Раствор для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов

Авторы патента:

ЧЕБУНИН АЛЕКСАНДР НИКОЛАЕВИЧ

КИСЕЛЕВ АРКАДИЙ АЛЕКСАНДРОВИЧ

СМИРНОВ ВИКТОР ВАСИЛЬЕВИЧ

КАЗИНА СВЕТЛАНА ВЛАДИМИРОВНА

СТЕПАНОВ ЕВГЕНИЙ ГЕННАДЬЕВИЧ

СМИРНОВА ЕЛЕНА АЛЕКСЕЕВНА

C23F1/18 - для травления меди или ее сплавов

Изобретение относится к химическому травлению металлов, а именно к растворам для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов. Целью изобретения является повьшение скорости травления и уменьшения бокового подтравливания. Раствор для фотохимического .фрезерования меди и медных сплавов содержит, мае.ч.: соляная кислота 5,26-30j70, перекись водорода 7,16-30,37; динатриевая соль этилендиаминтетрауксусной кислоты 0,05-3,50; хлорид никеля 0,01- 0,88; вода 87,52-34,55. Ввведение раствора хлорчда никеля и использование в качестве перекисного соединения пеа рекиси водорода способствует повышению скорости травления и уменьшению бокового подтравливания. 1 табл. (Л

„.SU„„1458430

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 С 23 F 1/18

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А ВТОРСКОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И (ЛНРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (21) 4292387/31-02 (22) 30.07.87 (46) 15.02.89. Бюл. У 6 (71) Ярославское научно-производственное объединение "Электронприбор" и Ярославский политехнический институт (72) А.Н. Чебунин, А.А. Киселев, В.В. Смирнов, С.В. Казина, Е.Г. Степанов и Е. А. Смирнова (53) 621.7.025(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

IIj 929738, кл. С 23 Р 1/04, 1980.

Авторское свидетельство СССР

1! 293066, кл. С 23 F I/00, 1970.

Авторское свидетельство СССР

II 597739, кл. С 23 F 1/02, 1972. (54) РАСТВОР ДЛЯ ФОТОХИМИЧЕСКОГО ФРЕЗЕРОВАНИЯ МЕДИ И МЕДНЫХ СПЛАВОВ

Изобретение относится к химическому травлению металлов, а именно к растворам для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов.

Цель изобретения вЂ” повышение скорости травления и уменьшение бокового подтравливания.

Изобретение может быть проиллю- . стрировано следующими примерами.

Пример 1. В 100 мл воды растворили 0,5 г динатриевой соли этилендиаминтетрауксусной кислоты, добавляли в раствор 0,01 г хлорида никеля ° при этом образовалось комплексное соединение. Отдельно готовили раствор из 45 мл соляной кислоты (уд. вес

1,19), 65 мл перекиси водорода (уд ° (57) Изобретение относится к химическому травлению металлов, а именно к растворам для фотохимического фреэерования меди и медных сплавов. Целью изобретения является повьппение скорости травления и уменьшения бокового подтравливания. Раствор для фотохимического .фрезерования меди и медных сплавов содержит, мас.ч.: соляная кислота 5,26-30,?О; перекись водорода 7,!6-30,37; динатриевая соль этилендиаминтетрауксусной кислоты 0,05-3,50; хлорид никеля 0,010,88; вода 87,52-34,55. Ввведение раствора хлорида никеля и использование в качестве перекисного соединения пе- а рекиси водорода способствует повышее нию скорости травления и уменьшению бокового подтравливания. 1 табл. вес 1,12) и 70 ип воды, после чего растворы смешивали.

Процесс химического фрезерования заготовок из меди и медных сплавов (толщиной 0,2 мм) проводили при 2025 С в растворе следующего состава, мас.%:

Соляная кислота (уд. вес. I 19) 5,26

Перекись водорода (уд. вес 1, 12) 7,16

Динатриевая соль этинендиаминтетрауксусной кислоты 0,05

Хлорид никеля 0,01

Вода 87,52

Скорость фрезерования составляла

18 мг/см мин при подтраве 10-12 мкм.

1458430

24, 92

30,37

Пример 2. Раствор готовили аналогично примеру 1 из 245 мл соляной кислоты (уд. вес. 1,19), 245 мл перекиси водорода (уд. вес ° 1,12), 20 г динатриевой соли этилендиаминтетрауксусной кислоты., 5 r хлорида никеля и 510 мл воды. Он имел следующий состав, мас.7.:

Соляна кислота (уд,вес 1,19) 26,48

Перекись водорода (уд. вес 1, I 2)

Динатриевая соль этиламинтетрауксусной кислоты 1,82

Хлорид никеля 0,45

Вода 46,33

Скорость фреэерования составляла для заготовок из меди 65 мг/см мин при подтраве 1! 13 мкм.

Пример 3. Раствор готовили аналогично примеру 1 из 295 мл солявЂ” ной кислоты (уд. вес. 1,19), 310 мл перекиси водорода (уд.вес 1,12), 40 r динатриевой соли этилендиаминтетрауксусной кислоты, 10 г хлорида никеля и 395 мл воды. Раствор имел следующий состав, мас.ч.:

Соляная кислота (уд, вес. 1„19) 30,70

Перекись водорода (уд. вес. il,12)

Динатриевая соль этшщиаминтетрауксусной кислоты 3,50

Хлорид никеля 0,88

Вода 34,55

Скорость фрезерования составляла

55 мг/см мин при подтраве. 157.

17 мкм.

Для подтверждения положительного эффекта, возникающего при использова10

5,26-30,70

7,16-30,37

Соляная кислота

Перекись водорода

Динатриевая соль этилендиаминтетрауксусной кислоты

Хлорид никеля

Вода

0,05-3,50

О, 01-0,88

87,52-34,55 нии предлагаемого раствора для травления меди и ее сплавов, подвергали фрезерованию заготовки из бронзы

БРБ-2 и латуни Л-63. Были опробованы составы по примерам 1,2,3 при тех же условиях: t 20-25 С, толщине заготовки 0,2 мм. Кроме того, были проведены испытания известного раствора.

Результаты проведенных испытаний представлены в таблице.

Использование предлагаемого раствора обеспечивает высокую скорость травления деталей при незначительном боковом подтравливании, позволяющем максимально приблизиться к геометрическому профилю и размерам, что создает необходимые условия для улучшения качества готовых изделий и производительности труда.

Формула изобретения

Раствор для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов, содержащий соляную кислоту, перекисное соединение, динатриевую соль этилендиаминтетрауксусной кислоты и воду, отличающийся тем, что, с целью повьппения скорости травления и уменьшения бокового подтравливания, он дополнительно содержит хлорид никеля, а в качестве перекисного соединения вЂ” перекись водорода при следующем соотношении компонентов., мас ° ч.:

1458430

МатеСостав раствора для химфрезерования, мас.ч.

Подтрав, мкм

Перекись

Хло рид никеля

СоляВода ная кислоэтйлен18

0,46 вЂ” 64,63 21

Прототип 27,52

Модель М-1

I 5,26

7,39

О,OI 87,52 22

0,05

7,16

1,82 0,45 46, 33 65

2 26,48 24, 92

3 30 70 30 37

0,88 34,55 55

3,50

Бронза

БРБ-2

1 5,26

005 001 87 52 22

1,82 0,45 46,33 80

3,50 0,88 34,55 67

7,16

2 26,48 24,92

3 30,70 30,37

Латунь

Л-63

1 526 716

0,05 0,01 87,52 22

l,82 0,45 46,33 32

2 26,48 24,92

3 30,70 30,37

3,50 0,88 34,55 27

Составитель Т. Гугнина

Техред Л.Олийнык

Корректор Г. Решетник

Редактор Н. Киштулинец

Заказ 331/31 Тираж 938 Подписное

BHHHIIH Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, iK-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r . Ужгород, ул. Проектная, 4 риал по примеру та уд.вес

1,19 водорода уд. вес

1,12

Монопе рокксигид-, рат карбамнда

Динатриевая соль диаминтетраук. сусной кислоты

Скорость травления, мг/см мин

) 0-12

11-13

l5 17

10-12

l0-l2

l 5-17

10-! 2

10-12

15-1 7

Раствор для фотохимического фрезерования меди и медных сплавов

Похожие патенты:

Раствор для травления меди // 1458429

Изобретение относится к составам для химической обработки медной поверхности

Раствор для виброхимического снятия заусенцев // 1375683

Раствор для химической виброобработки деталей из латуни // 1344533

Изобретение относится к имико-ме- .ханической обработке метал

Раствор для травления изделий из меди // 1341243

Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к очистке меди путем травления, и может быть использовано в радиоэлектронной промьшшенности

Раствор для травления меди и медных сплавов // 1339163

Изобретение относится к растворам для химического травления медк и медных сплавов при подготовке поверхности перед пассивированием

Раствор для травления изделий из меди // 1330208

Изобретение относится к области химической обработки металлов, в частности к очистке меди путем травления , и может быть использовано в радиоэлектронной промышленности

Раствор для избирательного травления меди // 1301870

Изобретение относится к химической обработке меди, в частности к раствору для избирательного травления меди в структуре: медь - никель - молибденовый сплав - легкоплавкое стекло, и может быть использовано в радиоэлектронной и злектроприборостроительной промышленности Цель изобретения - повышение скорости травления меди и снижение растравливания подложки

Раствор для травления меди // 1239171

Способ радиационно-термической обработки сплавов на основе ванадия // 1233696

Патент 432244 // 432244

Способ очистки и ингибирования изделий из меди и медно- стальной проволоки // 2102530

Стабилизатор для кислых перекисных травильных растворов // 2106297

Способ очистки оборудования от отложений с высоким содержанием меди // 2359196

Изобретение относится к химической очистке выпарного и теплотехнического оборудования от отложений, состоящих из продуктов коррозии меди, а также гидрооксида магния, карбонатов кальция и магния, сульфата кальция, и может быть использовано при химической очистке теплообменного оборудования в энергетической, химической и металлургической промышленности

Электролитически регенерируемый раствор для травления печатных плат и фасонных изделий из меди и ее сплавов // 2078850

Изобретение относится к травлению меди и ее сплавов и может быть использовано при изготовлении печатных плат и фасонных изделий

Раствор для травления меди и ее сплавов // 2010034

Изобретение относится к области обработки поверхности металлов химическим путем перед нанесением покрытий на медь и ее сплавы, а также для глянцевой их обработки и может быть использовано в производстве печатных плат, в электронной, приборостроительной, машиностроительной и других отраслях промышленности

Способ травления меди и ее сплавов // 2013466

Изобретение относится к области металловедения и химической обработки металлов и может быть использовано при химической обработке меди и ее сплавов для получения блестящей поверхности, а также в качестве предварительной технологической операции перед нанесением гальванических покрытий

Раствор для химического полирования меди и ее сплавов // 1675385

Изобретение относится к химической обработке металлической поверхности

Раствор для фотохимического фрезерования изделий из меди и медных сплавов // 1712463

Изобретение относится к химической обработке металлов, в частности к растворам для фотохимического фрезерования изделий из меди и ее сплавов

Раствор для химического травления меди // 1807088

Способ переработки прокорродировавших изделий из меди или ее сплава // 2577878

Изобретение относится к переработке прокорродировавшей меди и бронзы в качестве вторичного сырья для получения химической продукции, а также к оценке устойчивости материалов при попадании в кислые среды и может быть использовано в различных областях практической деятельности, в аналитическом контроле, научных исследованиях и в диагностике. Способ включает введение изделия, содержащего продукты коррозии, в контакт с разбавленной соляной кислотой при интенсивном механическом перемешивании и барботаже воздуха, проведение процесса при саморазогреве и контроле за накоплением соединений меди (II) и расходованием кислоты до превращения в загущенную суспензию, после чего перемешивание и барботаж воздуха прекращают, объемную фазу отделяют от непрореагировавшей меди или ее сплава и разделяют на твердую и жидкую фазы, осветленную жидкую фазу доводят до исходных содержаний кислоты и воды и осуществляют повторное введение в контакт с непрореагировавшей медью или ее сплавом, запуск и проведение процесса проводят указанными приемами не менее 5-7 раз. Изобретение позволяет увеличить скорость переработки и расширить ее функциональные возможности. 2 табл., 2 пр., 1 ил.