Способ контроля поверхностей

 

Изобретение относится к неразрушающим методам контроля изделий оптического приборостроения и позволяет выявлять локальные дефекты на внутренних поверхностях каналов микроканальных пластин по всей их длине Способ заключается в заполнении ьйскроканалов на всю их длину нематическим жидким кристаллом СНЖЙТ под действием капиллярных сил и наблюдении излучения торцов микроканалов с помощью поляризационного микроскопа. Это позволяет визуализировать дефекты поверхности, так как излучение из торцов бездефектных каналов почти полностью гасится, а при наличии дефектов за счет дополнительной фазовой задержки наблюдается повьщ1енная интенсивность излучения торца. Для анализа картин распределения интенсивности излучения в сечении нескольких тысяч микроканалов используется ЭВМ. По окончании контроля слой НЖК удаляются из микроканалов с помощью растворителей, не вызывающих, изменений в состоянии поверхностей. 2 ил. i (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

ÄÄSUÄÄ 1383090 (51)4 С 01 В 11/30

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

IlO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,"> „

Н А ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4079278/24-25 (22) 26.06,86 (46) 23.03.88. Бюл. Ф 11 (72) З.В. Горлова, Д.К. Саттаров, М.Г. Томилин и Е.Н, Черепанова (53) 535 ° 8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1260780, кл. G 01 В 11/30, 1984. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ (57) Изобретение относится к неразрушающим методам контроля изделий оптического приборостроения и позволяет выявлять локальные дефекты на внутренних поверхностях каналов микроканальных пластин по всей их длине. Способ заключается в заполнении микроканалов на всю их длину нематнческим жидким кристаллом (НЖК) под действием капиллярных сил и наблюдении излучения торцов микроканалов с помощью поляризационного микроскопа. Это позволяет визуализировать дефекты поверхности, так как излучение из торцов бездефектных каналов почти полностью гасится, а при наличии дефектов за счет дополнительной фазовой задержки наблюдается повышенная интенсивность излучения торца. Для анализа картин распределения интенсивности излучения в сечении нескольких тысяч микроканалов используется ЭВМ. По окончании контроля слой НЖК удаляются из микроканалов с помощью растворителей, не вызывающих изменений в состоянии поверхностей. 2 ил.

1383090

Изобретение относится к неразрушающим методам технологии оптического приборостроения и может быть использовано для выявления дефектов на внутренних поверхностях каналов микроканальных пластин, Цель изобретения — появление локальных дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальных пластин по всей их длине.

На фиг. 1 приведена оптическая схема наблюдения по предлагаемому способу на фиг. 2 — бездефектный и дефектный микроканалы, заполненные жидким кристаллом.

Схема содержит источник 1 излучения, конденсатор 2, поляризатор 3, микроканальную пластину 4, анализатор 5, объектив 6 микроскопа, де- 20 фектные каналы 7 микроканальной пластины.

Для выявления дефектных каналов микроканальной пластины из баратного стекла толщиной 1-2 мм эти каналы диаметром 9,5 мкм заполняют нематическим жидким кристаллом МББА под действием капиллярных сил. Локальные дефекты внутренних поверхностей каналов создают локальные деформации однородно ориентированных молекул жидкого кристалла, которые визуализируются в поляризованном свете за счет возникающей фазовой задержки, Тогда излучение источника 1 через конценсор 2 и поляризатор 3 вводится в каналы микроканальной пластины

4, заполненные жидким кристаллом.

Излучение, проходящее бездефектный канал, почти полностью гасится на анализаторе 5, скрещенном с поляризатором 3. В случае наличия в канале дефектов излучение, проходящее через него с фазовой задержкой, проходит через анализатор 5 в объектив

45 поляризационного микроскопа 6 и наблюдается оператором.

Для анализа распределения интенсивности излучения торцов нескольких тысяч микроканалов может быть использована ЭВМ. Для этого в память ЭВМ методом сканирования торцов микроканалов вводится информация о значениях фиксируемых интенсивностей, а затем рассчитываются на полученном массиве случайных значений интенсивности моменты первого и второго порядка. Дефектные каналы обнаруживаются в этом случае при анализе распределений интенсивности просканированных каналов °

Если в микроскоп одновременно наблюдается 250 микроканалов со стороны их торцов, то с помощью ЭВМ за 3-5 мин методом сканирования наблюдается и обрабатываются 5 тыс ° микроканалов.

Слой жидкого кристалла по окончании контроля поверхностей удаляется из микроканалов с помощью растворителей, например спирта или ацетона, не вызывающих каких-либо изменений состояния контролируемых поверхностей.

Таким образом, с помощью предло-. женного способа обеспечивается ви-. зуализация дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальных пластин йо всей их длине, Формула и з о б р е т е н и я

Способ контроля поверхностей, заключающийся в том, что создают контакт поверхности с нематическим жидким кристаллои, наблюдают излучение из области контакта в оптический микроскоп, отличающийся тем, что, с целью выявления локальных дефектов внутренних поверхностей каналов микроканальных пластин по всей их длине, контакт создают путем заполнения каналов под действием капиллярных сил с ориентацией длинных осей молекул параллельно оси канала, размещают каналы вдоль оптической оси поляризационного микроскопа между скрещенными анализатором и поляризатором и наблюдают излучение торцов каналов.

1383090

Составитель А.Гусев

Техред Л.Сердюкова

Редактор С.Патрушева

Корректор M.Ìàêñèìèøèíåö

Заказ 1280/34

Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб,, д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r. Ужгород, ул. Проектная, 4