Интерферометр для проверки плоскопараллельных концевых мер

 

,% 149228. Класс 421з, 12ю сссР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ. Подписная группа № 1б4

В. П. Коронкевич, Е. И. Финкельштейн и В. П. Голубкова

ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ПРОВЕРКИ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ

КОНЦЕВЫХ МЕР

Заявлено 18 мая 1960 г. за № 667076/25 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бюллетене изобретений» № 15 за 1962 г.

Известны интерферометры для проверки плоскопараллельных концевых мер длины бесконтактным способом.

Отличительная особенность описываемого интерферометра состоит в том, что в нем применен сменный клиновой компенсатор типа ФабриПеро.

Интерферометр такой конструкции дает возможность расширить технологические возможности, т. е. может быть использован как для контроля плоскости и плоскопараллельности, так и для относительного измерения длины концевой меры.

На чертеже изображена оптическая схема описываемого интерферометра. Измерение интерферометром производится сравнительным методом IIQ образцовой мере. Лучи от монохроматического источника 1 направляются конденсатором 2 через светофильтр > на щелевую диафрагму 4, которая находится в фокусе коллиматорной линзы 5.

Пройдя коллиматор, параллельный пучок лучей через полупрозрачное зеркало 6 и стеклянную пластину 7 освещает передние измерительные поверхности образцовой и проверяемой мер 8 и 9. Концевые гаеры находятся друг от друга на расстоянии, равном их ширине, Часть светового пучка проходит через этот промежуток и посредством i.ðèçгчы 10 освещает задние измерительные поверхности концевых мер. Плос> ости пластины 7 и призмы 10, расположенные против измерительных поверхностей концевых мер, покрыты светоделительным слоем 11 серебра или алюминия.

Лучи, отраженные от передних поверхностей мер и светоделигельного слоя пластины, а также задних поверхностей и призмы, интерфсрируют. Картины интерференционных полос рассматриваются через наблюдательную систему, состоящую из объектива 12 и зрительной трубы 13 небольшого увеличения. № 149228

Отрицательная линза 14 вводится в ход лучей перед началом измерения. При этом можно видеть изображение входного зрачка, отраженного от передних и задних поверхностей концевых мер, а также от пластины 7 и призмы 10.

По виду и взаимному расположеник интерференционных полос судят о величине неплоскостности и непараллельности проверяемой меры.

Для облегчения отсчета величины наклона и ширины полос, характеризующих непараллельность меры, в фокусе объектива 15 зрительной трубы установлено отсчетное устройство 1б представляющее собою вращающуюся сетку с угломерной и линейной шкалами. Для измерения отклонений срединной длины используется источник 17 белого света, а в фокусе объектива 15 зрительной трубы вводится клиновой компенсатор 18 типа Фабри-Перо, предназначенный для компенсации разности хода. При этом в поле зрения наблюдаются интерференционные полосы переналожения в белом свете.

Отклонение срединной длины проверяемой меры от образцовой определяется по отсчетному устройству клинового компенсатора, градуированного в микронах.

Описываемый интерферометр может найти применение для контроля и относительных измерений концевых мер.

Предмет изобретения

Интерферометр для проверки плоскопараллельных концевых мер длины бесконтактным методом, отличающийся тем, что, с целью расширения технологических возможностей прибора, в нем применен сменный клиновой компенсатор типа Фабри-Перо.

77

5 777

Составитель М. А. Хесин ! едактор 3. A. Москвина Техрсд А. А. Камышникова Корректор Г. С. Мосолова

Подп. к пеи. 27.1Х-62 г. Форл ат були 70Х108 /, Объем 0,18 изд. д.

Зак. 9965 Тираж 760 Цена 4 коп.

ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Центр М. Черкасский пер., д. 2/6.

Типография ЦБТИ, Москва Петровка, 14