Молекулярный вакуумный насос осанова

 

Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики вакуум-насоса . В корпусе 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 размещен ротор. Ротор вьтолнен в виде вала 4, на котором закреплена втулка 5. Втулка 5 снабжена радиальными поводковыми пластинами 6 с пазами. В пазах размещена гибкая спиральная лента7,закрепленная одним концом на втулке 5 Вал 4 выполнен полым и снабжен патрубком 8 для подачи хладагента. Лента 7 изготовлена из высокотеплопроводного материала и снабжена сорбирующим покрытием, что увеличивает вероятность захвата молекул и способствует их преимущественной миграции в зону с более низкой температурой. 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН

„„Я0„„1432273 А 1 (51) 4 F 04 D 19/04 Ф е

g((,.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ром закреплена втулка 5. Втулка 5 снабжена радиальными поводковыми пластинами 6 с пазами, В пазах размещена гибкая спиральная лента7,вакрепленная одним концом на втулке 5>

Вал 4 выполнен полым и снабжен патрубком 8 для подачи хладагента. Лента 7 изготовлена из высокотеплопроводного материала и снабжена сорбирующим покрытием, что увеличивает вероятность захвата молекул и способствует их преимущественной миграции в зону с более низкой температурой.

2 ил. (21) 4211999/25-06 (22) 17.03.87 (46) 23.10.88. Бюл. У 39 (75) Б.А.Осанов (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 528389, кл. F 04 D 19/04, 1956, (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС

ОСАНОВА (57) Изобретение позволяет улучшить откачные характеристики вакуум-насоса. В корпусе 1 с входным и выходным патрубками 2 и 3 размещен ротор. Ротор выполнен в виде вала 4, на кото1432273

Формула изобретения

lee.2

Составитель В.Кряковкин

Техред А. Кравчук Корректор Л Патай

Редактор И,Шулла

Заказ 5408/29

Тираж 574

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5.

Г!роиэводственно-полиграфическое предприятие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Цель изобретения — улучшение от5 качных характеристик насоса.

На фиг ° 1 представлен насос, продольный разрез; на фиг., 2 — разрез

А-А на фиг. 1.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 с входным 2 и выходным 3 патрубками и размещенный в кор пусе 1 ротор, выполненный в виде зала 4, закрепленной на нем втулки 5, снабженной радиальными поводковыми 15 пластинами 6 с пазами, и размещенной в них гибкой спиральной ленты 7, закрепленной одним концом на втулке 5.

Вал 4 выполнен полым и снабжен патрубком 8 для подачи хладагента, а лента

7 выполнена иэ высокотеплопроводного материала и снабжена сорбирующим покрытием.

Насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ поступает в корпус 1 насоса через входной патрубок

2. При вращении вала 4 молекулы откачиваемого газа, попадая в зазор между витками спирали ленты 7.,переносятся к выходному патрубку 3, соединенному центральной зоной корпуса

1. Охлаждение вала 4, а также ленты

7 через поводковые пластины 6 создает на ленте 7 градиент температур ,4-,4 от периферии к центру, где она ниже, что обеспечивает уменьшение вероятности возврата молекул, попавших в зазор спиральной ленты, к периферии корпуса. Кроме того, наличие сорбирующего покрытия на ленте 7 увеличивает вероятность захвата молекул движущейся поверхностью ленты и способствует их преимущественной миграции в зону с оолее низкой температурой, т.е. в направлении откачки.

Таким образом, совокупность признаков, характеризующая предлагаемый насос, обеспечивает улучшение его откачных характеристик.

Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус с входным и выходным патрубками и размещенный в корпусе ротор, выполненный в виде вала, закрепленной на нем втулки, снабженной радиальными поводковыми пластинами с пазами, и размещенной в них гибкой спиральной ленты, закрепленной одним концом на втулке, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, вал выполнен полым и снабжен патрубком для подачи хладагента, а лента выполнена из высокотеплопроводного материала и снабжена сорбирующим покрытием.