Способ упрочнения ионно-плазменных покрытий

 

Изобретение относится к области нанесения износостойких покрытий на металлорежущий инструмент и технологическую оснастку. С целью повышения износостойкости изделий и прочности сцепления покрытия с подложкой обработку поверхности проводят ионами азота с энергией 3 - 10 кэВ в течение 10 - 45 мин с последующим нанесением покрытия в среде реакционного газа конденсацией с ионной бомбардировкой и после нанесения покрытия изделия облучают -квантами с дозой 107-108 рад при температуре 10 - 300oC, что обеспечивает глубокое проникновение ионов в материал основы без существенного ее разогрева и распыления. Износостойкость инструмента с покрытием повысилась в среднем в 1,7 раза, а адгезионная прочность - в 1,5 раза.

Изобретение относится к технологии получения ионно-плазменных покрытий и может быть использовано при создании защитных износостойких и коррозионностройких покрытий в машиностроении и инструментальной промышленности. Целью изобретения является повышение износостойкости ионно-плазменных покрытий и прочности сцепления покрытия с подложкой. Цель достигается тем, что до нанесения покрытия поверхность изделия обрабатывается ионным пучком азота с энергией 3 10 кэВ в течение 10 45 мин, затем на поверхность изделия наносят ионно-плазменное покрытие 21 89 из нитридов или боросилицидов металла, а после нанесения покрытия проводят облучение изделия -квантами с дозой 107-108 рад при температуре 10 300oC. Облучение g-квантами в указанном режиме приводит к эффективной перестройке пограничного дефектного слоя, где реализуется генерация электронно-дырочных пар, и их аннигиляции на дефектах структуры, в результате которой происходит локальный разогрев. Металл основы при этом нагреву не подвергается, так как нагретый объем, включающий около 100 атомов, существует 10-11-10-10 c. Облучение ионами азота, ускоренными по энергии 3 10 кэВ обеспечивает глубокое проникновение ионов в материал основы без существенного ее разогрева и распыления. По предложенному способу наносили покрытия нитрида титана на резцы и образцы-свидетели из быстрорежущей стали P6M5. Предварительное облучение ионами азота проводили в течение 10 мин с энергией 5 кэВ при плотности тока 120 мкА/см2. После облучения ионами азота наносили покрытие при давлении азота в камере 510-3 мм рт.ст. и токе дуги 80A Резцы с нанесенным покрытием помещали затем в термостатированный объем с источником g-излучения мощностью 2,77107 рад c-1 и выдержали при температуре 200oC в течение 30 мин. За это время набиралась доза облучения 5107 рад. Проведенные испытания показали, что износостойкость инструмента с покрытием повысилась в среднем в 1,7 раза, адгезионная прочность покрытия в 1,5 раза.

Формула изобретения

Способ упрочнения ионно-плазменных покрытий, включающий обработку поверхности изделия ионами азота с последующим осаждением покрытий из нитридов или боросилицидов металлов конденсацией с ионной бомбардировкой, отличающийся тем, что, с целью повышения износостойкости покрытий и прочности сцепления покрытия с подложкой, обработку поверхности изделия проводят путем облучения пучком ионов азота с энергией 3 10 кэВ в течение 10 45 мин, а после нанесения покрытия проводят облучение изделия -квантами дозой 107 - 108 рад при 10 300oС.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано для защиты смотровых окон вакуумных камер от запыления при визуальном контроле за прочессами термического испарения и нанесения покрытий в вакуумной камере
Изобретение относится к ионно-лучевой вакуумной технологии получения материалов со специальными свойствами и может быть использовано для упрочения металлообрабатывающего инструмента из сталей и твердых сплавов

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом оборудовании

Изобретение относится к области упрочнения металлорежущего инструмента и может найти применение в машиностроении

Изобретение относится к области машиностроения и служит для повышения микротвердости и износостойкости изделия

Изобретение относится к технологии получения вакуумных покрытий и может быть использовано при нанесении защитных, износостойких и декоративных покрытий, в частности на керамические и стеклянные облицовочные плитки

Изобретение относится к области покрытия металлических материалов, а также других материалов металлическими и диэлектрическими материалами и может быть использовано при разработке устройств для вакуумного нанесения покрытий методом магнетронного распыления, а более конкретно магнитных систем планарного магнетрона в установках вакуумного нанесения покрытия на различные подложки, в том числе на полимерные пленки

Изобретение относится к области обработки поверхностей металлов, такой как очистка (например, удаление окалины, оксидированных слоев, загрязнителей и тому подобное) поверхностей, термическая обработка и нанесение покрытий на них

Изобретение относится к технологии получения алмазоподобных пленок и может быть использовано для нанесения твердых, износостойких, химически инертных и аморфных алмазоподобных покрытий толщиной до 59 мкм с высокой адгезией к изделиям

Изобретение относится к технологии получения алмазоподобных пленок и может быть использовано для нанесения твердых, износостойких, химически инертных и аморфных алмазоподобных покрытий толщиной до 59 мкм с высокой адгезией к изделиям

Изобретение относится к области микроэлектроники

Изобретение относится к энергетическому и транспортному машиностроению и может быть использовано для повышения износостойкости лопастей турбин и насосов, элементов двигателей и другого оборудования, процесс эксплуатации которых характеризуется одновременным воздействием различных видов износа (каплеударная и абразивная эрозия, различные виды коррозии, эрозия-коррозия, кавитация, повышенная агрессивность среды, повышенное трение)

Изобретение относится к режущей пластине и способу ее получения из твердого сплава повышенной прочности и стойкости к пластической деформации, содержащего WC, кубические фазы карбида и/или карбонитрида в связующей фазе на основе Со и/или Ni и имеющего обогащенную связующей фазой поверхностную зону
Наверх