Устройство для контроля шероховатости поверхности

 

Изобретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием изрестного устройства по авт. св. № 1165883. Цель изобретения - повышение точности контроля за счет уменьшения влияния полупрозрачной пластины на величину диффузно отраженного излучения. Устройство для контроля шероховатости поверхности состоит из источника 1 излучения, коллимирующей линзы 2, цилиндрического отражателя 3, фотоприемников 4 и 5 для регистрации зеркально и диффузно отраженного излучения, полупрозрачной пластины 6, приемника 7 сравнения и отражателя 8, расположенного между источником 1 излучения и коллимирующей линзой 2. Форма отражателя 8 подобна форме части полупрозрачной пластины 6, предназначенной для отражения диффузно отраженного излучения . Отражатель 8 вьтолнен в виде отражающего покрытия, нанесенного на поверхность полупрозрачной пластины 6, а полупрозрачной вьтолнена ее часть, предназначенная для отражения зеркально отраженного излучения. 1 з.п. ф-лы, 2 ил. а

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (sg 4 С 01 В> 11 30

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

fO ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ(Н АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 1165883 (21) 4249045/25-28 (22) 26.05.87 (46) 23.12.88. Бюл. № 47 (71) Научно-исследовательский и конструкторско-технологический институт средств контроля электронной аппаратуры и изделий электронной техники (72) А.А.Климов, Б.И.Красильщиков, К.Е.Шаронов и А.Н.Дюков (53) 531.715.27 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 1165883, кл. G 01 В 11/30,.31.01.84. (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием из естного устройства по авт. св, № 1165883. Цель изобретения — повышение точности контроля эа счет уменьшения влияния полупроэрач„.Я0... 1446465 A 2 ной пластины на величину диффуэно отраженного излучения. Устройство для контроля шероховатости поверхно" сти состоит иэ источника 1 излучения, коллимирующей линзы 2, цилиндрического отражателя 3, фотоприемников 4 и 5 для регистрации зеркально и диффузно отраженного излучения, полупрозрачной пластины 6, приемника 7 сравнения и отражателя 8, расположенного между источником 1 излучения и коллимирующей линзой 2. Форма отражателя

8 подобна форме части полупрозрачной пластины 6, предназначенной для отражения диффузно отраженного излучения. Отражатель 8 выполнен в виде отражающего покрытия, нанесенного на поверхность полупрозрачной пластины

6, а полупрозрачной выполнена ее часть, предназначенная для отражения зеркально отраженного излучения. э.п. ф лы, 2 ил.

1446465

Изобретение относится к измерительной технике и является усовершенствованием известного устройства по авт. св. 11 1165883.

Цель изобретения — повышение точности контроля за счет уменьшения полупрозрачной пластины на величину диффузно отраженного излучения.

На фиг,1 изображена оптическая 10 схема устройства для контроля шероховатости поверхности; на фиг.2 вид А на фиг,1.

Устройство содержит источник 1 излучения, коллимирующую линзу 2, ци- 15 линдрический отражатель 3, установленный осесимметрично оптической оси коллимирующей линзы 2, фотоприемники

4 и 5 для регистрации зеркально и диффузно отраженного излучения, рас- 20 положенные концентрично, Фотокатоды фотоприемников 4 и 5 установлены в фокальной плоскости коллимирующей линзы 2, цилиндрический отражатель 3 установлен так, что его образующая 25 совпадает с фокальной плоскостью коллимирующей линзы 2. В точке пересечения осей цилиндрического отражателя 3 и фотоприемников 4 и 5 установлена полупрозрачная пластина 6. 30

В устройстве установлен также приемник 7 сравнения и блок обработки сигналов (не показан). Конструктивно устройство выполнено в виде закрытого корпуса (не показан), в котором установлены источник 1 излучения, расположенный в фокусе коллимирующей линзы 2, цилиндрический отражатель 3, ось которого совпадает с оптической осью линзы 2, фотоприемники 4 и 5 40 для регистрации зеркально и диффузно отраженного излучения, расположенные на оси, перпендикулярной оптической оси коллимирующей линзы 2, фотокатоды которых леяат в фокальной плоско-. сти коллимирующей линзы 2, а фокальная плоскость совпадает с образующей

- цилиндрического отражателя 3. Излом оптической оси -производится полупрозрачной пластиной 6, установленной в точке пересечения оптической оси коллимирующей линзы 2 с осью фотоприемников 4 и 5 и образует с ними угол 45 .

Приемник 7 сравнения расположен также на оси фотоприемников 4 и 5 по другую сторону от полупрозрачной пластины Ь. Между источником 1 излучения и коллимирующей линзой 2 расположен отражатель 8, форма которого подобна форме части полупрозрачной пластины 6, предназначенной для отражения диффузно отраженного излучения. Отражатель 8 выполнен в виде отражающего покрытия, нанесенного на поверхность полупрозрачной пластины

6, причем полупрозрачной выполнена часть пластины 6, предназначенная для отражения зеркально отраженного излучения.

Устройство работает следующим образом.

Пучок света„ посылаемый источником

i излучения, падает на полупрозрачную пластину 6 и раздвигается. Отраженный пучок попадает на приемник

7 сравнения. Прошедший пучок коллимирующей линзой 2 проецируется на контролируемую поверхность 9. Источник 1 излучения расположен в фокусе линзы 2, поэтому освещение контролируемой поверхности 9 происходит параллельным пучком по нормали к ней, Отраженный от контролируемой поверхности 9 пучок делится на две составляющие — зеркальную и диффузную. Зеркальная составляющая проходит коллимируюшую линзу 2 и, отразившись от полупрозрачной пластины

6, собирается на фотоприемнике 4 для регистрации зеркально отраженного излучения, расположенном в фокальной плоскости линзы 2 ° Диффузная составляющая, отразившись от цилиндрического отражателя 3, собирается линзой 2 и отражателем 8 и направляется на фотоприемник 5 для регистрации диффузно отраженного излучения, расположенный также в фокальной плоскости линзы 2 концентрично с фотоприемником 4, Диаметр светочувствительной площадки фотоприемника 5 для регистрации диффуэно отраженного излучения равен диаметру освещаемой площадки контролируемой поверхности 9.

Блок регистрации обрабатывает полученные сигналы с фотоприемников 5, 4 и 7 и выдает результаты на отсчетное устройство (не показано).

Отражатель 8 может быть выполнен жестким и расположен на месте полупрозрачной пластины 6, которая в этом случае будет распоп;жена и закреплена на нем со стороны источника

1 излучения ° В этом случае размеры пластины 6 значительно сокращаются

4 ческий отражатель 3 до коллнмирующей линзы 2 и попадающие на контролируемую поверхность 9 не под прямым уг" лом.

3 144646 (до размера ее полупрозрачной части) и упрощается конструкция устройства.

Устройство позволяет примерно в

2 раза повысить чувствительность, а

5 следовательно, и точность измерения, при контроле йоверхностей с малым диффузным коэффициентом отражения эа счет уменьшения влияния полупрозрачной пластины 6 на величину диффуэно" 1р отраженного излучения, которое почти все (за исключением небольшой его части, попадающей на полупрозрачную часть пластины 6) отражателем 8 направляется на фотоприемник 5 для регистрации диффузно отраженного излучения.

Кроме того, диафрагмирование из« лучения при введении отражателя 8 на пути от источника 1 излучения к коллимирующей линзе 2 дополнительно повышает точность измерения за счет того, что исключаются блики, возникающие при попадании части излучения от источника излучения на цилиндри- 26

Формула изобретения

1. Устройство для контроля mepoxoватости поверхности по авт. св. !! 1165883, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения точности контроля, оно снабжено отражателем

Э расположенным между источником излучения и коллимирующей линзой, форма которого подобна форме части полупрозрачной пластины, предназначенной для отражения диффузно отраженного излучения.

2, Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что отражатель выполнен в виде отражающего покрытия, нанесенного на поверхность полупрозрачной пластины.

Составитель Л.Лобэова

Редактор Л. Гратилло Техред М. Ходанич

Корректор Г.Решетник

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 6738/46 Тираж 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5