Сканирующее устройство

 

Изобретение относится к приборостроению , а именно к сканаторам оптического излучения, предназначенным для использования в оптических линиях связи. Цель изобретения - расширение диапазона частот собственных резонансных колебаний системы элемент - консоль. Сканирующее устройство содержит диэлектрическое основание 1 с электродом 2, на опорных ребрах 3 которого установлена полупроводниковая пластина 4, в которой сформирована консоль 5 с подвижным элементом 6, и выполнены микрополость 7, заполненная терморасширяющейся жидкостью 8, и соединенный с ней микрокапилляр 9, расположенньш вдоль консоли 5 и подвижного элемента 6. Над микрополостью 7 выполнен нагревательный элемент 11, Путем, нагрева терморасширяющейея жидкости 8 и ее расширения заполняется микрокапилляр 9, при этом меняется масса системы консоль 5 - подвижный элемент 6 и изменяется собственная резонансная частота. 2 шт. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК г!) 4 G 0? 8 26/10

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ „.„,.„ .„"., ;"" ":"

H АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ " : С.

1 (54) СКАНИРУНЩЕЕ УСТРОЙСТВО (57) Изобретение относится к приборостроению, а именно к сканаторам оптического излучения, предназначенным для использования в оптических

rz e

r3 (21) 4248648/24-10 (22) 19.03,87 (46) 15.12,88. Бюл. 46 (71) Каунасский политехнический институт им.Антанаса Снечкуса (72) К.И.Рагульскис, А.И.Пудонис и С.10.Шержентас (53) 621.396.965(088,8) (56) Petersen К.E. Silicon torsional

scanning mirror. — 1ВМ I. Res Develop, 1980, vol. 24, р „631 .

Brooks R.E. Nicromechanical 1.ight

modulators for data transfer and

processing, — SPIE, 1984, vol. 465

Spatial 1Л8Ь Modulators and Applications, p. 46. линиях связи, Цель изобретения — расширение диапазона частот собственных резонансных колебаний системы зле мент — консоль. Сканирующее устройство содержит диэлектрическое основание 1 с электродом 2, на опорных ребрах 3 которого установлена полупроводниковая пластина 4, в которой сформирована консоль 5 с подвижным элементом 6, и выполнены микрополость 7, заполненная терморасширяющейся жидкостью 8, и соединенный с ней микрокапилляр 9, расположенный вдоль консоли 5 и подвижного элемента 6. Над микрополостью 7 выполнен нагревательный элемент 11. Путем нагрева терморасширяющейая жидкости

8 и ее расширения заполняется микрокапилляр 9, при этом меняется масса системь| консоль 5 — подвижный элемент

6 и изменяется собственная резонансная частота. 2 ил.

1444692

Изобретение относится к приборостроению, а именно к сканаторам оптического излучения, предназначенным для использования в оптических измерительных системах, оптических линиях связи

Цель изобретения — расширение диапазона частот собственных резонансных колебаний системы подвижный элемент - 10 консоль.

На фиг. 1 показано сканирующее устройство, общий вид; на фиг. 2.— разрез А-А на фиг. 1.

Сканирующее устройство содержит 15 диэлектрическое основание 1 с электродом .2, подключенным к источнику переменного напряжения (не показан), на опорных ребрах 3 которого установлена полупроводниковая .зазем-,20 ленная пластина 4, в которой методом травления сформирована консоль 5 с подвижным элементом 6, В полупроводниковой пластине 4 также методом травления сформировайы микрополость 7, которая заполнена терморасширяющейся жидкостью 8, и микрокапилляр 9, расположенный вдоль консоли 5 и подвижного элемента 6. Мик рополость 7 с терморасширяющейся 30 жидкостью 8 и микрокапилляр 9 герметизированы электрически проводящим покрытием 10, которое электрически заземлено (заземление не показано).

Над микрополостью 7 выполнен нагревательный элемент 11, расположенный на диэлектрическом покрытии 12, которое электрически изолирует нагревательный элемент 11 от электрически, проводящего покрытия 10 и располага- 40 ется над иикрополостью 7.

На поверхность подвижного элемента 6 нанесено зеркальное отражающее покрытие 13.

Сканирующее устройство работает следующим образом.

При приложении переменного напряжения к электроду 2 и проводящему покрытию 10 с частотой, равной частоте собственных резонансных колебаний системы консоль 5 — подвижный элемент

6, вследствие проявления переменных электростатических сил притяжения между электродом 2 и подвижным

l элементом 6 возникают механические колебания подвижного элемента 6 с амплитудой, пропорциональной амплитуде приложенного напряжения.

При помощи дополнительного электрического источника (не показан) чеГ рез нагревательный элемент 11 пропускается ток, он нагревает находящуюся под ним в микрополости 7 терморасширяющаяся жидкость 8, под действием тепла, выделяемого нагревательным элементом 11 жидкость 8 нагревается, расширяется и заполняет соединенный с микрополостью 7 микрокапилляр 9, при этом изменяется масса консоли 5 с подвижным элементом 6, а в результате этого изменяется и собственная резонансная. частота системы консоль

5 — подвижных элемент 6.

Изменяя объем поступающей в микрокапилляр 9 терморасширяющейся жидкости 8, можно в широких пределах перестраивать собственную резонансную частоту системы консоль 5 — под- вижный элемент 6, а в результате получить равномерную амплитуду колебания подвижного элемента 6 в максимально широком диапазоне частот.

Формула изобретения

Сканирующее устройство, содержащее диэлектрическое основание с уйравляющим электродом, подключенным к источнику переменного покрытия,на ребра которого установлена заземленная полупроводниковая пластина, в которой методом травления сформирована консоль с подвижным отражающим элементом, о т л и ч а ю щ е -е с я тем, что, с целью расширения диапазона частот собственных резонансных колебаний системы подвижный отражающий элемент - консоль, в полупроводниковой пластине дополнительно выполнены микрополость и микрокапИлляр, на которых выполнено электрически проводящее покрытие с обеспечением герметизации, в. микрополость помещена терморасширяющаяся жидкость и над ней установлен нагревательный элемент, а микрокапилляр размещен вдоль консоли и подвижного отража тельного элемента.

1444692

Составитель С. Орешин

Техред M. Хода нич Корректор А. Обручар, Редактор А, Огар

Заказ 6502/44 . Xapaa 533 Подписное

ВНИИПИ Государстванмого комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Иосква, И-35, Рауиская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Уиород, ул. Броектна», 0