Способ контроля фоточувствительных микросхем
Изобретение относится к методам испытаний изделий электронной техники. Цель изобретения - уменьшение времени контроля. На испытаемую микросхему подают напряжение питания. На затвор 4 подают импульсные напряжения, на затвор 3 - постоянное напряжение, превыщающее пороговое. К диоду 2 подводится синфазное с третьей фазой регистра импульсное напряжение, чем обеспечивается электрическая инжекция заряда из диода 2 под затвор 3. После вывода зарядовых пакетов через выход 7 определяют коэффициент передачи модуляции, по которому судят о пригодности испытуемой микросхемы. 2 ил.
Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано при зондовом контроле фоточувствительности микросхем с зарядовой связью на неразделенной пластине. Цель изобретения - уменьшение времени контроля. На фиг. 1 представлена схема устройства, в котором реализован способ с применением двухзатворного входа регистра; на фиг. 2 - временная диаграмма выходного напряжения на экране осциллографа. Способ контроля может быть реализован на фоточувствительной микросхеме с зарядовой связью, содержащей регистр 1 с входным диодом 2, первый входной затвор 3, второй входной затвор 4 и систему фазовых электродов 5, а также осциллограф 6, подключенный к выходу 7 регистра. Контроль осуществляется следующим образом. На затвор 4 подаются импульсные напряжения, синфазные третьей фазе регистра, состоящие из последовательности импульсов вида 1111000010101010. Hа затвор 3 подается постоянное напряжение, превышающее пороговое напряжение, для обеспечения возможности прохождения под ним зарядового пакета. К диоду 2 подключается синфазное с третьей фазой регистра импульсное напряжение, обеспечивающее инжекцию заряда из диода 2 под затвор 3. При наличии импульса напряжения на затворе 4, под ним формируется зарядовый пакет, в противном случае зарядового пакета под затвором 4 не формируется. В результате переключения фазовых электродов 5 регистра в его канале формируется последовательность зарядовых пакетов, состоящая из четырех заполненных зарядов потенциальных ям 8, четыре пустых потенциальных ям 9 и восьми чередующихся заполненных и пустых ям 10. При прохождении этой зарядовой последовательности по всей длине регистра происходит частичное перераспределение заряда между заполненными и пустыми ямами, в результате чего после вывода зарядовых пакетов через выход 7 на экране осциллографа 6 последовательность выходных импульсов приобретает вид, представленный на фиг. 2 и полностью повторяющий выходные импульсы при измерении в способе-прототипе. Величина коэффициента передачи модуляции вычисляется по отношению разности выходных сигналов, соответствующих соседним заполненному и пустому зарядовым пакетам, к их сумме. Если выходной элемент регистра содержит только входной диод 2 и затвор 3, за которым непосредственно расположены фазовые электроды 5 регистра, то на затвор 3, как и в предыдущем случае, подается постоянное напряжение, превышающее пороговое, а на диод 2 подается последовательность импульсов, обеспечивающих формирование в канале последовательности зарядовых пакетов вида 1111000010101010. Последующие процессы полностью повторяют процессы, описанные в варианте с двухзатворным входным элементом регистра.
Формула изобретения
СПОСОБ КОНТРОЛЯ ФОТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ МИКРОСХЕМ с зарядовой связью, заключающийся в том, что на испытуемую микросхему подают напряжение питания, формируют в регистре испытуемой микросхемы чередующиеся пустые и заполненные зарядовые пакеты, регистрируют выходной сигнал микросхемы, определяют коэффициент передачи модуляции, по величине которого судят о пригодности испытуемой микросхемы, отличающийся тем, что, с целью уменьшения времени контроля, формирование пустых и заполненных зарядовых пакетов осуществляют электрической инжекцией заряда в ячейки регистра испытуемой микросхемы.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2
