Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос

 

Изобретение м.б. использовано в конструкциях безмасляных вакуумных насосов, работающих в широком диапазоне давлений. Цель изобретения - улучшение откачных характеристик насоса . Две коаксиальные цилиндрические обечайки 5, 6 закреплены на днище корпуса 1. На крьшке корпуса 1 установлена с возможностью осевого пе- . ремещения тарель 7 с цилиндрическим стержнем 8. Обечайки 5, 6 доосны конусам (К) 2, 3 и имеют диаметры, равные диаметрам основания и отверстия в вершине нижнего К 3. Высота обечайки 5 превышает высоту обечайки 6 на величину, равную высоте К 3. Тарель 7 и стержень 8 имеют, диаметры, равные диаметрам основания и отверстия в вершине К 2. Длина стержня 8 равна высоте К 2. Откачка газа осуществляется пр-едварительно охлажденным адсорбентом 4. Понижение давления вследствие адсорбции не мешает переконденсации твердого конденсата, так как он изолирован от полости корпуса 1, это приводит к процессу ускорения получения предельного давления. 1 ил.. i (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

09) (11) А2

59 4 Р 04 В 37/08

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР (61) 1366690

° (21) 4255474/25-29 (22) 01.06.87 (46) 07.03.89. Бюл. У 9 (72) С.Ю. Бобков, Ю.П. Ходцев и С.Л. Чепель (53) 621.528,3(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

М 1366690, кл. F 04.В 37/08, 1986. (54) КРИОГЕННЬЙ ФОРВАКУУИНЬЙ КОНДЕНСАЦИОНКО-АДСОРБЦИОННЬЙ НАСОС (57) Изобретение м.б. использовано в конструкциях безмасляных вакуумных насосов, работающих в широком диапазоне давлений. Цель изобретенияулучшение откачных характеристик насоса. Две коаксиальные цилиндрические обечайки 5, 6 закреплены на днище корпуса 1. На крышке корпуса 1 установлена с возможностью осевого перемещения тарель 7 с цилиндрическим стержнем 8. Обечайки 5, 6 соосны конусам (К) 2, 3 и имеют диаметры, равные диаметрам основания и отверстия в вершине нижнего К 3. Высота обечайки 5 превышает высоту обечайки б на величину, равную высоте К 3.

Тарель 7 и стержень 8 имеют. диаметры, равные диаметрам основания и отверстия в вершине К 2. Длина стержня 8 равна высоте К 2. Откачка газа осуществляется предварительно охлажденным адсорбентом 4. Понижение давления вследствие адсорбции не мешает переконденсации твердого конденсата, так Я как он изолирован от полости корпуса

1, это приводит к процессу ускорения получения предельного давления. 1 ил., 1463957

Изобретение относится к вакуумной ехнике, а именно к конструкциям безасляных вакуумных насосов, работаю õ в широком диапазоне давлений, и является усовершенствованием насоса по основному авт . св. 1Ф 1366690.

Цель изобретения — улу шение откачных характеристик насоса.

На чертеже представлена схема наоса, Криогенный форвакуумный конденсаионно-адсорбционный насос содержит корпус 1 и,установленный в нем откаиваюций элемент в виде д»ух охпажда емых коаксиа рьных конусов 2 и 3 с от верстиями в обращенных вниз вершинах. Конусы 2 и 3 установлены в кор усе 1 с возможностью осевого пере- 20 ецения друг относительно друга, а а их поверхностях, обращенных друг к другу, закреплен адсорбент 4.. Насос дополниельно содержит две закрепленные на 25 нище корпуса 1 коаксиальные цилиндические обечайки 5 и 6 и установлен- ю на крышке корпуса. 1 с возможносью осевого перемещения тарель 7 с илнндридеским стержнем 8, соосные 30 онусам 2 и 3, причем внешняя и внутенняя обечайки 5 и 6 имеют диаметры,,соответственно равные диаметрам основания и отверстия в вЕршине нижнего конуса 3, высота обечайки 5 превышает 5 (,высоту обечайки 6 на величину, равную высоте конуса 3, тарель 7 и цилиндрический, стержень 8 имеют диаметры, соответс.твенно равные диаметрам ос( нования и отверстия в вершине конуса

2, а длина стержня 8 равна высоте конуса 2. В нижней части насоса расположен сборник 9 конденсата, отделенный от полости корпуса 1 вентилем 10.

Насос работает следующим образом.

Перед включением в работу конусы

2 и 3 плотно сдвинуты и в их полости подается хладагент, например жидкий неон. После охлаждения конусов 2 и 3 полость корпуса 1 сообщается с откачиваемым объемом, давление газа B котором может быть любым, вплоть до ат- мосферного. Попадая на охлажденные поверхности конусов 2 и 3,. откачиваемый газ конденсируется, причем вследствие большого теплоподвода к конденсирующей пОверхности при высоком давлении температура этой поверхности превышает температуру хладагента.

Конденсация газ а осуществля ется в жидкую фазу и жидкий конденсат стекает с поверхностей конусов 2 и 3 в . сборник 9 конденсата. По мере понижения давления откачиваемого газа и соответственного понижения температуры конденсирующих поверхностей ниже давления и температуры, соответствующих тройной точке откачиваемого газа, конденсация этого газа .меняет свой характер — он начинает конденсироваться в твердую фазу с образованием на поверхности конденсации твердого конденсата.

Дальнейшее снижение температуры конденсирующих поверхностей вследствие снижения теплопритока к ним в условиях вакуума приводит к дальнейшему понижению давления до величины давления насыщенных паров откачиваемого газа при температуре конденсирующих поверхностей. По достижении этого давления конусы 2 и 3 раздвигаются, а тарепь .7 со стержнем 8 перемещаются в направлении конуса 2.

В конечном положении конус 3 плотно примыкает к обечайкам 5 и 6, а конус, 2 — к тарели 7. В результате твердык конденсат на каждом конусе 2 и 3 оказывается в замкнутой полости, отделенной от полости корпуса 1. Откачка газа осуществляется предварительно охлажденным адсорбентом 4, причем понижение давления вследствие адсорбции не мешает переконденсации твердого конденсата, так как он изолирован от откачиваемой полости корпуса

1, это приводит к ускорению процесса получения .предельного давления, т.е. улучшению откачных характеристик насоса.

Формула и з о б р е т е н и я

Криогенный форвакуумный конденсационно-адсорбционный насос по авт. св. N - 1366690, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, он дополнитель— но содержит две закрепленные на днище корпуса коаксиальные цкпиндрические обечайки и установленную на крышке корпуса с возможностью осевого перемещения тарель с цилиндрическим стержнем, соосные конусам, причем внешняя и внутренняя обечайки имеют диаметры, соответственно равные диаметрам основания и отверстия в вершине нижнего

Составитель 3. Пимахова

Редактор Е.,Папп Техред А.Кравчук Корректор 0 ° Кравцова

Заказ 808/41

Тираж 520

Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-издательский комбинат "Патент", г.Ужгород, ул. Гагарина,101

3 l 46395 7 конуса, высота внешней обечайки flpf имеют диаметры, соответственно равные вышает высоту внутренней обечайки на диаметрам основания и отверстия в величину, равную высоте нижнего кону- вершине верхнего конуса, а длина са, тарель и цилиндрический стержень стержня равна высоте последнего.