B5133 II Il k (. 1111xl lJ столиков 8 lf 13) . Ты кос соотпо)пе)IHE углов Itotiopold столиков 8 и 13 и крон-! Нтейпов 6 и 15. на которых устаповлепы фспопрп itIIJ!KJJ 5 !1 14, ооеспечиваст B процессе скапировыния ъг{ов па (efIJtkt попы(3 f1 Ht. 01 p3>Kefiflk>l X ОТ KOIIТpo )lip% <. >10!1 .(с I a IH 21 и эты IOHE) 9 пучков Eвсты EooòB TcTBellllo ны фотоприемники 5 и 14, си{Валь{ 20 когорых посгуиык)т В прием)10-рсt Jtclрирую-! ций узел 20, опрсд(»IIOII(e (нпггпопнппе пнтснсивпостей отра Kcft)lux (>т деты,!и 21 и эта,10fI d 9 tl0, ЯРизовс! пи ы х E. Bt: l of3!>I х По isfp«syfoт световой пучок, орпс птпруют плоскость поляризации E â TOBOI o пу IK(i в Qk3Y>x Взя им НО пери(и («K>,1151 () II!, Р- и . -н ыП Ра ВГ{5110)ЦИХ, HH IIP3 H, I 5{ IOT СВСТ0130)l I I \ {ОК Н Я КОНTpoËHpYE>Xfх Ю .((I I, IЬ 21 H эТ;)поl{ 9 пс):( разными углами падени51, измеряют BEлпчllиы HHTellcHBHO(гей отраженног0 от НОВерх21 <. BP I H ,1 ЯРИЗОВЯППЫХ Jl(IKOB, ОП РСДЕЛЯ!ОТ СOOTIIOIJIEние Нх и Тспси!3 Ос!(Й для разных углов падения световог0 пучка ны коптролпруемую деталь 21 и HTHлон !3. Световой пучок расщепляют па два пучка со взаимно ортогональпой поляризацией один из которых направляют на контролируемую деталь 21, а другой — на эталон 9 и определяют отношение интенсивности Р-)н)ляризовянного светового пучка, отраженного от контролируемой,1етали 21, к интенсив(,Ç;>7Þ (Фг>рщ.)а «зг>г>ре7ен«я (.о<т<1В и!с>ii,, Е. J I r>r r ir> ii;i Р< и> к> ор, !. !(ив<(iii T(Х РС.! !. (3< i>r."; Кори< к><>:, I. .! 3;.i,,»> ° 3н> (> 5 » 7(l 3 i Гнраж 677 I fr> ii. iiciir>r HI II II (ПИ Государственного ко<(итста Г.Г.(.Р iir> E« .<;><»E..r>!1»:< )< ний и r> крн T>rè I 3035, Москва, Ж -35, Р<1< i)i< каи í ll>.. < 4,> Проиаво 1ствснно-во.1нгра<ри веское предприятие. г.. <кг >ро.i. <. i I I f>r>< I> i!r;>и, 1 з ности S-.ïîëÿðèçîâàííîãî светового пучка, отраженного от эталона 9, для разных углов иалеиия, поворачивают два пучка со взаимно ортогональной поляризацией иа 180" определяют отношения иитеисив!!ости S-поляризоваииого светового пучка, отраженного от эталона 9. лля тех >ке углов падения света, определяют максимал ьиук> разность этих лвух отношений и с учетом этой разности оценивают качество обработки. 1 . С восо» 6echoif ra hTtiof o Kоитроri s3 havoc гва оора6отки поверхности Оптических дстаlcH, заключающийся В Iом, ITÎ иолярилуют световой пучок, ориеитируK)T плоскость поляризации светового пучка 13 евуx взаимио перпендикулярных Р и S-иаправлеииях направляют свето!)ой пучок иа контр()лирусму)о деталь и эталон пол разиычи углами иадеиия, илмсряк1Т величины ИЕ!1сиcиlil Hтсй отраженного от иоверхиости летали св I <) :31Я этих . jl3 > < ИО, IH(>If:30HatfHI>lx ич I ho« ll ollрелсляют отношение их иитсиси13!!Остей лля РЗЗ И 1>l. <: V Г 10 В Il3 1(И И Я < 13(.ÒOÂOÃО IIV Кa I I которочу с) лят о качестве ооработки иовсрхности .(стали, c>711««а)г>щ(71(ся тсч, чTÎ, c I!B,I«f0 повышения производительности и т()чи()с f 11 K0f3r(>0. lSt, СВСТО130!3 ff > 1133 пучка со взаим!10 ортогоиа IHIIÎII flo,Ея р из<11!и с и, 0 ill li 11« котОр ы х ив и р313, )як) Г иа коитролируемую деталь, 3 друl (>й It<1 эталон, и определяют отиошсиия ии!сис«i3I1О с T и Р - и О, 1 Я р и Л О H l I I I I О I 0 с 3 с 1 () 13 () ГО 11 V I h 3, отраженного от t(offT()0 lit())(чой 1< Г;l.Ill, h и ИТ(>И II BHOCTI! S-f1 orf sf ()11.3013<1 « IIOI (> r I>< I О«<)1 О пучка, отражеHHOIO от эт, loll;I, лля 1);I иых углов иалеиия, повора liil3<1101 .1«;! !1) !к;I со Вл I H f1 0H ИО. I и () II.<;I i;if< Ii il;I I rhi f 011() с. Ес1 Я loT Oà HO I! I(> I I lf и !Е f1 ò(I I < !i В I I()< 1 l f . - I I < >— ,1H1) li30f33 Hflof 0 сВетоВОГО Ilvrlhf От КОНтрОЛИруЕМОй Лета.!И, К ИИГс И И«ИО< r» Р-поляризованного светового II) чк;1, Отр;!жсll10 «ого от эталона I„IH T(> жс v l(>13 .!СИИ Я BE>T3, Оцр<> lorlftfOT Ч<3КС И)1;!. ЬИ) K) р;!ЛIIo(. ть этих лвух отиои!сиий и (x (сгоч агой разности оценивают ка !с< т«0 (>6р;!6 и(и ). У<троиство Осскоитакт!ГО! 0 hi)il! р<к:sl !.;— 1<. <. T В 3 О 6 р 3 О О Т h I! 110 В (. 1) | i О <. 1 I I (11! I i I I с < к и х . ц талси, со. есржащсе и(!Очиик <.«cr;i и <и!ИоЧетР, ВК IIO IIcрВогo гоииочс1ре), и !исками. I!
3 к и ! с м 3 т и ч (> <. Io I <. В я 3 3 и ы <1 с ж. 1>> (>6 () I I с 11 <>рслат(IIII>I)f отиош Illlcч 1
