Способ изготовления поверностных

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

143088

СОюз Соеетсииз

Социалистинески»

Республин

Зависимое от авт. свидетельства №

Заявлено 17.XI1.1945 (¹ 1128/327065-24) Кл. 21с, 54/05

21", 55/01 с присоединением заявки №

Приоритет

Опубликовано 17.VII.1968. Бюллетень № 22

ИПК Н 01с

Н 01с

УДК

Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министрсв ния 19.1Х.1968 аявитель

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОВЕРНОСТНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ

СОПРОТИВЛЕНИЙ

Известен способ изготовления поверхностйых электрических сопротивлений, получаемых возгонкой сплавов в вакууме.

Чтобы увеличить удельное электрическое сопротивление и удельную мощность рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления, осажденный на ту или иную подкладку сплав из металлов, легко восстанавливаемых,,и элементов, трудно восстанавливаемых, подвергают, нагревая в соответствующей атмосфере, частичному или полному окислению, а затем — частичному восстановлению.

В результате такой обработки первоначально нанесенный на подкладку слой приобретает такое объемное сочетание металлического сплава и различных окислов в виде двух взаимно переплетенных сеток, которое обеспечивает получение сопротивления, характеризующегося значительным удельным электрическим сопротивлением и большой удельной мощностью рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления.

Для получения тонкослойных сопротивлений по предлагаемому способу могут быть использованы различные композиции, в частности состоящие из алюминия, кремния и титана (или бора) в разных пропорциях. При возгонке в вакууме сплава кремния с теми или иными металлами получается тонкий проводящий слой металлосилиция, обладающего относи гельно небольшой величиной удельного сопротивления и отрицательным значением ТКС. Под электрической нагрузкой сопротивление такого слоя приобретает большое необратимое изменение своей величины.

Для получения требуемых электрических ха рактеристик изоляционное основание .с нанесенным на него металлосилициевым слоем под10 вергают кратковременной (в течение нескольких минут) прокалке при температуре 700—

800 С в окисляющей воздушной среде.

В процессе прокалки происходит формирование проводящего слоя, состоящее в том, что

15 часть кремния переходит в его двуокись и моноокись, играющих роль изолирующей фазы своеобразного микрокомпозицпонного проводника. Появление в проводящем слое металлосилиция изолирующей фазы сопровождается

20 ростом величины его электрического сопротив ления, а обоlащение проводящей фазы металлосилиция металлом путем окисления кремния приводит к более положительному значению ТКС.

25 Теплота экзотермической реакции, возникающей между кремнием и входящими в сплав металлами (например, никелем, железом и др.), может быть эффективно использована для снижения температуры обработки

30 сплава, 143088

Предмет изобретения

Техред Л. К. Малова Корректор О. Б. Тюрина

Редактор Т. П. Ларина

Закал 2823! 1 Тираж 530 Подписное

ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр, пр. Серова, д. 4

Типография, пр. Сапунова, 2

1. Способ изготовления поверх постных электрических сопротивлений, получаемых путем юзгонки сплавов в вакууме, отличающийся тем, что, с целью обеспечения большого удель ного электрического сопротивления и большой удельной мощности рассеяния при малой величине температурного коэффициента сопротивления, осажденный на ту или иную подкладку сплав из металлов, легко восстанавливаемых, и элементов, трудно восстанавливаемых, подвергают посредством нагрева в .соответствующей атмосфере частичному или полному окислению, а затем — частичному восстановлению.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью получения заданных электрических параметров проводящего Члоя, применяют в различных пропорциях алюминий, кремний, титан (или бор), переходящие при термической обработке нанесенного, слоя частично или полностью в различные комбинации соответствующих окислов.

3. Способ по п. 1, отличающийся тем, что, с целью упрощения и удешевления технологического процесса термической обработки нанесенного поверхностного слоя, применяют композицию кремния с металлом, .например с железом, в которой в результате нагрева наЮ песенного слоя в окисляющей среде происходит реакция окисления-восстановления, вследствие чего кремний частично переходит в двуокись кремния, остальные же металлы, входящие в сплав, дают только примесь к этому

15 окислу, оставаясь в основном неокисленными.

4. Способ по пп. 2 и 3, отличающийся тем, что, с целью снижения температуры обработки сплава, используют дополнительную теплоту экзотермической реакции, возникающей

20 между кремнием и металлами, например, никелем, железом и др., входящими в сплав.